技術(shù)編號(hào):11101063
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種靜電吸盤裝置。背景技術(shù)通常情況下,靜電吸盤裝置包括靜電吸盤ESC以及用于支撐該靜電吸盤的支撐結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體加工過(guò)程中,需要將待加工處理的晶圓固定在靜電吸盤上。并且,為了得到較好的處理效果,還需要測(cè)量靜電吸盤的溫度。因此,靜電吸盤裝置還包括用于測(cè)量靜電吸盤溫度的溫度檢測(cè)裝置。目前,在半導(dǎo)體加工技術(shù)中,溫度檢測(cè)裝置通常采用熱電耦測(cè)量元件。熱電耦測(cè)量元件直接測(cè)量靜電吸盤的溫度,并把溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換成熱電動(dòng)勢(shì)信號(hào),通過(guò)電氣儀表(二次儀表)轉(zhuǎn)換成靜電吸盤的溫度。也就是...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。