技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本主題涉及用于對MEMS裝置中的靜電致動的隔離以減少或最小化介電充電的裝置、系統(tǒng)和方法。一種可調(diào)諧部件可以包括：固定致動電極，其定位在基板上；可動致動電極，其承載在懸置于基板上方的可動部件上；一個或多個隔離凸起，所述一個或多個隔離凸起定位在固定致動電極與可動致動電極之間；以及固定隔離著落部，其被隔離在固定致動電極的在一個或多個隔離凸起中的每一個隔離凸起處、在每一個隔離凸起附近、和/或與每一個隔離凸起大致對齊的部分內(nèi)。在該布置中，可動致動電極可以選擇性地朝向固定致動電極移動，但一個或多個隔離凸起可以防止固定致動電極與可動致動電極之間的接觸，且固定隔離著落部可以抑制在隔離凸起中產(chǎn)生電場。

技術(shù)研發(fā)人員：達娜·德雷烏斯;亞瑟·S·莫里斯;戴維·莫利內(nèi)羅-賈爾斯
受保護的技術(shù)使用者：維斯普瑞公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.05
技術(shù)公布日：2017.08.18