技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種靜電吸盤裝置，包括：靜電吸盤、用于支撐所述靜電吸盤的支撐結(jié)構(gòu)以及用于測量靜電吸盤溫度的光纖溫度傳感器，所述光纖溫度傳感器包括傳輸光纖，所述傳輸光纖包括相互分離的第一傳輸光纖和第二傳輸光纖；當(dāng)將所述靜電吸盤組裝到所述支撐結(jié)構(gòu)上時，安裝有第一傳輸光纖的所述靜電吸盤的下表面與安裝有第二傳輸光纖的所述支撐結(jié)構(gòu)的上表面相對放置，所述第一傳輸光纖的第一端與所述第二傳輸光纖的第一端對接。本發(fā)明提供的靜電吸盤裝置減少了傳輸光纖被損壞的幾率，保證了傳輸光纖的穩(wěn)定性，降低了靜電吸盤裝置的硬件成本。

技術(shù)研發(fā)人員：吳狄;戶高良二
受保護的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
文檔號碼：201510423110
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.17
技術(shù)公布日：2017.05.10