技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種清洗液噴嘴，包括噴嘴管、噴射口和設(shè)置在噴嘴管內(nèi)部的渦流形成工具；所述噴射口設(shè)置在噴嘴管的下端。本發(fā)明的有益效果：在半導(dǎo)體基板或平板顯示器件的基板等清洗對(duì)象上，起噴射清洗液的作用的清洗液噴嘴內(nèi)，設(shè)置渦流形成工具，使清洗液噴嘴內(nèi)的清洗液里形成渦流，將其噴射到清洗對(duì)象物上，能使清洗范圍更寬廣，通過(guò)渦流的物理作用，能有效除掉清洗對(duì)象物上的異物。

技術(shù)研發(fā)人員：任海;郎豐偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：四川虹視顯示技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201510556218
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.02
技術(shù)公布日：2017.03.08