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接合裝置、接合方法以及加壓單元與流程

文檔序號:12167661閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種接合裝置,通過對具有將經(jīng)由金屬粒子漿將電子部件載置在基板上的組合體夾住并傳導(dǎo)壓力以及熱量的第一傳導(dǎo)部件以及第二傳導(dǎo)部件的加壓單元進(jìn)行加壓并加熱,從而將所述基板與所述電子部件接合,其特征在于,包括:

加熱構(gòu)造部,具有被配置在相對位置上的第一加熱部以及第二加熱部;

定位構(gòu)造部,用于將所述加壓單元定位在所述第一加熱部以及所述第二加熱部之間的空間中不與所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的任意一方相接觸的位置上;以及

加壓構(gòu)造部,通過使所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的至少一方沿從所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的一方向另一方的方向移動,從而對所述加壓單元加壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接合裝置,其特征在于:

其中,所述第一傳導(dǎo)部件具有:在與所述第二傳導(dǎo)部件相對的面的相反一側(cè)的面的中央部分上向外側(cè)突出的高臺部以及被設(shè)置在所述高臺部周圍的肩部,

所述定位構(gòu)造部具有:

托架,形成有收納所述加壓單元時將所述高臺部插入的開口部,并且,具備在所述開口部的周圍形成有收納所述加壓單元時支撐所述肩部的支撐部的底面;以及

定位部,能夠通過將收納有所述加壓單元的所述托架定位,從而將所述加壓單元定位在不與所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的任意一方相接觸的位置上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的接合裝置,其特征在于:

其中,所述第一加熱部位于比所述第二加熱部更下方的位置上,

所述加壓構(gòu)造部通過使所述第一加熱部向上方移動從而對所述加壓單元加壓。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的接合裝置,其特征在于:

其中,所述加壓構(gòu)造部能夠通過使所述第一加熱部沿上下方向移動從而使所述加壓單元以及所述托架沿上下方向移動,

所述第一加熱部被配置在所述加壓單元的所述第一傳導(dǎo)部件一側(cè),并且,所述第二加熱部被配置在所述加壓單元的所述第二傳導(dǎo)部件一側(cè),

所述支撐部在所述第一傳導(dǎo)部件未與所述第一加熱部接觸時為支撐所述肩部的狀態(tài),在所述第一傳導(dǎo)部件與所述第一加熱部接觸時為從所述肩部離開的狀態(tài)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的接合裝置,其特征在于:

其中,所述加壓構(gòu)造部在對所述加壓單元加壓并加熱后,通過使所述第一加熱部向下方移動從而使所述加壓單元處于在所述第一加熱部以及所述第二加熱部之間的空間中不與所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的任意一方相接觸的狀態(tài)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任意一項所述的接合裝置,其特征在于:

其中,所述加壓構(gòu)造部通過使所述第一加熱部向上方移動的同時使所述第二加熱部向下方移動,從而對所述加壓單元加壓。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項所述的接合裝置,其特征在于:

其中,進(jìn)一步包括:

空室,被設(shè)置在包圍所述第一加熱部以及所述第二加熱部的位置上;以及

真空泵,將所述空室內(nèi)變?yōu)檎婵铡?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的接合裝置,其特征在于:

其中,進(jìn)一步包括:惰性氣體供應(yīng)構(gòu)造,能夠向所述空室內(nèi)供應(yīng)惰性氣體。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的接合裝置,其特征在于:

其中,所述第一加熱部位于比所述第二加熱部更上方的位置上,所述加壓構(gòu)造部通過使所述第一加熱部向下方移動從而對所述加壓單元加壓。

10.一種接合方法,使用權(quán)利要求1至9中任意一項所述的接合裝置,通過對具有夾住經(jīng)由金屬粒子漿將電子部件載置在基板上的組合體后傳導(dǎo)壓力以及熱量的第一傳導(dǎo)部件以及第二傳導(dǎo)部件的加壓單元進(jìn)行加壓并加熱,從而將所述基板與所述電子部件接合,其特征在于,依次包括:

加壓單元定位工序,通過定位構(gòu)造部將所述加壓單元定位在所述第一加熱部以及所述第二加熱部之間的空間中不與所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的任意一方相接觸的位置上;

加壓單元移動工序,通過加壓構(gòu)造部使所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的至少一方沿從所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的一方向另一方的方向移動,從而使加壓單元沿從所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的一方向另一方的方向移動;以及

加壓單元加壓加熱工序,通過加壓構(gòu)造部使所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的至少一方沿從所述第一加熱部以及所述第二加熱部中的一方向另一方的方向移動,從而對所述加壓單元加壓并加熱。

11.一種加壓單元,使用權(quán)利要求1至9中任意一項所述的接合裝置,其特征在于:

具有被配置在相對位置上的,并且用于傳導(dǎo)壓力以及熱量的所述第一傳導(dǎo)部件以及所述第二傳導(dǎo)部件,

其中,所述第一傳導(dǎo)部件具有:在與所述第二傳導(dǎo)部件相對的面的相反一側(cè)的面的中央部分上向外側(cè)突出的高臺部以及被設(shè)置在所述高臺部周圍的肩部。

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