本發(fā)明涉及一種將電子零件封裝在作為被接合對(duì)象的基板上的封裝裝置的構(gòu)造。

背景技術(shù)：

在組裝半導(dǎo)體裝置時(shí)，會(huì)使用將半導(dǎo)體模具安裝在基板或引線框架上的模具接合裝置、或利用線(wire)將安裝在基板上的半導(dǎo)體模具的電極與基板的電極加以連接的打線接合裝置(wirebondingdevice)等接合裝置。打線接合裝置是將吸附固定在接合臺(tái)上的基板或安裝在基板上的半導(dǎo)體模具加熱至200℃～250℃左右，一面對(duì)這些電極施加超聲波激發(fā)(ultrasonicexcitation)，一面利用毛細(xì)管(capillary)等接合工具使金、銀、銅等的細(xì)線熱壓接而將金屬細(xì)線接合在各電極上。又，模具接合裝置是使用如下方式的裝置：對(duì)吸附固定在涂布有粘合劑的接合臺(tái)上的基板進(jìn)行加熱，并在將半導(dǎo)體模具熱壓接至其上之后使粘合材料熱硬化而將半導(dǎo)體模具固定在基板上；或者將吸附固定在接合臺(tái)上的引線框架加熱至300℃～450℃左右，并使半導(dǎo)體模具共晶接合(eutecticbonding)至其上而將半導(dǎo)體模具固定在引線框架上。而且，近年來(lái)，是使用如下倒裝接合(flipbonding)方法：預(yù)先在基板的電極上或半導(dǎo)體模具的電極上形成焊料等的凸塊(bump)(突起)，使半導(dǎo)體模具反轉(zhuǎn)，而在以電極位于基板側(cè)(下側(cè))的方式利用筒夾(collet)進(jìn)行保持的狀態(tài)下對(duì)半導(dǎo)體模具進(jìn)行加熱而使凸塊為熔融狀態(tài)，另一方面，將吸附固定在接合臺(tái)上的基板加熱至200℃左右而使凸塊為熔融狀態(tài)，使各凸塊彼此接觸而進(jìn)行金屬結(jié)合，將半導(dǎo)體模具接合在基板上。如上所述，在接合裝置中，有時(shí)需要在接合時(shí)將吸附固定在接合臺(tái)上的基板加熱至200℃左右的溫度。

當(dāng)將接合臺(tái)加熱至200℃左右時(shí)，接合臺(tái)上方的空氣會(huì)因接合臺(tái)的熱而被加熱從而上升。于是，產(chǎn)生如下空氣的循環(huán)，即，周圍的冷空氣進(jìn)入至接合臺(tái)上，被接合臺(tái)的熱所加熱而再次上升。此時(shí)，在接合臺(tái)的上方，由于因上升氣流而溫度不同的空氣，即，密度不同的空氣的混合而會(huì)產(chǎn)生熱氣。

另一方面，在接合裝置中，對(duì)吸附固定在接合臺(tái)上的基板的表面或安裝在基板上的半導(dǎo)體模具的圖像進(jìn)行拍攝，并根據(jù)所拍攝的圖像來(lái)檢測(cè)基板的電極或半導(dǎo)體模具的電極的位置或者基板的接合位置，根據(jù)檢測(cè)到的位置進(jìn)行接合工具的位置控制。如前所述，當(dāng)在接合臺(tái)的上方產(chǎn)生熱氣時(shí)，熱氣會(huì)進(jìn)入至對(duì)吸附固定在接合臺(tái)上的基板或半導(dǎo)體模具的圖像進(jìn)行拍攝的攝像裝置的視場(chǎng)中，從而產(chǎn)生圖像位置的檢測(cè)精度下降的問題。因此，已提出有對(duì)攝像裝置的視場(chǎng)區(qū)域內(nèi)噴附氮?dú)饣蚩諝舛鴮釟獯底?，從而提高攝像裝置的位置檢測(cè)精度的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2003-7759號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的問題

但是，在如專利文獻(xiàn)1所述的現(xiàn)有技術(shù)的噴附氮?dú)饣蚩諝獾姆椒ㄖ?，存在需要大量的氮?dú)獾膯栴}。而且，在打線接合裝置中，是使放電電極與線前端之間產(chǎn)生放電，利用放電的熱而在線的前端形成無(wú)空氣焊球(freeairball)，然而若噴附氮?dú)饣蚩諝鈩t無(wú)空氣焊球的溫度會(huì)急速下降，從而出現(xiàn)接合品質(zhì)下降的問題。

因此，本發(fā)明的目的是在封裝裝置中，利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件的圖像位置檢測(cè)精度。

解決問題的技術(shù)手段

本發(fā)明的封裝裝置的特征在于包括：封裝臺(tái)，對(duì)載置在上表面上的被接合對(duì)象及安裝在被接合對(duì)象上的電子零件進(jìn)行加熱；攝像器件，配置在封裝臺(tái)的上方，對(duì)載置在封裝臺(tái)上的被接合對(duì)象及的圖像或被接合對(duì)象及電子零件的圖像進(jìn)行拍攝；以及駐波產(chǎn)生器件，使封裝臺(tái)上表面與攝像器件之間的空間內(nèi)產(chǎn)生超聲波的駐波(standingwave)。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，駐波產(chǎn)生器件包括：超聲波揚(yáng)聲器；以及反射面，使自超聲波揚(yáng)聲器放射的超聲波反射。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，反射面是與超聲波揚(yáng)聲器相對(duì)向而配置的平板的表面。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，攝像器件能夠沿xy方向移動(dòng)，平板與攝像器件一并沿xy方向移動(dòng)。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，對(duì)于平板，攝像器件的光軸與平板的表面的距離為超聲波的波長(zhǎng)λ的(2n-1)/4倍(n為正整數(shù))，以使駐波的波腹位于攝像器件的光軸附近。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，包括：彎曲夾持器(windclamper)，將被接合對(duì)象或在被接合對(duì)象上安裝有電子零件的被接合對(duì)象的表面向封裝臺(tái)按壓；且平板安裝在彎曲夾持器的遠(yuǎn)離超聲波揚(yáng)聲器側(cè)的端部的上表面。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，反射面包括：半反射鏡(halfmirror)的表面，傾斜配置在攝像器件與封裝臺(tái)之間；以及被接合對(duì)象的表面，載置在封裝臺(tái)上。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，反射面包括：曲面鏡的表面，與超聲波揚(yáng)聲器相對(duì)向而配置；以及平板的表面，隔著超聲波揚(yáng)聲器及封裝臺(tái)而與曲面鏡相對(duì)向而配置。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，曲面鏡為拋物面鏡或橢球面鏡。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，駐波產(chǎn)生器件為相對(duì)向而配置的2個(gè)超聲波揚(yáng)聲器。

在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，駐波產(chǎn)生器件是以構(gòu)成朝向封裝臺(tái)而開口的筒的方式配置在攝像器件與封裝臺(tái)之間的壓電元件，且在開口與封裝臺(tái)上表面之間形成駐波區(qū)域。又，在本發(fā)明的封裝裝置中，也適合設(shè)定為如下，即，被接合對(duì)象為基板或引線框架。

發(fā)明的效果

本發(fā)明可獲得如下效果：在封裝裝置中，可利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件的圖像位置檢測(cè)精度。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置的立體圖。

圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置的攝像器件、超聲波揚(yáng)聲器及平板的配置的局部放大立體圖。

圖3是本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，利用超聲波揚(yáng)聲器及平板構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的側(cè)視圖。

圖4是表示利用攝像器件所拍攝的圖像的xy方向上的偏離的時(shí)間變化的圖表。

圖5是表示利用攝像器件所拍攝的圖像的xy方向上的偏離的區(qū)域的圖表。

圖6是表示相對(duì)于駐波的空間位置的圖像的檢測(cè)位置的變異的標(biāo)準(zhǔn)偏差的變化的圖表。

圖7是本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，利用超聲波揚(yáng)聲器及安裝在攝像器件上的平板構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的前視圖。

圖8是本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，將2個(gè)超聲波揚(yáng)聲器對(duì)向配置而構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的側(cè)視圖。

圖9是本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，利用超聲波揚(yáng)聲器、半反射鏡及接合臺(tái)構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的側(cè)視圖。

圖10是本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，利用超聲波揚(yáng)聲器及安裝在彎曲夾持器端部的平板構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的前視圖。

圖11是本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，利用超聲波揚(yáng)聲器、拋物面鏡及平板構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的側(cè)視圖。

圖12是本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，利用超聲波揚(yáng)聲器、橢球面鏡及平板構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的側(cè)視圖。

圖13是本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)中的打線接合裝置，即，利用構(gòu)成朝向接合臺(tái)而開口的筒的壓電元件構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件的打線接合裝置的側(cè)視圖。

圖14是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的模具接合裝置的立體圖。

圖15是表示圖14所示的模具接合裝置的接合動(dòng)作的說(shuō)明圖。

圖16是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的另一模具接合裝置的立體圖。

圖17是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的另一模具接合裝置的立體圖。

圖18是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中的另一模具接合裝置的立體圖。

具體實(shí)施方式

以下，一面參照附圖，一面說(shuō)明將本發(fā)明應(yīng)用于將線封裝在半導(dǎo)體模具63與作為被接合對(duì)象的基板(引線框架)61之間的封裝裝置即打線接合裝置的情況。如圖1所示，打線接合裝置10包括：2條導(dǎo)軌81、導(dǎo)軌82，沿傳送方向(x方向)對(duì)在表面上安裝有半導(dǎo)體模具63的基板(引線框架)61進(jìn)行導(dǎo)引；接合臺(tái)83，是配置在導(dǎo)軌81、導(dǎo)軌82之間的下側(cè)而對(duì)基板(引線框架)61進(jìn)行真空吸附的封裝臺(tái)；xy平臺(tái)12，在與接合臺(tái)83的基板61傳送方向(x方向)垂直的方向(y方向)上鄰接而配置；接合頭11，安裝在xy平臺(tái)12上；z方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18，安裝在接合頭11中沿上下方向(z方向)對(duì)夾持器(clamper)15及超聲波變幅桿(ultrasonichorn)13進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；攝像器件20，安裝在接合頭11上；平板40；超聲波揚(yáng)聲器30，配置成與平板40相對(duì)向；以及控制部100，對(duì)打線接合裝置10的各動(dòng)作進(jìn)行控制。

如圖1所示，接合臺(tái)83中包含有加熱器(heater)84，在接合時(shí)，將真空吸附在接合臺(tái)83的表面上的基板(引線框架)61或安裝在基板(引線框架)61的表面上的半導(dǎo)體模具63加熱至200℃左右。在超聲波變幅桿13的前端安裝有作為接合工具的毛細(xì)管14，在毛細(xì)管14中插通有自安裝在接合頭11的上部的線軸(spool)17供給的接合用的線16。毛細(xì)管14的前端被z方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18在與基板(引線框架)61接觸或遠(yuǎn)離的方向(z方向)驅(qū)動(dòng)，從而將線16接合在半導(dǎo)體模具63的電極(襯墊)或基板(引線框架)61的電極(引線)上。

如圖2所示，攝像器件20包括：導(dǎo)入部21，其前端延伸至接合臺(tái)83上為止，如圖2、圖3所示，沿光軸51自開口25導(dǎo)入來(lái)自被攝體即半導(dǎo)體模具63或基板(引線框架)61的光并利用棱鏡26使所述光折射90度；以及鏡筒22，在內(nèi)部包含透鏡27等光學(xué)零件而將經(jīng)棱鏡26折射的光沿光軸52導(dǎo)入至照相機(jī)24。進(jìn)入至照相機(jī)24的被攝體的光在照相機(jī)24中的攝像元件28的攝像面29上成像。攝像元件28將經(jīng)成像的圖像轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)而作為圖像信號(hào)輸出至后述的控制部100。

如圖2、圖3所示，平板40是安裝在攝像器件20的下側(cè)的xy平臺(tái)12的固定部分(不在xy方向上移動(dòng)的框架部分)上而可反射超聲波的剛體板，例如為金屬板。而且，在接合臺(tái)83的與xy平臺(tái)12相反側(cè)，以與平板40相對(duì)向的方式配置有超聲波揚(yáng)聲器30。超聲波揚(yáng)聲器30包括：框體33；振動(dòng)體31，收納在框體33中并進(jìn)行超聲波振動(dòng)；以及壓電元件32，對(duì)振動(dòng)體31進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。振動(dòng)體31例如為進(jìn)行超聲波振動(dòng)的圓板等。如后所述，自超聲波揚(yáng)聲器30放射的超聲波經(jīng)平板40的表面41反射，而使超聲波揚(yáng)聲器30與平板40之間的空間內(nèi)產(chǎn)生超聲波的駐波90。因此，表面41是使超聲波反射的反射面，超聲波揚(yáng)聲器30及平板40的表面41構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件35。再者，所謂超聲波，是頻率高于人類的可聽區(qū)域的聲波，通常是指大于或等于2khz的聲波。在本實(shí)施形態(tài)中，超聲波揚(yáng)聲器30是設(shè)為放射頻率4khz的超聲波的裝置來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。

xy平臺(tái)12、z方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18、超聲波揚(yáng)聲器30與控制部100連接，并根據(jù)控制部100的指令來(lái)運(yùn)行?？刂撇?00為計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)包括進(jìn)行信號(hào)等的運(yùn)算處理的中央處理器(centralprocessingunit，cpu)及存儲(chǔ)部。而且，攝像器件20也與控制部100連接，被輸入來(lái)自攝像元件28的圖像信號(hào)。控制部100對(duì)自攝像元件28輸入的圖像信號(hào)進(jìn)行處理，而進(jìn)行基板(引線框架)61或半導(dǎo)體模具63的識(shí)別、以及基板(引線框架)61或半導(dǎo)體模具63的位置的檢測(cè)。

對(duì)如上所述構(gòu)成的打線接合裝置10的基本的接合動(dòng)作進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明。打線接合裝置10的控制部100如圖2所示，通過xy平臺(tái)12而調(diào)整接合頭11的位置，以使攝像器件20的光軸51位于欲進(jìn)行位置檢測(cè)的半導(dǎo)體模具63或基板(引線框架)61的正上方。然后，當(dāng)攝像器件20的光軸51來(lái)到欲進(jìn)行位置檢測(cè)的半導(dǎo)體模具63或基板(引線框架)61的正上方之后，獲取半導(dǎo)體模具63或基板(引線框架)61的圖像，并根據(jù)所獲取的圖像來(lái)檢測(cè)半導(dǎo)體模具63的電極(襯墊)及基板(引線框架)61的電極(引線)的位置。其次，控制部100通過xy平臺(tái)12而使接合頭11移動(dòng)，以使毛細(xì)管14的位置對(duì)準(zhǔn)半導(dǎo)體模具63上的電極(襯墊)的位置。然后，使z方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18運(yùn)行而沿z方向?qū)Π惭b在超聲波變幅桿13的前端的毛細(xì)管14進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，一面對(duì)插通至毛細(xì)管14中的線16與半導(dǎo)體模具63的電極(襯墊)或基板(引線框架)61的電極(引線)賦予超聲波振動(dòng)一面使其熱壓接(進(jìn)行接合)而利用線16將半導(dǎo)體模具63的電極(襯墊)與基板(引線框架)61的電極(引線)之間加以連接。在此期間，基板(引線框架)61或安裝在基板(引線框架)61上的半導(dǎo)體模具63利用組裝在接合臺(tái)83上的加熱器84而加熱至200℃左右。

打線接合裝置10的控制部100在1個(gè)半導(dǎo)體模具63的電極(襯墊)與基板(引線框架)61的電極(引線)的接合結(jié)束之后，通過xy平臺(tái)12而使毛細(xì)管14移動(dòng)至下一個(gè)電極(襯墊)上，與上述同樣地利用線16而將各電極(襯墊)與電極(引線)之間加以接合。然后，控制部100在利用線16將1個(gè)半導(dǎo)體模具63的所有電極(襯墊)與基板(引線框架)61的各電極(引線)連接之后，搬運(yùn)基板(引線框架)61，以使下一個(gè)半導(dǎo)體模具63來(lái)到接合位置。與前述同樣地，控制部100使攝像器件20的光軸51移動(dòng)至下一個(gè)半導(dǎo)體模具63的正上方而獲取半導(dǎo)體模具63及基板(引線框架)61的圖像，并根據(jù)所獲取的圖像進(jìn)行毛細(xì)管14的定位，其次進(jìn)行打線接合。以后，重復(fù)進(jìn)行相同的步驟，直至所有的半導(dǎo)體模具63的電極(襯墊)與基板(引線框架)61的電極(引線)的連接結(jié)束。

其次，對(duì)包含超聲波揚(yáng)聲器30及平板40的駐波產(chǎn)生器件35的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。打線接合裝置10的控制部100使超聲波揚(yáng)聲器30的壓電元件32運(yùn)行而使振動(dòng)體31振動(dòng)，如圖3所示，自振動(dòng)體31向平板40的表面41沿箭頭91的方向放射超聲波的行波92。自超聲波揚(yáng)聲器30放射的超聲波的行波92經(jīng)平板40的表面41反射而成為超聲波的反射波93返回至超聲波揚(yáng)聲器30?？刂撇?00對(duì)超聲波揚(yáng)聲器30的壓電元件32進(jìn)行控制而調(diào)整振動(dòng)體31的振動(dòng)頻率，以使超聲波揚(yáng)聲器30的振動(dòng)體31與平板40的表面41的距離為自超聲波揚(yáng)聲器30放射的超聲波的行波92的波長(zhǎng)的整數(shù)倍。由此，如圖3所示，在超聲波揚(yáng)聲器30的振動(dòng)體31與平板40的表面41之間產(chǎn)生駐波90。駐波90產(chǎn)生于吸附固定在接合臺(tái)83上的基板(引線框架)61與攝像器件20之間的空間94的區(qū)域內(nèi)。因此，光軸51通過駐波90產(chǎn)生的空間94而到達(dá)攝像器件20的開口25。再者，在圖3中，是設(shè)為振動(dòng)體31與表面41的距離與超聲波的波長(zhǎng)λ相同來(lái)示意性地進(jìn)行描述。而且，在圖3中，將空氣的疏密波(縱波)即超聲波設(shè)為正弦曲線(sinecurve)的橫波來(lái)示意性地進(jìn)行表示。再者，當(dāng)對(duì)振動(dòng)體31的振動(dòng)頻率進(jìn)行調(diào)整而產(chǎn)生駐波90時(shí)，也可設(shè)為對(duì)超聲波揚(yáng)聲器30與平板40的表面41的距離進(jìn)行調(diào)整。

如前所述，基板61或安裝在基板(引線框架)61上的半導(dǎo)體模具63利用組裝在接合臺(tái)83上的加熱器84而加熱至200℃左右。因此，接合臺(tái)83或基板(引線框架)61的表面附近的空氣被加溫而上升。上升的空氣在上升至產(chǎn)生有駐波90的空間94附近時(shí)，以避開空間94的方式沿y方向流去。當(dāng)在基板(引線框架)61的表面附近經(jīng)加溫的空氣向上流動(dòng)時(shí)周圍的冷空氣進(jìn)入至基板(引線框架)61的表面。如此一來(lái)，在基板(引線框架)61的表面上經(jīng)加溫的空氣在不存在駐波90時(shí)在基板(引線框架)61的表面與其上方的空間之間進(jìn)行循環(huán)，但是在存在駐波90時(shí)則穿過產(chǎn)生有駐波90的空間94而不循環(huán)。因此，在空間94內(nèi)不會(huì)產(chǎn)生因上升氣流而溫度不同的空氣，即，密度不同的空氣的混合，從而使熱氣的產(chǎn)生得到抑制。其結(jié)果為，如圖4～圖6所示，由攝像器件20檢測(cè)到的圖像的晃動(dòng)變少，從而圖像位置檢測(cè)精度提高。

圖4是表示使用攝像器件20而檢測(cè)到的圖像位置的偏離的時(shí)間變化的圖表。圖像位置的偏離的測(cè)定是利用如下所述的方法進(jìn)行。首先，對(duì)半導(dǎo)體模具63等攝像對(duì)象物的特定式樣(pattern)進(jìn)行模型(model)注冊(cè)，利用歸一化相關(guān)(normalizedcorrelation)進(jìn)行圖像處理而追蹤模型式樣的位置變化。利用所述方法而獲得的模型式樣的位置識(shí)別精度為0.12μm。在圖4中，在實(shí)線上標(biāo)附有黑色三角形的標(biāo)記的線a表示使超聲波揚(yáng)聲器30接通而產(chǎn)生駐波90時(shí)的圖像的x方向上的偏離量的時(shí)間變化，在實(shí)線上標(biāo)附有黑色四邊形的標(biāo)記的線b表示使超聲波揚(yáng)聲器30接通而產(chǎn)生駐波90時(shí)的圖像的y方向上的偏離量的時(shí)間變化，在虛線上標(biāo)附有空心圓形的標(biāo)記的線c表示使超聲波揚(yáng)聲器30斷開而不產(chǎn)生駐波90時(shí)的圖像的x方向上的偏離量的時(shí)間變化，在虛線上標(biāo)附有空心菱形的標(biāo)記的線d表示使超聲波揚(yáng)聲器30斷開而不產(chǎn)生駐波90時(shí)的圖像的y方向上的偏離量的時(shí)間變化。如由圖4所知，表示使超聲波揚(yáng)聲器30接通而產(chǎn)生有駐波90時(shí)的xy方向上的各圖像的位置偏離的線a、線b均在零附近上下波動(dòng)，xy方向上的位置偏離量的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為0.27μm、0.17μm，與此相對(duì)，表示使超聲波揚(yáng)聲器30斷開而不產(chǎn)生駐波90時(shí)的xy方向上的各圖像的位置偏離的線c、線d則遠(yuǎn)離零而大幅起伏，xy方向上的位置偏離量的標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為1.1μm、0.8μm。由此可知，若使超聲波揚(yáng)聲器30接通而產(chǎn)生駐波90，則利用攝像器件20檢測(cè)到的圖像的位置偏離的時(shí)間變化量大幅下降。又，圖5是將xy的各方向上的圖像的偏離量繪制成xy平面狀的區(qū)域的圖，圖中的以實(shí)線包圍且標(biāo)附有右上影線的區(qū)域a表示使超聲波揚(yáng)聲器30接通而產(chǎn)生有駐波90時(shí)的圖像的偏離區(qū)域，圖中的以一點(diǎn)劃線包圍且標(biāo)附有右下影線的區(qū)域b表示使超聲波揚(yáng)聲器30斷開而不產(chǎn)生駐波90時(shí)的圖像的偏離區(qū)域。如圖5所示，區(qū)域a的面積小于區(qū)域b的面積，從而可知若使超聲波揚(yáng)聲器30接通而產(chǎn)生駐波90，則利用攝像器件20檢測(cè)到的圖像的位置偏離量大幅下降。

而且，圖像的檢測(cè)位置的變異也根據(jù)駐波90的空間位置而發(fā)生變化。如圖6所示，可知當(dāng)在駐波90的波節(jié)的位置(雖空氣分子未移動(dòng)但空氣的密度發(fā)生變化的位置)、駐波90的波腹的位置(空氣分子雖移動(dòng)但空氣的密度未發(fā)生變化的位置)以及其中間位置上檢測(cè)到檢測(cè)位置的變異并計(jì)算出其標(biāo)準(zhǔn)偏差時(shí)，如圖6所示，駐波90的波腹的位置與其他位置相比，變異的程度少。

根據(jù)以上所述，如圖3所示，利用超聲波揚(yáng)聲器30而產(chǎn)生駐波90，并對(duì)超聲波揚(yáng)聲器30的振動(dòng)頻率或超聲波揚(yáng)聲器30與平板40的表面41的距離進(jìn)行調(diào)整，以使駐波90的波腹的位置位于攝像器件20的光軸51的附近，由此可有效地抑制熱氣的產(chǎn)生而抑制攝像器件20的圖像檢測(cè)位置的時(shí)間性的偏離或晃動(dòng)。其結(jié)果為，本實(shí)施形態(tài)的打線接合裝置無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝?，而可利用?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。

以下，參照?qǐng)D7至圖13對(duì)本發(fā)明的另一實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。對(duì)與參照?qǐng)D1至圖6而說(shuō)明的部位相同的部位標(biāo)附相同的符號(hào)并省略說(shuō)明。

圖7所示的實(shí)施形態(tài)是將使自超聲波揚(yáng)聲器30放射的超聲波進(jìn)行反射的平板42安裝在攝像器件20上，并且將平板42的表面43與攝像器件20的光軸51的距離d1設(shè)為超聲波的波長(zhǎng)λ的1/4的形態(tài)。在本實(shí)施形態(tài)中，超聲波揚(yáng)聲器30及平板42的表面43構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件35。根據(jù)所述構(gòu)成，表面43必定成為波節(jié)，即使接合頭11沿xy方向移動(dòng)，也可使駐波90的波腹的位置一直停留在攝像器件20的光軸51的附近，因此無(wú)需配合接合頭11的移動(dòng)來(lái)調(diào)整超聲波揚(yáng)聲器30的位置，即可有效地抑制基板(引線框架)61的上方的熱氣的產(chǎn)生而提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度。再者，在圖7中，是設(shè)為朝向x方向配置超聲波揚(yáng)聲器30，并將超聲波的反射面即平板42的表面43配置在yz平面上，以使得在x方向上產(chǎn)生駐波90，但也可與此相反，設(shè)為朝向y方向配置超聲波揚(yáng)聲器30，并將超聲波的反射面即平板42的表面43配置在xz平面上，以使得在y方向上產(chǎn)生駐波90。而且，平板42只要是以其表面43與光軸51的距離d1成為超聲波的波長(zhǎng)λ的1/4的方式而配置，且能夠與攝像器件20一并沿xy方向移動(dòng)，則也可固定在接合頭11上而非攝像器件20上。此外，表面43與光軸51的距離d1只要是使駐波90的波腹來(lái)到光軸51的附近的距離即可，也可并非超聲波的波長(zhǎng)λ的1/4，而以n為正整數(shù)，設(shè)為(2n-1)/4倍，即，3/4倍、5/4倍等。

圖8所示的實(shí)施形態(tài)是將參照?qǐng)D3而說(shuō)明的實(shí)施形態(tài)的平板40置換成超聲波揚(yáng)聲器30的形態(tài)，使相對(duì)向而配置的2個(gè)超聲波揚(yáng)聲器30之間產(chǎn)生駐波90。在所述構(gòu)成中，相對(duì)向而配置的超聲波揚(yáng)聲器30構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件35。與參照?qǐng)D3而說(shuō)明的打線接合裝置10同樣，若自圖中左側(cè)的超聲波揚(yáng)聲器30向圖中右側(cè)的超聲波揚(yáng)聲器30沿箭頭91的方向放射超聲波92’，且自圖中右側(cè)的超聲波揚(yáng)聲器30向圖中左側(cè)的超聲波揚(yáng)聲器30放射同一頻率的超聲波93’，則超聲波92’及超聲波93’會(huì)產(chǎn)生干涉而在2個(gè)超聲波揚(yáng)聲器30之間產(chǎn)生駐波90。利用所述駐波90來(lái)抑制熱氣的產(chǎn)生，而無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝?，可利用?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。

圖9所示的實(shí)施形態(tài)是在基板(引線框架)61與攝像器件20的開口25之間傾斜配置有半反射鏡44的形態(tài)。半反射鏡44是以表面45相對(duì)于光軸51或基板(引線框架)61的表面傾斜45度的方式而配置。如圖9所示，自超聲波揚(yáng)聲器30向箭頭91的方向放射的超聲波的行波92經(jīng)半反射鏡44的表面45反射而沿光軸51到達(dá)基板(引線框架)61或安裝在基板(引線框架)61的表面上的半導(dǎo)體模具63的表面。基板(引線框架)61吸附固定在接合臺(tái)83上，因此不振動(dòng)，而使到達(dá)表面的超聲波反射。經(jīng)基板(引線框架)61的表面反射的超聲波作為反射波93沿光軸51向上行進(jìn)，并經(jīng)半反射鏡44的表面45反射而向超聲波揚(yáng)聲器30行進(jìn)。如此一來(lái)，自超聲波揚(yáng)聲器30放射的超聲波經(jīng)半反射鏡44的表面45及吸附固定在接合臺(tái)83上的基板(引線框架)61的表面反射，而如圖9所示，在超聲波揚(yáng)聲器30與接合臺(tái)83的表面之間呈90度彎曲的空間94內(nèi)產(chǎn)生駐波90。空氣的聲阻抗(acousticimpedance)與樹脂或金屬等相比數(shù)量級(jí)更小，故而使超聲波反射的主體為基板(引線框架)61表面。因此，在本實(shí)施形態(tài)中，超聲波揚(yáng)聲器30、半反射鏡44的表面45以及基板(引線框架)61的表面構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件35。另一方面，基板(引線框架)61的表面或半導(dǎo)體模具63的表面的光通過半反射鏡44到達(dá)攝像器件20的開口25，在攝像面29上成像。本實(shí)施形態(tài)也與之前所述的實(shí)施形態(tài)同樣，利用駐波90來(lái)抑制熱氣的產(chǎn)生，而無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝?，可利用?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。

圖10所示的實(shí)施形態(tài)是以代替參照?qǐng)D3而說(shuō)明的實(shí)施形態(tài)的平板40，利用安裝在彎曲夾持器65的上表面上的平板68的表面69來(lái)使超聲波反射的方式而構(gòu)成的形態(tài)。如圖10所示，在本實(shí)施形態(tài)中，在基板(引線框架)61上沿y方向安裝有3列半導(dǎo)體模具63，彎曲夾持器65為金屬制，包括將各半導(dǎo)體模具63之間的基板(引線框架)61向接合臺(tái)83推按的按壓部66、以及設(shè)置在各半導(dǎo)體模具63的位置上的窗部67，平板68為金屬板，安裝在遠(yuǎn)離超聲波揚(yáng)聲器30側(cè)的按壓部60的端部的上表面。在本實(shí)施形態(tài)中，超聲波揚(yáng)聲器30及平板68的表面69構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件35。

在本實(shí)施形態(tài)中，各半導(dǎo)體模具63的間隔為d2，因此將平板68的表面69與半導(dǎo)體模具63的中心的距離設(shè)為d2的一半的d1，以距離d1為超聲波的波長(zhǎng)λ的1/4的方式對(duì)超聲波的頻率進(jìn)行調(diào)整，由此使駐波90的波腹位于各半導(dǎo)體模具63的中心附近或定位識(shí)別點(diǎn)附近。如參照?qǐng)D6而說(shuō)明，關(guān)于駐波90的波腹的位置，由于圖像的檢測(cè)位置的變異小，因此在本實(shí)施形態(tài)中，即使在沿y方向安裝有多個(gè)半導(dǎo)體模具63的基板(引線框架)61上進(jìn)行打線接合的情況下，也可有效地抑制在各半導(dǎo)體模具63的中心附近產(chǎn)生熱氣，而無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝?，可利用?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。而且，通過將彎曲夾持器65的一部分零件用作超聲波的反射面，可實(shí)現(xiàn)零件個(gè)數(shù)的削減及構(gòu)造的簡(jiǎn)化。

圖11所示的實(shí)施形態(tài)是以與超聲波揚(yáng)聲器30的振動(dòng)體31相對(duì)向的方式而配置拋物面鏡46，且在隔著超聲波揚(yáng)聲器30及接合臺(tái)83的相反側(cè)配置有平板40的形態(tài)。圖11中以箭頭95表示的自超聲波揚(yáng)聲器30放射的超聲波經(jīng)拋物面鏡46的表面47反射而變?yōu)閳D11中以箭頭96表示的平行波而射向平板40，并經(jīng)平板40的表面41反射而返回至超聲波揚(yáng)聲器30。由此，在拋物面鏡46的表面47與平板40的表面41之間的空間94內(nèi)產(chǎn)生駐波90。在本實(shí)施形態(tài)中，超聲波揚(yáng)聲器30、拋物面鏡46的表面47及平板40的表面41構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件35。本實(shí)施形態(tài)也與之前所述的實(shí)施形態(tài)同樣，利用駐波90來(lái)抑制熱氣的產(chǎn)生，而無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝猓衫煤?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。

圖12所示的實(shí)施形態(tài)是配置有橢球面鏡48來(lái)代替圖11所示的實(shí)施形態(tài)的拋物面鏡46的形態(tài)。超聲波揚(yáng)聲器30配置在橢球面鏡48的第1焦點(diǎn)上，平板40是以橢球面鏡48的第2焦點(diǎn)在表面41上位于上方的方式而配置。圖12中以箭頭95表示的自超聲波揚(yáng)聲器30放射的超聲波經(jīng)橢球面鏡48的表面49反射而變?yōu)閳D12中以箭頭97表示的聚焦波(focusedwave)而射向平板40，并聚焦在平板40的表面41的第2焦點(diǎn)，并且經(jīng)表面41反射而返回至超聲波揚(yáng)聲器30。由此，在橢球面鏡48的表面49與平板40的表面41之間的空間94內(nèi)產(chǎn)生超聲波的駐波90。在本實(shí)施形態(tài)中，超聲波揚(yáng)聲器30、橢球面鏡48的表面49及平板40的表面41構(gòu)成駐波產(chǎn)生器件35。在本實(shí)施形態(tài)中，通過利用橢球面鏡48來(lái)使超聲波聚焦在平板40的表面41上，由此可提高在空間94內(nèi)產(chǎn)生的駐波90的強(qiáng)度，因此可更有效地抑制熱氣的產(chǎn)生，而無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝?，可利用?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。

圖13所示的實(shí)施形態(tài)是在朝向接合臺(tái)83而開口的攝像器件的開口25的下側(cè)呈筒狀配置有多個(gè)壓電元件70的形態(tài)。如圖13所示，在配置成筒狀的壓電元件70之間的空間94內(nèi)產(chǎn)生駐波90。所述駐波90自呈筒狀配置的壓電元件70的下側(cè)的開口71向接合臺(tái)83的上表面漏出，而在開口71與接合臺(tái)83的上表面之間形成疑似的駐波空間98。在本實(shí)施形態(tài)中，利用所述疑似的駐波空間98來(lái)抑制熱氣的產(chǎn)生，而無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝?，可利用?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。

在以上所述的各實(shí)施形態(tài)中，攝像器件20是設(shè)為由容納棱鏡26的導(dǎo)入部21、收納透鏡27的鏡筒22以及照相機(jī)24構(gòu)成來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但是也可應(yīng)用于利用沿在z軸方向上延伸的光軸51配置有收納透鏡27的鏡筒22及照相機(jī)24的攝像器件20的打線接合裝置10。

本發(fā)明不僅可應(yīng)用于打線接合裝置10，而且可應(yīng)用于對(duì)吸附固定基板(引線框架)61的接合臺(tái)83進(jìn)行加熱的倒裝芯片(flipchip)接合裝置等其他接合裝置(半導(dǎo)體模具63的封裝裝置)、或者例如將發(fā)光二極體(light-emittingdiode，led)等半導(dǎo)體模具63以外的電子零件封裝在基板(引線框架)61上的封裝裝置。以下，參照?qǐng)D14、圖15，對(duì)將本發(fā)明應(yīng)用于進(jìn)行共晶接合的模具接合裝置的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。對(duì)與參照?qǐng)D1至圖13而說(shuō)明的部分相同的部分標(biāo)附相同的符號(hào)并省略說(shuō)明。

如圖14所示，本實(shí)施形態(tài)的模具接合裝置200包括：y方向框架201，沿x方向移動(dòng)，設(shè)置有y方向?qū)Ъ?02；滑動(dòng)器203，被y方向?qū)Ъ?02導(dǎo)引而沿y方向移動(dòng)；接合臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)205，被滑動(dòng)器203的z方向?qū)Ъ?04導(dǎo)引，使接合臂206及安裝在其前端的接合工具207沿z方向移動(dòng)；滑動(dòng)器210，被y方向?qū)Ъ?02導(dǎo)引而沿y方向移動(dòng)；以及攝像部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)212，被滑動(dòng)器210的z方向?qū)Ъ?11導(dǎo)引而使攝像器件213沿z方向移動(dòng)。而且，實(shí)施形態(tài)的模具接合裝置200包括：左框架221及右框架222，配置在y方向框架201的下側(cè)而沿x方向延伸；導(dǎo)軌81、導(dǎo)軌82，分別安裝在左框架221及右框架222上而對(duì)引線框架261沿x方向進(jìn)行導(dǎo)引；接合臺(tái)83，配置在導(dǎo)軌81、導(dǎo)軌82之間，即配置在引線框架261的下側(cè)；蓋體230，配置在接合臺(tái)83的上側(cè)且設(shè)置有開口231；平板40，安裝在開口231的y方向側(cè)的左框架221的側(cè)面；以及超聲波揚(yáng)聲器30，與平板40的表面41相對(duì)向而配置。

其次，對(duì)圖14所示的模具接合裝置200的基本動(dòng)作進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明。圖14所示的引線框架261通過未圖示的傳送機(jī)構(gòu)而沿x方向傳送，當(dāng)將形成在引線框架261的表面上的島狀物(island)262傳送至蓋體230的開口231的位置時(shí)，如圖15所示被吸附固定在接合臺(tái)83上。在接合臺(tái)83中配置有加熱器84，對(duì)吸附固定在接合臺(tái)83上的引線框架261進(jìn)行加熱。其次，使攝像器件213移動(dòng)至引線框架261的島狀物262的正上方，獲取引線框架261的圖像，對(duì)島狀物262進(jìn)行識(shí)別，而指定其位置。接著，使接合臂206移動(dòng)至經(jīng)攝像器件213進(jìn)行位置檢測(cè)的島狀物262的正上方。在安裝在接合臂206的前端的接合工具207上保持有半導(dǎo)體模具63。如圖15所示，半導(dǎo)體模具63在搭載在引線框架261的島狀物262上的面上形成有鍍金面64。當(dāng)在半導(dǎo)體模具63的下表面上形成有鍍金時(shí)，引線框架261被加熱器84加熱至400℃～450℃左右為止。當(dāng)將引線框架261加熱至所述溫度為止后，使接合臂206、接合工具207降落而將保持在前端的半導(dǎo)體模具63的下側(cè)的面(鍍敷面)推按至引線框架261的島狀物262。引線框架261是在銅制或鐵鎳合金的表面上實(shí)施有鍍銅或鍍銀的構(gòu)件，因此若在高溫下與半導(dǎo)體模具63的下表面的鍍金面相接觸，則彼此的金屬會(huì)產(chǎn)生共晶，而將半導(dǎo)體模具63接合在引線框架261的島狀物262上。在所述說(shuō)明中，是對(duì)在半導(dǎo)體模具63的下表面上實(shí)施有鍍金的情況進(jìn)行說(shuō)明，當(dāng)在半導(dǎo)體模具63的下表面上進(jìn)行有焊接處理時(shí)，則在引線框架261的加熱溫度為300℃～350℃左右的條件下進(jìn)行接合。

如圖14所示，本實(shí)施形態(tài)的模具接合裝置200包括：平板40，安裝在開口231的y方向側(cè)的左框架221的側(cè)面；以及超聲波揚(yáng)聲器30，與平板40的表面41相對(duì)向而配置，與之前參照?qǐng)D3所述同樣，使超聲波揚(yáng)聲器30與平板40的表面41之間產(chǎn)生超聲波的駐波90。如之前參照?qǐng)D3所述，在引線框架261的表面上經(jīng)加溫的空氣在不存在駐波90時(shí)在引線框架261的表面與其上方的空間之間進(jìn)行循環(huán)，而在存在駐波90時(shí)則穿過產(chǎn)生有駐波90的空間而不循環(huán)。因此，在產(chǎn)生有駐波90的空間內(nèi)，不會(huì)產(chǎn)生因上升氣流而溫度不同的空氣，即，密度不同的空氣的混合，從而使熱氣的產(chǎn)生得到抑制。其結(jié)果為，如參照?qǐng)D4～圖6所述，由攝像器件213檢測(cè)到的圖像的晃動(dòng)變少而圖像位置檢測(cè)精度提高。

如以上所述，本實(shí)施形態(tài)的模具接合裝置200也與之前所說(shuō)明的打線接合裝置10同樣，無(wú)需如現(xiàn)有技術(shù)的打線接合裝置噴附氮?dú)饣蚩諝?，而可利用?jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)提高攝像器件20的圖像位置檢測(cè)精度，從而可實(shí)現(xiàn)接合品質(zhì)的提高。

其次，參照?qǐng)D15至圖18對(duì)本實(shí)施形態(tài)的模具接合裝置200的另一實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。對(duì)與參照?qǐng)D1至圖14而說(shuō)明的實(shí)施形態(tài)相同的部分標(biāo)附相同的符號(hào)并省略說(shuō)明。

在參照?qǐng)D14而說(shuō)明的模具接合裝置200中，是以沿y方向軸相對(duì)向的方式而配置超聲波揚(yáng)聲器30及平板40，以使得沿y方向產(chǎn)生駐波90，但在圖16所示的實(shí)施形態(tài)中，是構(gòu)成為以沿x方向軸相對(duì)向的方式而配置超聲波揚(yáng)聲器30及平板40，以使得沿x方向產(chǎn)生超聲波的駐波90。在本實(shí)施形態(tài)中，平板40的y方向長(zhǎng)度形成為與開口231的y方向長(zhǎng)度大致相同的長(zhǎng)度，以使得駐波90的形成區(qū)域能夠覆蓋可抽出插入接合工具207的蓋體230的開口231的y方向整個(gè)區(qū)域。而且，超聲波揚(yáng)聲器30是以可在y方向上配置多個(gè)振動(dòng)體31而在與平板40相對(duì)向的面積內(nèi)放射超聲波的方式而構(gòu)成。根據(jù)所述構(gòu)成，除了之前所述的實(shí)施形態(tài)的效果以外，也可在開口231的上側(cè)的整個(gè)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生超聲波的駐波90。而且，通過對(duì)平板40與開口231的距離或超聲波的頻率進(jìn)行調(diào)整，來(lái)使駐波90的波腹一直來(lái)到進(jìn)行攝像、接合的開口231的附近，由此可更有效地抑制熱氣。

圖17所示的模具接合裝置200是在參照?qǐng)D14而說(shuō)明的模具接合裝置200中，將使超聲波反射的平板242固定在滑動(dòng)器210的下表面上，以使得可與攝像器件213一并沿y方向移動(dòng)。平板242是以位于與安裝在未圖示的框架上的超聲波揚(yáng)聲器30相對(duì)向的位置的方式，利用臂244而固定在滑動(dòng)器210的下側(cè)。本實(shí)施形態(tài)是與參照?qǐng)D7而說(shuō)明的打線接合裝置10同樣，將平板242的表面243與攝像器件213的光軸的距離設(shè)為超聲波的波長(zhǎng)λ的1/4的形態(tài)。根據(jù)所述構(gòu)成，表面243必定成為波節(jié)，即使滑動(dòng)器210沿y方向移動(dòng)，也可使駐波90的波腹的位置一直停留在攝像器件213的光軸的附近，因而無(wú)需配合滑動(dòng)器210的移動(dòng)來(lái)調(diào)整超聲波揚(yáng)聲器30的位置，即可有效地抑制引線框架261的上方的熱氣的產(chǎn)生而提高攝像器件213的圖像位置檢測(cè)精度。

圖17所示的模具接合裝置200是設(shè)為朝向y方向配置超聲波揚(yáng)聲器30，且將超聲波的反射面即平板242的表面243配置在xz平面上，以使得在y方向上產(chǎn)生駐波90，但也可如圖18所示，設(shè)為朝向x方向配置超聲波揚(yáng)聲器30，且將超聲波的反射面即平板245的表面246配置在yz平面，以使得在x方向上產(chǎn)生駐波90。而且，平板245是以其表面246與攝像器件213的光軸的x方向距離成為超聲波的波長(zhǎng)λ的1/4的方式而配置，只要能夠與攝像器件213一并沿x方向移動(dòng)，便也可固定在y方向框架201上而非攝像器件213上。本實(shí)施形態(tài)可獲得與之前參照?qǐng)D17而說(shuō)明的實(shí)施形態(tài)相同的效果。

[符號(hào)的說(shuō)明]

10：打線接合裝置

11：接合頭

12：xy平臺(tái)

13：超聲波變幅桿

14：毛細(xì)管

15：夾持器

16：線

17：線軸

18：z方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

20、213：攝像器件

21：導(dǎo)入部

22：鏡筒

24：照相機(jī)

25、71、231：開口

26：棱鏡

27：透鏡

28：攝像元件

29：攝像面

30：超聲波揚(yáng)聲器

31：振動(dòng)體

32、70：壓電元件

33：框體

35：駐波產(chǎn)生器件

40、42、68、242、245：平板

41、43、45、47、49、69、243、246：表面

44：半反射鏡

46：拋物面鏡

48：橢球面鏡

51、52：光軸

61：基板

63：半導(dǎo)體模具

65：彎曲夾持器

66：按壓部

67：窗部

81、82：導(dǎo)軌

83：接合臺(tái)

84：加熱器

90：駐波

91、95～97：箭頭

92：行波

92’、93’：超聲波

93：反射波

94：空間

98：駐波空間

100：控制部

200：模具接合裝置

201：y方向框架

202：y方向?qū)Ъ?/p>

203、210：滑動(dòng)器

204、211：z方向?qū)Ъ?/p>

205：接合臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

206：接合臂

207：接合工具

212：攝像部驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

213：攝像器件

221：左框架

222：右框架

230：蓋體

244：臂

261：引線框架

262：島狀物

λ：波長(zhǎng)