1.一種半導(dǎo)體裝置，包括：
轉(zhuǎn)移室，配置為與電鍍裝置交界；
退火站，布置為使晶圓退火；
機(jī)械臂，布置為將所述晶圓從所述轉(zhuǎn)移室轉(zhuǎn)移至所述退火站；以及
邊緣檢測(cè)器，設(shè)置在所述機(jī)械臂上方，以監(jiān)測(cè)由所述機(jī)械臂攜運(yùn)的所述晶圓的邊緣斜角去除區(qū)域的至少一部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述邊緣檢測(cè)器包括：
照明器件，布置為照亮所述邊緣斜角去除區(qū)域的所述至少一部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述邊緣檢測(cè)器包括用于捕捉所述邊緣斜角去除區(qū)域的所述至少一部分的圖像的電荷耦合器件(CCD)相機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置，其中，當(dāng)所述晶圓由所述機(jī)械臂攜運(yùn)至預(yù)定位置時(shí)，所述CCD相機(jī)捕捉所述邊緣斜角去除區(qū)域的所述至少一部分的所述圖像。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述預(yù)定位置位于所述晶圓在所述轉(zhuǎn)移室和所述退火站之間的轉(zhuǎn)移路徑上。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述邊緣檢測(cè)器還包括：
觸發(fā)器件，布置為激活所述CCD相機(jī)以當(dāng)所述觸發(fā)器件確定所述觸發(fā)器件與所述機(jī)械臂之間的距離等于預(yù)定距離時(shí)捕捉所述至少一部分的所述圖像。
7.一種用于檢測(cè)晶圓的方法，所述方法包括：
由機(jī)械臂將所述晶圓從轉(zhuǎn)移室轉(zhuǎn)移至退火站；以及當(dāng)所述晶圓從所述轉(zhuǎn)移室轉(zhuǎn)移至所述退火站時(shí)，監(jiān)測(cè)所述機(jī)械臂上方的所述晶圓的邊緣斜角去除區(qū)域的至少一部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，還包括：
照亮所述邊緣斜角去除區(qū)域的所述至少一部分。
9.一種電鍍系統(tǒng)，包括：
電鍍裝置，布置為電鍍晶圓；以及
半導(dǎo)體裝置，包括：
轉(zhuǎn)移室，布置為與所述電鍍裝置交界；
退火室，布置為使所述晶圓退火；
機(jī)械臂，布置為將所述晶圓從所述轉(zhuǎn)移室轉(zhuǎn)移至所述退火站；以及
邊緣檢測(cè)器，設(shè)置在所述機(jī)械臂上方以監(jiān)測(cè)由所述機(jī)械臂攜運(yùn)的所述晶圓的邊緣斜角去除區(qū)域的至少一部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電鍍系統(tǒng)，其中，所述邊緣檢測(cè)器包括：
照明器件，布置為照亮所述邊緣斜角去除區(qū)域的所述至少一部分。