本發(fā)明屬于噴嘴制造領(lǐng)域，尤其涉及一種清洗液噴嘴。

背景技術(shù)：

制造半導(dǎo)體元件或LCD,PDP,OLED等平板顯示元件時，通常需要反復(fù)執(zhí)行photoLithography工程等蝕刻工程。另外，進(jìn)行photoLithography工程及蝕刻工程時必然會殘留蝕刻副產(chǎn)物等不純物質(zhì)。為了除掉此類蝕刻不純物，在半導(dǎo)體元件、平板顯示元件制造上必須進(jìn)行清洗工程。

一般清洗工程分為，利用清洗溶液的化學(xué)型清洗方法和利用機(jī)械設(shè)備的物理型清洗方法。將上述化學(xué)型清洗方法加以詳細(xì)說明的話，就是在所定清洗設(shè)備內(nèi)安裝半導(dǎo)體基板或玻璃基板等清洗對象后，利用清洗液供應(yīng)裝置，向上述清洗對象噴射清洗溶液進(jìn)行清洗的方法。

此類通常的清洗液噴嘴，由噴射口噴射出來的清洗液只能直線運(yùn)動，因此，導(dǎo)致清洗對象的部位是限定的位置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，是為了解決上述問題而提出來的，在通過噴嘴的清洗液里，形成渦流，擴(kuò)大噴射出來的清洗液的噴射角度，最終保證更寬廣的清洗對象部位。

為解決上述問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種清洗液噴嘴，包括噴嘴管、噴射口和設(shè)置在噴嘴管內(nèi)部的渦流形成工具；所述噴射口設(shè)置在噴嘴管的下端。

進(jìn)一步的，所述渦流形成工具包括旋轉(zhuǎn)體和扇；旋轉(zhuǎn)體設(shè)置在噴嘴管的內(nèi)部；扇連接并固定到上述旋轉(zhuǎn)體的下部；扇跟隨旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步的，所述清洗液噴嘴的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動工具，通過調(diào)節(jié)驅(qū)動工具的驅(qū)動力，可選擇性地調(diào)節(jié)由噴射口噴射出來的清洗液的壓力。

本發(fā)明的有益效果：在半導(dǎo)體基板或平板顯示器件的基板等清洗對象上，起噴射清洗液的作用的清洗液噴嘴內(nèi)，設(shè)置渦流形成工具，使清洗液噴嘴內(nèi)的清洗液里形成渦流，將其噴射到清洗對象物上，能使清洗范圍更寬廣，通過渦流的物理作用，能有效除掉清洗對象物上的異物。

附圖說明

圖1為清洗液噴嘴結(jié)構(gòu)圖；

圖2為別的實(shí)例上的清洗液噴嘴結(jié)構(gòu)圖；

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的闡述。

如圖1所示，提出的清洗液噴嘴(200)大致由噴嘴管(201)、噴射口(202)以及渦流形成工具(203)組成。上述噴嘴管(201)的作用為，當(dāng)所定的清洗液供應(yīng)腔(圖上未表示)供應(yīng)清洗液到上述噴射口(202)時，起連接作用，上述噴嘴管(201)的橫截面積設(shè)計(jì)成比上述噴射口(202)的橫截面積大為好。上述噴射口(202)的作用為，當(dāng)清洗液通過上述噴嘴管(201)，最終通過噴射口(202)噴射到半導(dǎo)體基板或平板顯示器件的基板等清洗對象物的作用，上述噴射口(202)的橫截面積可表現(xiàn)出多樣性，作為一個例子，可以由圓形、板型等構(gòu)成。

上述渦流形成工具(203)是本實(shí)例中的關(guān)鍵部位，可細(xì)分為旋轉(zhuǎn)體(203a)和扇(fan)(203b)。上述旋轉(zhuǎn)體(203a)在上述噴嘴管(201)內(nèi)部，可根據(jù)由上述驅(qū)動工具提供的驅(qū)動力旋轉(zhuǎn)。上述扇(203b)連接并固定到上述旋轉(zhuǎn)體(203a)的一側(cè)，跟隨上述旋轉(zhuǎn)體(203a)的旋轉(zhuǎn)而相應(yīng)旋轉(zhuǎn)，在上述噴嘴管(201)內(nèi)的清洗流液上，起到形成渦流的作用。

而且，上述驅(qū)動工具(204)可配備在清洗液噴嘴的一側(cè)，通過調(diào)節(jié)驅(qū)動工具(204)的驅(qū)動力，可選擇性地調(diào)節(jié)由噴射口(202)噴射出來的清洗液的壓力。

除了如上述結(jié)構(gòu)的清洗液噴嘴以外，本實(shí)例還提案如圖2所示結(jié)構(gòu)的清洗液噴嘴。如圖2所示，作為本實(shí)例的另一個實(shí)例的清洗液噴嘴，除掉了旋轉(zhuǎn)體(203a)，此旋轉(zhuǎn)體的作用為傳達(dá)從上述驅(qū)動工具(204)產(chǎn)生的驅(qū)動力到上述扇(203b)，此噴嘴只由驅(qū)動工具(204)和扇(203b)來體現(xiàn)渦流形成工具(203)。由此，從上述驅(qū)動工具(204)產(chǎn)生的驅(qū)動力直接傳達(dá)到上述扇(203b)，隨著上述扇(203b)的旋轉(zhuǎn)，流在上述噴嘴管(201)內(nèi)的清洗液上，會形成渦流。

本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會意識到，這里所述的實(shí)施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理，應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實(shí)施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實(shí)質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。