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一種能快速檢測芯片彈坑的方法與流程

文檔序號:11836228閱讀:5267來源:國知局
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝焊線工序品質(zhì)檢驗(yàn)工序領(lǐng)域,尤其涉及一種能快速檢測芯片彈坑的方法。
背景技術(shù)
:芯片指內(nèi)含集成電路的硅片,體積很小,是計(jì)算機(jī)或其他電子設(shè)備的一部分,集成電路封裝就是把芯片、引線框架經(jīng)過壓焊用引線連接后,再用塑封料包封起來,為集成電路芯片提供輸出和保護(hù),避免人為和環(huán)境因素的損傷,從而保證集成電路能夠穩(wěn)定、可靠地工作。彈坑就是在集成電路封裝過程中,因各種因素使芯片鋁墊鋁層及底層硅化合物遭破壞的一種現(xiàn)象。產(chǎn)生彈坑問題的因素多種多樣,為了生產(chǎn)出高質(zhì)量、低成本的芯片產(chǎn)品,彈坑的檢測和判定方法顯得尤為重要。目前最常用的芯片彈坑的檢測方法有兩種,一是用化學(xué)藥水氫氧化鉀、磷酸加熱進(jìn)行,另外使用王水進(jìn)行對比試驗(yàn),最后在高倍顯微鏡下進(jìn)行檢查判定,對操作人員的安全防護(hù)要求比較高,且加熱時(shí)間和加熱溫度不好控制,耗時(shí)長,工作效率低;二是把強(qiáng)堿溶液滴在做好的成品IC芯片上,利用室溫讓溶液與芯片上的焊點(diǎn)鋁起反應(yīng),最后在高倍顯微鏡下進(jìn)行檢查判定,操作簡單,但產(chǎn)品質(zhì)量不高,且所需時(shí)間長,工作效率低。對此本發(fā)明提出了一種能快速檢測芯片彈坑的方法。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn),而提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法。一種能快速檢測芯片彈坑的方法,包括以下步驟:S1、準(zhǔn)備:芯片產(chǎn)品、美工刀、100ML燒杯A、100ML燒杯B、加熱平臺、金屬小鑷子、攪拌棒、高倍顯微鏡、氫氧化鈉、丙酮、水;S2、按25-35%重量百分比的濃度來計(jì)算稱取所需要使用的氫氧化鈉和水;S3、將步驟S2中稱取的水倒入100ML燒杯A中,緩慢加入步驟S2中稱取的氫氧化鈉,用玻璃棒輕輕攪拌8-15min,直至完全溶解呈無色透明狀;S4、將步驟S3中配制好的氫氧化鈉溶液放入加熱平臺加熱至80-110℃,保溫備用;S5、使用美工刀切割芯片產(chǎn)品,將切割的芯片產(chǎn)品用金屬小鑷子輕放入保溫狀態(tài)的氫氧化鈉溶液中,加熱3-5min;S6、將一定量的丙酮倒入100ML燒杯燒杯B中,將步驟S5中加熱后的芯片產(chǎn)品取出,放入100ML燒杯B中清潔并晾干;S7、在高倍顯微鏡下觀察芯片產(chǎn)品情況,無破損、裂縫、凹坑或彩虹現(xiàn)象即為正常。優(yōu)選的,所述步驟S1中的水為純水。優(yōu)選的,所述步驟S2中的重量百分比濃度為28-32%。優(yōu)選的,所述步驟S4中的加熱溫度為85-100℃。優(yōu)選的,所述步驟S5中的加熱時(shí)間為4min。優(yōu)選的,所述步驟S6中的丙酮量與純水量的比為1-1.4:1。本發(fā)明提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法,操作簡單,過程中所用設(shè)備和溶液可重復(fù)使用,有效的提高了設(shè)備及溶液的利用率,降低了成本,本發(fā)明提出的方法能快速的檢測彈坑,耗時(shí)短,耗時(shí)短,做好溶液配制、加熱完成后,彈坑檢測時(shí)間一般可控制在5分鐘以內(nèi),有效的提高了工作效率,且保證了產(chǎn)品質(zhì)量。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步解說。實(shí)施例一本發(fā)明提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法,包括以下步驟:S1、準(zhǔn)備:芯片產(chǎn)品、美工刀、100ML燒杯A、100ML燒杯B、加熱平臺、金屬小鑷子、攪拌棒、高倍顯微鏡、氫氧化鈉、丙酮、純水;S2、按28%重量百分比的濃度來計(jì)算稱取所需要使用的氫氧化鈉和純水;S3、將步驟S2中稱取的純水倒入100ML燒杯中,緩慢加入步驟S2中稱取的氫氧化鈉,用玻璃棒輕輕攪拌15min,直至完全溶解呈無色透明狀;S4、將步驟S3中配制好的氫氧化鈉溶液放入加熱平臺加熱至90℃,保溫備用;S5、使用美工刀切割芯片產(chǎn)品,將切割的芯片產(chǎn)品用金屬小鑷子輕放入保溫狀態(tài)的氫氧化鈉溶液中,加熱4min;S6、將用量與純水用量相等的丙酮倒入100ml燒杯B中,將步驟S5中加熱后的芯片產(chǎn)品取出,放入100ML燒杯B中清潔并晾干;S7、在高倍顯微鏡下觀察芯片產(chǎn)品情況,無破損、裂縫、凹坑或彩虹現(xiàn)象即為正常。實(shí)施例二本發(fā)明提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法,包括以下步驟:S1、準(zhǔn)備:芯片產(chǎn)品、美工刀、100ML燒杯A、100ML燒杯B、加熱平臺、金屬小鑷子、攪拌棒、高倍顯微鏡、氫氧化鈉、丙酮、純水;S2、按32%重量百分比的濃度來計(jì)算稱取所需要使用的氫氧化鈉和純水;S3、將步驟S2中稱取的純水倒入100ML燒杯中,緩慢加入步驟S2中稱取的氫氧化鈉,用玻璃棒輕輕攪拌10min,直至完全溶解呈無色透明狀;S4、將步驟S3中配制好的氫氧化鈉溶液放入加熱平臺加熱至100℃,保溫備用;S5、使用美工刀切割芯片產(chǎn)品,將切割的芯片產(chǎn)品用金屬小鑷子輕放入保溫狀態(tài)的氫氧化鈉溶液中,加熱3min;S6、將用量為純水用量1.3倍的丙酮倒入100ml燒杯B中,將步驟S5中加熱后的芯片產(chǎn)品取出,放入100ML燒杯B中清潔并晾干;S7、在高倍顯微鏡下觀察芯片產(chǎn)品情況,無破損、裂縫、凹坑或彩虹現(xiàn)象即為正常。實(shí)施例三本發(fā)明提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法,包括以下步驟:S1、準(zhǔn)備:芯片產(chǎn)品、美工刀、100ML燒杯A、100ML燒杯B、加熱平臺、金屬小鑷子、攪拌棒、高倍顯微鏡、氫氧化鈉、丙酮、純水;S2、按25%重量百分比的濃度來計(jì)算稱取所需要使用的氫氧化鈉和純水;S3、將步驟S2中稱取的純水倒入100ML燒杯中,緩慢加入步驟S2中稱取的氫氧化鈉,用玻璃棒輕輕攪拌9min,直至完全溶解呈無色透明狀;S4、將步驟S3中配制好的氫氧化鈉溶液放入加熱平臺加熱至85℃,保溫備用;S5、使用美工刀切割芯片產(chǎn)品,將切割的芯片產(chǎn)品用金屬小鑷子輕放入保溫狀態(tài)的氫氧化鈉溶液中,加熱3.5min;S6、將用量為純水用量1.1倍的丙酮倒入100ml燒杯B中,將步驟S5中加熱后的芯片產(chǎn)品取出,放入100ML燒杯B中清潔并晾干;S7、在高倍顯微鏡下觀察芯片產(chǎn)品情況,無破損、裂縫、凹坑或彩虹現(xiàn)象即為正常。實(shí)施例四本發(fā)明提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法,包括以下步驟:S1、準(zhǔn)備:芯片產(chǎn)品、美工刀、100ML燒杯A、100ML燒杯B、加熱平臺、金屬小鑷子、攪拌棒、高倍顯微鏡、氫氧化鈉、丙酮、純水;S2、按30%重量百分比的濃度來計(jì)算稱取所需要使用的氫氧化鈉和純水;S3、將步驟S2中稱取的純水倒入100ML燒杯中,緩慢加入步驟S2中稱取的氫氧化鈉,用玻璃棒輕輕攪拌14min,直至完全溶解呈無色透明狀;S4、將步驟S3中配制好的氫氧化鈉溶液放入加熱平臺加熱至95℃,保溫備用;S5、使用美工刀切割芯片產(chǎn)品,將切割的芯片產(chǎn)品用金屬小鑷子輕放入保溫狀態(tài)的氫氧化鈉溶液中,加熱5min;S6、將用量為純水用量1.4倍的丙酮倒入100ml燒杯B中,將步驟S5中加熱后的芯片產(chǎn)品取出,放入100ML燒杯B中清潔并晾干;S7、在高倍顯微鏡下觀察芯片產(chǎn)品情況,無破損、裂縫、凹坑或彩虹現(xiàn)象即為正常。實(shí)施例五本發(fā)明提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法,包括以下步驟:S1、準(zhǔn)備:芯片產(chǎn)品、美工刀、100ML燒杯A、100ML燒杯B、加熱平臺、金屬小鑷子、攪拌棒、高倍顯微鏡、氫氧化鈉、丙酮、純水;S2、按35%重量百分比的濃度來計(jì)算稱取所需要使用的氫氧化鈉和純水;S3、將步驟S2中稱取的純水倒入100ML燒杯中,緩慢加入步驟S2中稱取的氫氧化鈉,用玻璃棒輕輕攪拌12min,直至完全溶解呈無色透明狀;S4、將步驟S3中配制好的氫氧化鈉溶液放入加熱平臺加熱至105℃,保溫備用;S5、使用美工刀切割芯片產(chǎn)品,將切割的芯片產(chǎn)品用金屬小鑷子輕放入保溫狀態(tài)的氫氧化鈉溶液中,加熱4.5min;S6、將用量為純水用量1.2倍的丙酮倒入100ml燒杯B中,將步驟S5中加熱后的芯片產(chǎn)品取出,放入100ML燒杯B中清潔并晾干;S7、在高倍顯微鏡下觀察芯片產(chǎn)品情況,無破損、裂縫、凹坑或彩虹現(xiàn)象即為正常。將上述五組實(shí)施例提出的彈坑檢測方法中所用彈坑檢測時(shí)間進(jìn)行統(tǒng)計(jì),得出以下結(jié)果:實(shí)施例實(shí)施例一實(shí)施例二實(shí)施例三實(shí)施例四實(shí)施例五檢測時(shí)間3.8min3.2min3.5min4.7min4.5min本發(fā)明提出的一種能快速檢測芯片彈坑的方法,操作簡單,過程中所用設(shè)備和溶液可重復(fù)使用,有效的提高了設(shè)備及溶液的利用率,降低了成本,本發(fā)明提出的方法能快速的檢測彈坑,耗時(shí)短,做好溶液配制、加熱完成后,彈坑檢測時(shí)間一般可控制在5分鐘以內(nèi),有效的提高了工作效率,且保證了產(chǎn)品質(zhì)量。以上所述,僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式,但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本
技術(shù)領(lǐng)域
的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi),根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。當(dāng)前第1頁1 2 3 
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