1.一種靜電吸盤裝置，包括：靜電吸盤、用于支撐所述靜電吸盤的支撐結(jié)構(gòu)以及用于測量靜電吸盤溫度的光纖溫度傳感器，其特征在于，所述光纖溫度傳感器包括傳輸光纖，所述傳輸光纖包括相互分離的第一傳輸光纖和第二傳輸光纖；
所述靜電吸盤上設(shè)置有用于安裝所述第一傳輸光纖的第一安裝結(jié)構(gòu)；
所述支撐結(jié)構(gòu)上設(shè)置有用于安裝所述第二傳輸光纖的第二安裝結(jié)構(gòu)；
當(dāng)將所述靜電吸盤組裝到所述支撐結(jié)構(gòu)上時，安裝有第一傳輸光纖的所述靜電吸盤的下表面與安裝有第二傳輸光纖的所述支撐結(jié)構(gòu)的上表面相對放置，所述第一傳輸光纖的第一端與所述第二傳輸光纖的第一端對接；
其中，所述第一傳輸光纖的第一端位于所述靜電吸盤的下表面的一側(cè)；所述第二傳輸光纖的第一端位于所述支撐結(jié)構(gòu)的上表面的一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，所述第一傳輸光纖的第一端與所述靜電吸盤的下表面相平，所述第二傳輸光纖的第一端與所述支撐結(jié)構(gòu)的上表面相平。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，所述第一傳輸光纖的第一端從所述靜電吸盤的下表面伸出第一長度，所述第二傳輸光纖的第一端從所述支撐結(jié)構(gòu)的上表面縮進第一長度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，所述第一長度不大于2毫米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，所述第一傳輸光纖的第一端從所述靜電吸盤的下表面縮進第二長度，所述第二傳輸光纖的第一端從所述支撐結(jié)構(gòu)的上表面縮進第二長度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，所述第二長度不大于2毫米。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，所述第一傳輸光纖和所述第二傳輸光纖的材料不同。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，用于制作所述第一傳輸光纖的材料能夠承受靜電吸盤工作時的溫度，用于制作所述第二傳輸光纖的材料能夠承受所述支撐結(jié)構(gòu)工作時的溫度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，所述靜電吸盤的下表面?zhèn)仍O(shè)置有第一定位結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)的上表面?zhèn)仍O(shè)置有第二定位結(jié)構(gòu)，當(dāng)組裝所述靜電吸盤和所述支撐結(jié)構(gòu)時，所述第一定位結(jié)構(gòu)和所述第二定位結(jié)構(gòu)適配對準(zhǔn)時，所述第一傳輸光纖的第一端和所述第二傳輸光纖的第一端對接。
10.一種靜電吸盤裝置，其特征在于，包括：靜電吸盤、用于支撐所述靜電吸盤的支撐結(jié)構(gòu)以及用于測量靜電吸盤溫度的光纖溫度傳感器，其中，所述光纖溫度傳感器包括傳輸光纖，所述傳輸光纖包括第一傳輸光纖段和第二傳輸光纖段；所述第一傳輸光纖段的材料與所述第二傳輸光纖段的材料不同；
當(dāng)將所述靜電吸盤組裝到所述支撐結(jié)構(gòu)上時，所述第一傳輸光纖段安裝在所述靜電吸盤上，所述第二傳輸光纖段安裝在所述支撐結(jié)構(gòu)上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，用于制作所述第一傳輸光纖的材料能夠承受靜電吸盤工作時的溫度，用于制作所述第二傳輸光纖的材料能夠承受所述支撐結(jié)構(gòu)工作時的溫度。