技術(shù)編號：11836242
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種提高制造機臺腔體產(chǎn)出效率的方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝流程中有很多的工藝制造機臺是多腔體設(shè)備，例如，物理氣相沉積設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備等工藝設(shè)備。在生產(chǎn)過程中，不可避免的有時會因為產(chǎn)品不集中而造成腔體閑置(Chamberidle)，因為是多腔體制造機臺，所以每個腔體的閑置時間是不一樣的。當(dāng)機臺腔體閑置一段時間后，下一批次的產(chǎn)品要進入已經(jīng)閑置的機臺腔體時，為了減少第一片產(chǎn)品產(chǎn)生缺陷的狀況，一般需要對閑置的腔體進行暖機(Dummysea...
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