技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種提高制造機(jī)臺腔體產(chǎn)出效率的方法及系統(tǒng)，包括：獲取并暫存腔體上一批次產(chǎn)品的工藝條件參數(shù)值以及工藝結(jié)束時間；計(jì)算上一批次最后一片產(chǎn)品工藝結(jié)束到下一批次第一片產(chǎn)品進(jìn)腔體開始工藝的閑置時間間隔值，判斷所述時間間隔值是否大于預(yù)設(shè)值，若所述時間間隔值大于預(yù)設(shè)值，則進(jìn)行暖機(jī)操作，否則繼續(xù)進(jìn)行產(chǎn)品工藝；進(jìn)行暖機(jī)操作，監(jiān)測暖機(jī)過程中腔體的工藝條件參數(shù)值，若暖機(jī)過程中監(jiān)測到腔體的工藝條件參數(shù)值達(dá)到暫存的工藝條件參數(shù)值，則停止暖機(jī)；記錄不同的時間間隔值對應(yīng)所需要的暖機(jī)控片數(shù)量，為下次暖機(jī)操作提供參考。通過該系統(tǒng)可以快速判斷腔體是否可以繼續(xù)生產(chǎn)，極大的提高機(jī)臺的利用率和產(chǎn)出效率，并能夠減少生產(chǎn)中暖機(jī)控片的使用量，節(jié)約成本。

技術(shù)研發(fā)人員：莫違;方利;李武
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號碼：201510186200
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.17
技術(shù)公布日：2016.11.23