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半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號(hào):11956140閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,具備:

第1導(dǎo)電型的第1半導(dǎo)體區(qū);

第2導(dǎo)電型的第2半導(dǎo)體區(qū),選擇性地設(shè)于上述第1半導(dǎo)體區(qū)之上;

第1導(dǎo)電型的第3半導(dǎo)體區(qū),選擇性地設(shè)于上述第2半導(dǎo)體區(qū)之上;

第1電極,與上述第1半導(dǎo)體區(qū)電連接;

第2電極,設(shè)于上述第3半導(dǎo)體區(qū)之上,與上述第3半導(dǎo)體區(qū)電連接;

第3電極,在相對(duì)于從上述第1電極朝向上述第2電極的第1方向交叉的第2方向上延伸;

第4電極,相對(duì)于上述第3電極設(shè)于上述第1電極一側(cè),在上述第2方向上延伸;以及

第1絕緣膜,設(shè)于上述第3電極與上述第1半導(dǎo)體區(qū)、上述第2半導(dǎo)體區(qū)、上述第3半導(dǎo)體區(qū)之間,以及上述第4電極與上述第1半導(dǎo)體區(qū)之間,在上述第4電極與上述第1半導(dǎo)體區(qū)之間具有第1絕緣區(qū)和第2絕緣區(qū),上述第1絕緣區(qū)的上述第4電極與上述第1半導(dǎo)體區(qū)之間的第1寬度與上述第2絕緣區(qū)的上述第4電極與上述第1半導(dǎo)體區(qū)之間的第2寬度不同,上述第1絕緣區(qū)和上述第2絕緣區(qū)在上述第2方向上排列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第1寬度比上述第2寬度大。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

在上述第2方向X上,上述第1絕緣區(qū)和上述第2絕緣區(qū)交替排列。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

在上述第2方向上,上述第1絕緣區(qū)的長(zhǎng)度與上述第2絕緣區(qū)的長(zhǎng)度不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

在上述第2方向上,上述第1絕緣區(qū)的長(zhǎng)度比上述第2絕緣區(qū)的長(zhǎng)度長(zhǎng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

在上述第2方向上,上述第1絕緣區(qū)的長(zhǎng)度與上述第2絕緣區(qū)的長(zhǎng)度相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第2絕緣區(qū)的膜厚與上述第2半導(dǎo)體區(qū)和上述第3電極之間的上述第1絕緣膜的膜厚相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第2絕緣區(qū)的膜厚與上述第2半導(dǎo)體區(qū)和上述第3電極之間的上述第1絕緣膜的膜厚不同。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第2絕緣區(qū)的膜厚比上述第2半導(dǎo)體區(qū)與上述第3電極之間的上述第1絕緣膜的膜厚厚。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第1絕緣區(qū)具有上述第4電極與上述第1半導(dǎo)體區(qū)之間的厚度不同的第1部分和第2部分。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第1部分和上述第2部分在上述第1方向上排列。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第1部分和上述第2部分在上述第1方向上交替排列。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第2絕緣區(qū)具有上述第4電極與上述第1半導(dǎo)體區(qū)之間的厚度不同的第3部分和第4部分。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第3部分和上述第4部分在上述第1方向上排列。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第3部分和上述第4部分在上述第1方向上交替排列。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

與上述第1絕緣區(qū)相接的上述第1半導(dǎo)體區(qū)的載流子濃度和與上述第2絕緣區(qū)相接的上述第1半導(dǎo)體區(qū)的載流子濃度相同。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第3電極連接于上述第4電極。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

上述第3電極不與上述第4電極連接。

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