技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體處理設(shè)備、系統(tǒng)與半導(dǎo)體處理設(shè)備的頂蓋開啟方法。所述半導(dǎo)體處理設(shè)備，包括反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔設(shè)置有主體部與頂蓋，所述主體部上設(shè)置有導(dǎo)軌，所述頂蓋上設(shè)置有用于開啟頂蓋的裝置，所述裝置包括：操作部，設(shè)置在頂蓋的外表面一側(cè)；輪，設(shè)置在頂蓋的內(nèi)表面一側(cè)，位于所述導(dǎo)軌的上方；聯(lián)動部，連接所述操作部與所述輪，并可在操作部的作用下帶動所述輪向上或向下移動；所述輪可相對所述聯(lián)動部轉(zhuǎn)動。

技術(shù)研發(fā)人員：左濤濤;吳狄
受保護的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
文檔號碼：201510960855
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.21
技術(shù)公布日：2017.06.27