技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供能夠用于制造品質(zhì)和可靠性進一步提高的半導(dǎo)體裝置的密封用片。一種密封用片，其中，使用在150℃進行1小時熱處理后的樣品，在50℃的N?甲基?2?吡咯烷酮中浸漬3000秒鐘前后的重量變化在以熱處理后為基準的情況下為1重量％以下。

技術(shù)研發(fā)人員：飯野智繪;志賀豪士;石井淳
受保護的技術(shù)使用者：日東電工株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.28
技術(shù)公布日：2017.08.29