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產(chǎn)品驗(yàn)收系統(tǒng)及產(chǎn)品驗(yàn)收方法與流程

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技術(shù)特征:

1.一種產(chǎn)品驗(yàn)收系統(tǒng),包括檢測(cè)模塊和判斷模塊,所述判斷模塊依據(jù)所述檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果決定產(chǎn)品的扣留和放行;

其中,所述檢測(cè)模塊包括多個(gè)子模塊;在前一個(gè)子模塊運(yùn)作完成并且該前一個(gè)子模塊的檢測(cè)結(jié)果正常的情況下,下一個(gè)子模塊進(jìn)行運(yùn)作以對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè);在任一個(gè)子模塊的檢測(cè)結(jié)果不正常的情況下,所述判斷模塊決定產(chǎn)品扣留,在每一個(gè)子模塊的檢測(cè)結(jié)果都正常的情況下,所述判斷模塊決定產(chǎn)品放行。

2.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品驗(yàn)收系統(tǒng),其特征在于,所述多個(gè)子模塊包括:良率及性能檢測(cè)模塊、疊加檢測(cè)模塊、單片檢測(cè)模塊及附加模塊,所述良率及性能檢測(cè)模塊分析產(chǎn)品的良率及性能是否正常,所述疊加檢測(cè)模塊將同一批晶圓上的產(chǎn)品的測(cè)試結(jié)果疊加后進(jìn)行檢測(cè),所述單片檢測(cè)模塊對(duì)單片晶圓上的產(chǎn)品的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行檢測(cè),所述附加模塊按照設(shè)定的附加要求進(jìn)行檢測(cè)。

3.如權(quán)利要求2所述的產(chǎn)品驗(yàn)收系統(tǒng),其特征在于,所述附加要求的數(shù)量大于等于2。

4.如權(quán)利要求2所述的產(chǎn)品驗(yàn)收系統(tǒng),其特征在于,所述子模塊還包括一過(guò)濾模塊,將晶圓中的設(shè)定區(qū)域過(guò)濾。

5.如權(quán)利要求4所述的產(chǎn)品驗(yàn)收系統(tǒng),其特征在于,所述過(guò)濾模塊,運(yùn)作的順序次于所述良率及性能檢測(cè)模塊,先于所述疊加檢測(cè)模塊。

6.一種產(chǎn)品驗(yàn)收方法,利用如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品驗(yàn)收系統(tǒng)進(jìn)行產(chǎn)品的驗(yàn)收。

7.如權(quán)利要求6所述的產(chǎn)品驗(yàn)收方法,其特征在于,包括:

步驟一:第一子模塊判斷產(chǎn)品的良率及性能,若存在異常情況,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟二;

步驟二:第二子模塊過(guò)濾設(shè)定區(qū)域,并接著執(zhí)行步驟三;

步驟三:第三子模塊將同一批晶圓上的產(chǎn)品的測(cè)試結(jié)果疊加后進(jìn)行檢測(cè),若存在異常情況,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟四;

步驟四:第四子模塊對(duì)單片晶圓上的產(chǎn)品的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行檢測(cè),若存在異常情況,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟五;

步驟五:第五子模塊按照附加要求進(jìn)行檢測(cè),若存在異常情況,則判斷模 塊將產(chǎn)品扣留;反之,判斷模塊將產(chǎn)品放行。

8.如權(quán)利要求7所述的產(chǎn)品驗(yàn)收方法,其特征在于,所述步驟三包括:

步驟三一:檢測(cè)是否存在塊狀或者堆狀缺陷,若存在,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟三二;

步驟三二:檢測(cè)是否存在周期性缺陷,若存在,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟三三;

步驟三三:檢測(cè)是否存在連續(xù)性缺陷,若存在,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟四。

9.如權(quán)利要求7或8所述的產(chǎn)品驗(yàn)收方法,其特征在于,所述步驟四包括:

步驟四一:檢測(cè)是否存在區(qū)域性缺陷,若存在,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟四二;

步驟四二:檢測(cè)是否存在連續(xù)性缺陷,若存在,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟四三;

步驟四三:檢測(cè)是否存在塊狀或者堆狀缺陷,若存在,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟四四;

步驟四四:檢測(cè)是否存在重復(fù)性缺陷,若存在,則判斷模塊將產(chǎn)品扣留;反之,執(zhí)行步驟五。

10.如權(quán)利要求9所述的產(chǎn)品驗(yàn)收方法,其特征在于,若產(chǎn)品扣留,將該產(chǎn)品所在批的全部晶圓扣留,并追加檢測(cè)緊鄰的前后各一批晶圓上的產(chǎn)品。

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