亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

半導(dǎo)體裝置及其制造方法與流程

文檔序號(hào):11955905閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括:

絕緣電路基板;

安裝在所述絕緣電路基板上的半導(dǎo)體元件;

層疊在所述絕緣電路基板上的第一絕緣樹脂層;

鍍銅配線,經(jīng)由窗口部與所述半導(dǎo)體元件接觸,其中,所述窗口部形成在所述第一絕緣樹脂層上并能夠與所述半導(dǎo)體元件接觸;以及

第二絕緣樹脂層,以密封所述鍍銅配線的方式層疊所述第二絕緣樹脂層。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述鍍銅配線是片狀。

3.如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述鍍銅配線包括籽晶層和銅鍍層,其中,所述籽晶層是金屬或合金的薄膜層,所述銅鍍層通過(guò)鍍銅而層疊在所述籽晶層上。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其中,所述籽晶層是選自Cu、Ni、Al、Ag、Au中的一種以上的金屬或合金。

5.如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第一絕緣樹脂層和/或第二絕緣樹脂層是選自聚酰胺樹脂、聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚苯并咪唑樹脂中的一個(gè)以上的樹脂。

6.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,包括以下工序:

在絕緣電路基板上安裝半導(dǎo)體元件;

在所述絕緣電路基板上層疊第一絕緣樹脂層;

形成經(jīng)由窗口部與所述半導(dǎo)體元件接觸的鍍銅配線,其中,所述 窗口部形成在所述第一絕緣樹脂層上并能夠與所述半導(dǎo)體元件接觸;以及

以密封所述鍍銅配線的方式層疊第二絕緣樹脂層。

7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,形成所述鍍銅配線的工序包括:

形成籽晶層的工序,其中所述籽晶層是金屬或合金的薄膜層;以及

通過(guò)鍍銅在所述籽晶層上層疊銅鍍層的工序。

8.如權(quán)利要求7所述的制造方法,其特征在于,

通過(guò)濺射法或化學(xué)鍍法執(zhí)行所述形成所述籽晶層的工序。

9.如權(quán)利要求6~8中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,形成所述第一絕緣樹脂層的工序包括:

在安裝有所述半導(dǎo)體元件的所述絕緣電路基板上放置選自聚酰胺樹脂、聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚苯并咪唑樹脂中的一個(gè)以上的樹脂膜的工序;以及

通過(guò)熔化所述樹脂膜形成所述第一絕緣樹脂層的工序,其中,所述第一絕緣樹脂層在所述半導(dǎo)體元件之上的厚度是20μm以上。

當(dāng)前第2頁(yè)1 2 3 
網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1