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形成具有側(cè)壁襯墊的鰭狀物結(jié)構(gòu)的裝置和方法與流程

文檔序號(hào):11636205閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
實(shí)施例包括設(shè)置在襯底上的外延子鰭狀物結(jié)構(gòu),其中子鰭狀物結(jié)構(gòu)的第一部分設(shè)置在襯底的一部分內(nèi),并且子鰭狀物結(jié)構(gòu)的第二部分設(shè)置成與電介質(zhì)材料相鄰。鰭狀物器件結(jié)構(gòu)設(shè)置在子鰭狀物結(jié)構(gòu)上,其中鰭狀物器件結(jié)構(gòu)包括外延材料。襯墊設(shè)置在子鰭狀物結(jié)構(gòu)的第二部分和電介質(zhì)材料之間。本文描述了其它實(shí)施例。

技術(shù)研發(fā)人員:W·拉赫馬迪;M·V·梅茨;C·S·莫哈帕特拉;G·杜威;J·T·卡瓦列羅斯;A·S·默西;N·M·拉哈爾-烏拉比;T·加尼;G·A·格拉斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者:英特爾公司
技術(shù)研發(fā)日:2014.12.23
技術(shù)公布日:2017.08.01
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