1.一種控壓方法，其特征在于，包括：
確定控制真空傳輸腔室壓力的抽氣閥開啟、且所述真空傳輸腔室壓力小于第一設(shè)定壓力值時，控制質(zhì)量流量控制器以第一設(shè)定流量值向所述真空傳輸腔室充入氣體；
獲取所述真空傳輸腔室的壓力值；
當(dāng)獲取的所述壓力值大于第二設(shè)定壓力值時，控制所述質(zhì)量流量控制器以第二設(shè)定流量值向所述真空傳輸腔室充入氣體，其中，所述第一設(shè)定流量值大于所述第二設(shè)定流量值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
當(dāng)獲取的所述壓力值小于或等于所述第二設(shè)定壓力值時，判斷向所述真空傳輸腔室充入氣體的時間是否超出第一設(shè)定時間；
若未超出所述第一設(shè)定時間，則返回所述獲取所述真空傳輸腔室壓力值的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述確定控制真空傳輸腔室壓力的抽氣閥開啟、且所述真空傳輸腔室壓力小于第一設(shè)定壓力值的步驟，包括：
關(guān)閉控制所述真空傳輸腔室壓力的慢抽閥，并開啟快抽閥；
獲取所述真空傳輸腔室的壓力值；當(dāng)獲取的所述壓力值大于或等于所述第一設(shè)定壓力值，則判斷所述快抽閥的開啟時間是否超出第二設(shè)定時間；若未超出第二設(shè)定時間，則返回所述獲取所述真空傳輸腔室壓力值，并判斷獲取的所述真空傳輸腔室壓力值是否小于第一設(shè)定壓力值的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在所述關(guān)閉控制所述真空傳輸腔室壓力的慢抽閥的步驟之前還包括：
開啟所述慢抽閥；
待所述慢抽閥開啟超出第三設(shè)定時間后，獲取所述真空傳輸腔室的壓力值，并判斷獲取的所述真空傳輸腔室壓力值是否小于或等于第三設(shè)定壓力值；
若小于或等于所述第三設(shè)定壓力值，則執(zhí)行所述關(guān)閉所述控制真空傳 輸腔室壓力的慢抽閥，并開啟所述快抽閥的步驟；
若大于所述第三設(shè)定壓力值，則顯示用于指示所述真空傳輸腔室的當(dāng)前狀態(tài)未達(dá)到開啟快抽閥條件的告警信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述開啟所述慢抽閥的步驟之前，所述方法還包括：
獲取所述真空傳輸腔室的壓力值，并判斷獲取的所述真空傳輸腔室壓力值是否小于或等于所述第三設(shè)定壓力值；
若大于所述第三設(shè)定壓力值，則執(zhí)行所述開啟所述慢抽閥的步驟；
若小于或等于所述第三設(shè)定壓力值，則直接執(zhí)行所述獲取所述真空傳輸腔室的壓力值，以判斷獲取的所述真空傳輸腔室壓力值是否小于第一設(shè)定壓力值。
6.一種控壓裝置，其特征在于，包括：
第一控制模塊，用于確定控制真空傳輸腔室壓力的抽氣閥開啟、且所述真空傳輸腔室壓力小于第一設(shè)定壓力值時，控制質(zhì)量流量控制器以第一設(shè)定流量值向所述真空傳輸腔室充入氣體；
獲取模塊，用于獲取所述真空傳輸腔室的壓力值；
第二控制模塊，用于當(dāng)所述獲取模塊獲取的所述壓力值大于第二設(shè)定壓力值時，控制所述質(zhì)量流量控制器以第二設(shè)定流量值向所述真空傳輸腔室充入氣體，其中，所述第一設(shè)定流量值大于所述第二設(shè)定流量值。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述控壓裝置還包括：
第一時間判斷模塊，用于當(dāng)所述獲取模塊獲取的所述壓力值小于或等于所述第二設(shè)定壓力值時，判斷向所述真空傳輸腔室充入氣體的時間是否超出第一設(shè)定時間；若未超出所述第一設(shè)定時間，則調(diào)用所述獲取模塊。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的裝置，其特征在于，所述第一控制模塊包括：
閥門控制子模塊，用于關(guān)閉控制所述真空傳輸腔室壓力的慢抽閥，并開啟快抽閥；
獲取子模塊，用于獲取所述真空傳輸腔室的壓力值；
執(zhí)行子模塊，用于當(dāng)所述獲取子模塊獲取的所述壓力值大于或等于所述第一設(shè)定壓力值，則判斷所述快抽閥的開啟時間是否超出第二設(shè)定時間；若未超出第二設(shè)定時間，則調(diào)用所述獲取子模塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述控壓裝置還包括：
第二閥門控制模塊，用于在所述閥門控制子模塊關(guān)閉控制所述真空傳輸腔室壓力的慢抽閥之前，開啟所述慢抽閥；
第三判斷模塊，用于待所述慢抽閥開啟超出第三設(shè)定時間后，獲取所述真空傳輸腔室的壓力值，并判斷獲取的所述真空傳輸腔室壓力值是否小于或等于第三設(shè)定壓力值；
第三執(zhí)行模塊，用于若所述第三判斷模塊的判斷結(jié)果為小于或等于所述第三設(shè)定壓力值，則調(diào)用所述閥門控制子模塊；
第四執(zhí)行模塊，用于若所述第三判斷模塊的判斷結(jié)果為大于所述第三設(shè)定壓力值，則顯示用于指示所述真空傳輸腔室的當(dāng)前狀態(tài)未達(dá)到開啟快抽閥條件的告警信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述控壓裝置還包括：
第四判斷模塊，用于在所述第二閥門控制模塊開啟所述慢抽閥之前，獲取所述真空傳輸腔室的壓力值，并判斷獲取的所述真空傳輸腔室壓力值是否小于或等于所述第三設(shè)定壓力值；
第五執(zhí)行模塊，用于若所述第四判斷模塊的判斷結(jié)果為大于所述第三設(shè)定壓力值，則調(diào)用所述第二閥門控制模塊；
第六執(zhí)行模塊，用于若所述第四判斷模塊的判斷結(jié)果小于或等于所述第三設(shè)定壓力值，則直接調(diào)用所述獲取子模塊。