技術特征:
技術總結
一種用于制造電子器件的方法包括:通過光刻工藝在載體(2)的上側形成犧牲結構(470)以及使用模制部分(481)對布置在載體(2)的上側的犧牲結構(470)和電子半導體芯片(430)進行成形,使得所述電子半導體芯片(430)的表面(435)至少部分地不被模制部分(481)覆蓋。作為另外的步驟,所述方法包括使所述模制部分(481)從所述載體(2)脫離以及去除犧牲結構(470),其中通過去除所述犧牲結構(470)在所述模制部分(470)中形成凹處。
技術研發(fā)人員:L.海貝格爾;M.施佩爾
受保護的技術使用者:奧斯蘭姆奧普托半導體有限責任公司
技術研發(fā)日:2015.08.04
技術公布日:2017.08.29