技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及掩?？蚣芙M件、沉積裝置及有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法。本發(fā)明的一實施例的掩模框架組件包括：框架；和多個掩模，用框架支撐多個掩模的兩端部，各掩模包括：主體部，用框架支撐主體部的外圍區(qū)域；和圖案部，沿各掩模的長度方向彼此相隔地配置且包括使沉積物質(zhì)通過的多個圖案孔和形成在各圖案孔之間的肋，主體部包括階梯部，該階梯部沿圖案部的兩側(cè)面中的至少一側(cè)面延伸形成且彼此相隔地配置，并且凹陷形成于主體部的第一表面和第二表面中的至少一表面上，階梯部通過以肋的重心為基準(zhǔn)對主體部的第一表面和第二表面中的至少一表面進(jìn)行蝕刻而形成，從重心至階梯部的第三表面為止的厚度和從重心至階梯部的第四表面為止的厚度基本上相等。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭茶姬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星顯示有限公司
文檔號碼：201510194081
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.22
技術(shù)公布日：2016.11.23