一種用于盤狀物的支撐裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于盤狀物的支撐裝置，用于支撐圓盤狀的晶圓，裝置的支撐腳采用L形外形，其L形豎直部分的上端設(shè)有各由至少一個(gè)面構(gòu)成的晶圓支撐面及其外側(cè)背靠的外傾斜面，外傾斜面的上端具有水平端面，支撐腳的L形水平部分與支撐環(huán)安裝連接，支撐腳按其L形豎直部分位于外側(cè)、L形水平部分位于內(nèi)側(cè)的向心方向安裝在支撐環(huán)的滑行槽中。本實(shí)用新型可使支撐環(huán)整體縮小，避免晶圓從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎，并能使晶圓平穩(wěn)安放，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)、可節(jié)省設(shè)備占地面積并降低晶圓破損率的顯著特點(diǎn)，適于工廠推廣。
【專利說明】一種用于盤狀物的支撐裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中的晶圓存儲(chǔ)臺(tái)，更具體地，涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲(chǔ)臺(tái)的用于支撐圓盤狀晶圓的盤狀物的支撐裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體制造業(yè)是一系列主要工藝步驟的循環(huán)和重復(fù)。許多制備工藝都包含發(fā)生在半導(dǎo)體工藝設(shè)備工藝腔內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)?，F(xiàn)在，對(duì)半導(dǎo)體晶圓的處理工藝，通常要用到發(fā)生在工藝腔里的化學(xué)反應(yīng)。
[0003]按照不同性質(zhì)的處理工藝，晶圓往往需要在多個(gè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔之間通過晶圓傳送系統(tǒng)進(jìn)行傳輸。在工藝設(shè)備內(nèi)，晶圓傳送系統(tǒng)的主要功能是裝載晶圓，所有的裝卸都由自動(dòng)機(jī)械完成。晶圓從設(shè)備外部接收進(jìn)來，并在工藝進(jìn)行前的等候期間，需要一個(gè)暫時(shí)存儲(chǔ)的場(chǎng)所。存儲(chǔ)時(shí)用到的裝置是晶圓存儲(chǔ)臺(tái)，在其上端，是用于機(jī)械手拾取圓盤狀晶圓的支撐裝置。
[0004]目前，通常的晶圓支撐裝置一般包括安裝在存儲(chǔ)臺(tái)上的環(huán)形支撐環(huán)，以及安裝在支撐環(huán)圓周上的支撐晶圓的若干支撐腳，機(jī)械手可進(jìn)入相鄰二個(gè)支撐腳之間的空間拾取晶圓。
[0005]晶圓支撐裝置的設(shè)計(jì)要求能使晶圓放置平穩(wěn)，方便調(diào)節(jié)晶圓放置的位置，并便于機(jī)械手操作，同時(shí)，應(yīng)能保護(hù)晶圓不被損壞。
[0006]中國(guó)實(shí)用新型專利CN202791172U支撐裝置公開了一種用于晶圓存儲(chǔ)臺(tái)的支撐裝置。該裝置通過安裝在支撐環(huán)上的可沿支撐環(huán)圓周調(diào)整位置的若干支撐腳來支撐放置在其上的晶圓。該裝置的設(shè)計(jì)形式雖然可方便地通過調(diào)整支撐腳在支撐環(huán)圓周的位置來滿足機(jī)械手的進(jìn)手空間，以便于機(jī)械手操作，但同時(shí)也存在明顯的問題:此支撐裝置由于支撐腳的晶圓支撐面位于支撐腳的前端，而與支撐環(huán)的裝配位置位于支撐腳的后端，使得支撐環(huán)的內(nèi)徑大于晶圓的外徑尺寸、支撐環(huán)的外徑露出晶圓外徑的部分很多。此問題帶來的缺陷是，一方面造成整個(gè)存儲(chǔ)臺(tái)的設(shè)計(jì)占用了較大的面積，另一方面在機(jī)械手故障或調(diào)試中，由于機(jī)械手抓取晶圓不牢或偏差，導(dǎo)致晶圓滑出支撐裝置而從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎，不但造成一定的經(jīng)濟(jì)損失，也影響到設(shè)備的生產(chǎn)效率。此外，該裝置可調(diào)整支撐腳在支撐環(huán)圓周位置的設(shè)計(jì)形式實(shí)際應(yīng)用價(jià)值并不高。為避免機(jī)械手碰撞到支撐腳，完全可以根據(jù)機(jī)械手進(jìn)手距離的最大波動(dòng)范圍，對(duì)支撐環(huán)上支撐腳的安裝位置留有一定的防碰撞距離余量來防止。而且，該裝置支撐環(huán)的結(jié)構(gòu)也較復(fù)雜，造成加工難度大為提高，會(huì)帶來設(shè)備成本的增加。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種新型的用于盤狀物的支撐裝置，通過將支撐腳設(shè)計(jì)成按晶圓支撐面在外側(cè)、與支撐環(huán)的安裝位置在內(nèi)側(cè)方向布置的結(jié)構(gòu)，使支撐環(huán)的內(nèi)徑可制作成小于晶圓的外徑尺寸，因而可使支撐環(huán)的外徑露出晶圓外徑的部分很少，從而縮小了支撐環(huán)的整體尺寸，減小了存儲(chǔ)臺(tái)的占地面積，并可避免晶圓在因偏差滑出支撐裝置時(shí)從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎；同時(shí)，晶圓支撐面外側(cè)設(shè)有的外傾斜面可起到很好地阻擋晶圓外移和下滑導(dǎo)向的作用，獨(dú)特的晶圓支撐面、外傾斜面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使晶圓易于放置到位，并避免損傷。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0009]一種用于盤狀物的支撐裝置，安裝在半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲(chǔ)臺(tái)的上端，用于支撐圓盤狀的晶圓，包括安裝在所述存儲(chǔ)臺(tái)上端的環(huán)形支撐環(huán)，安裝在支撐環(huán)圓周的向心滑行槽中支撐晶圓的若干支撐腳，其特征在于，所述支撐腳為L(zhǎng)形，其L形豎直部分的上端設(shè)有晶圓支撐面和所述晶圓支撐面外側(cè)背靠的外傾斜面，所述晶圓支撐面、夕卜傾斜面各由至少一個(gè)面構(gòu)成，可以是一個(gè)以上的面的組合結(jié)構(gòu)形式，所述外傾斜面的上端具有水平端面，當(dāng)晶圓因放置不到位、擱在外傾斜面的上端時(shí)，此水平端面相比具有尖峰形的外傾斜面頂端結(jié)構(gòu)，可有效避免對(duì)晶圓造成的尖銳沖擊；所述支撐腳的L形水平部分與所述支撐環(huán)安裝連接；所述滑行槽的底面設(shè)有調(diào)節(jié)所述支撐腳沿所述支撐環(huán)向心方向距離的貫通腰形孔，所述支撐腳的L形水平部分設(shè)有安裝孔，所述支撐腳的所述安裝孔通過穿過所述支撐環(huán)的所述腰形孔的緊固件與所述支撐環(huán)連接；其中，所述支撐腳按其L形豎直部分位于外側(cè)、L形水平部分位于內(nèi)側(cè)的向心方向安裝在所述支撐環(huán)的所述滑行槽中。
[0010]本實(shí)用新型將現(xiàn)有技術(shù)中支撐腳的晶圓支撐面位置與裝配位置之間的結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)關(guān)系進(jìn)行改進(jìn)，由原來的晶圓支撐面位于內(nèi)側(cè)、與支撐環(huán)之間的裝配位置位于外側(cè)的前后設(shè)置形式，變?yōu)楸緦?shí)用新型的晶圓支撐面位于外側(cè)、與支撐環(huán)之間的裝配位置位于內(nèi)側(cè)的前后設(shè)置形式?，F(xiàn)有技術(shù)中支撐腳的結(jié)構(gòu)形式，使得支撐環(huán)的外徑遠(yuǎn)大于晶圓的直徑，造成存儲(chǔ)臺(tái)的占地面積相應(yīng)擴(kuò)大；且現(xiàn)有技術(shù)中支撐環(huán)的內(nèi)徑也大于晶圓的直徑，在機(jī)械手故障或調(diào)試中，由于機(jī)械手抓取晶圓不牢或偏差，會(huì)導(dǎo)致晶圓滑出支撐裝置而從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎。本實(shí)用新型的新設(shè)計(jì)使支撐環(huán)得以整體縮小，從而可以節(jié)省晶圓存儲(chǔ)臺(tái)的占地面積。同時(shí)，支撐環(huán)的內(nèi)徑也由于與支撐腳安裝位置的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而肯定小于各支撐腳的晶圓支撐面內(nèi)側(cè)所圍成的圓的直徑，保證了支撐環(huán)的內(nèi)徑小于晶圓的直徑，可避免晶圓在因偏差滑出支撐裝置時(shí)從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎。
[0011]進(jìn)一步地，所述支撐腳的L形豎直部分的上端設(shè)有一梯臺(tái)，所述梯臺(tái)的臺(tái)面為所述晶圓支撐面，所述梯臺(tái)的臺(tái)面外側(cè)背靠有一面向所述支撐環(huán)圓心的外傾斜面，所述梯臺(tái)的臺(tái)面具有向所述外傾斜面延伸的與所述外傾斜面相切的圓弧過渡面，所述外傾斜面分別與所述梯臺(tái)的側(cè)面及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。晶圓支撐面采用梯臺(tái)設(shè)計(jì)，是為了縮小晶圓支撐面的面積，減小晶圓與晶圓支撐面之間的接觸面積，提聞晶圓的利用率。外傾斜面可起到阻擋晶圓外移和下滑導(dǎo)向的作用，當(dāng)晶圓放置不到位時(shí)，斜面可阻擋晶圓外移，并使晶圓沿斜面下滑至晶圓支撐面。圓弧過渡面避免了外傾斜面與晶圓支撐面之間的硬性過渡，可很好地幫助晶圓平緩地滑至晶圓支撐面，并易于放置到位。
[0012]進(jìn)一步地，所述支撐腳的所述外傾斜面的上端具有水平端面，所述水平端面與所述外傾斜面的交線處具有圓弧面。當(dāng)晶圓因放置不到位、擱在外傾斜面的上端時(shí)，此水平端面相比具有尖峰形的外傾斜面頂端結(jié)構(gòu)，可有效避免對(duì)晶圓造成的尖銳沖擊；圓弧面除了也可減輕對(duì)晶圓的沖擊力外，同時(shí)還可以起到引導(dǎo)晶圓向晶圓支撐面下滑的作用。
[0013]進(jìn)一步地，所述支撐腳的外側(cè)棱角具有圓弧面，使支撐腳易于與支撐環(huán)的安裝及在支撐環(huán)的滑行槽中移動(dòng)，便于調(diào)節(jié)安裝位置。
[0014]進(jìn)一步地，所述支撐腳的L形豎直部分的上端設(shè)有一梯臺(tái)，所述梯臺(tái)的臺(tái)面為所述晶圓支撐面，所述梯臺(tái)的臺(tái)面外側(cè)背靠有由二個(gè)相交斜面構(gòu)成的外傾斜面，所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線，所述頂角線與所述支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合；所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面分別與所述梯臺(tái)及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。當(dāng)晶圓放置不到位時(shí)，晶圓將順著二個(gè)相交斜面的凸出頂角線下滑至晶圓支撐面，這樣，晶圓在下滑時(shí)受到的阻力可相對(duì)較小，可較容易地滑至晶圓支撐面。
[0015]進(jìn)一步地，所述晶圓支撐面為由二個(gè)相交的向所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)方向下傾的斜面構(gòu)成，所述晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線，所述頂角線與所述支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合，此設(shè)計(jì)形式可減小晶圓與晶圓支撐面之間的接觸面積，提高晶圓的利用率，同時(shí)，也便于晶圓利用自身重力，在各個(gè)支撐腳的晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的凸出頂角線上找到平衡，自動(dòng)調(diào)節(jié)上下平衡位置；二個(gè)相交的所述斜面外側(cè)背靠有一面向所述支撐環(huán)圓心的外傾斜面，可起到阻擋晶圓外移和下滑導(dǎo)向的作用，所述外傾斜面分別與二個(gè)相交的所述斜面及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。
[0016]進(jìn)一步地，所述晶圓支撐面為由二個(gè)相交的向所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)方向下傾的斜面構(gòu)成，所述晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線；所述晶圓支撐面外側(cè)背靠有由二個(gè)相交斜面構(gòu)成的外傾斜面，所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線；所述晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的頂角線與所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面的頂角線相交，并與所述支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合；所述外傾斜面分別與所述晶圓支撐面及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。采用此設(shè)計(jì)形式，當(dāng)晶圓放置不到位時(shí)，晶圓將順著外傾斜面的二個(gè)相交斜面的凸出頂角線滑向晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的凸出頂角線，使晶圓在下滑時(shí)受到的阻力相對(duì)較小，然后，利用自身重力，在各個(gè)支撐腳的晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的凸出頂角線上找到平衡，自動(dòng)調(diào)節(jié)上下平衡位置。
[0017]進(jìn)一步地，所述支撐腳的L形水平部分設(shè)有貫通的螺紋安裝孔，所述支撐腳的所述安裝孔通過穿過所述支撐環(huán)的所述腰形孔的緊固螺釘與所述支撐環(huán)連接。
[0018]進(jìn)一步地，所述緊固螺釘在所述支撐腳的所述安裝孔內(nèi)的安裝高度不高于所述支撐腳的L形水平部分的上端面。這樣可避免當(dāng)晶圓滑出支撐面落到支撐腳的L形水平部分時(shí)，因撞到突出在外的緊固螺釘而損壞。
[0019]進(jìn)一步地，所述支撐腳的L形水平部分的底面設(shè)有安裝孔，所述安裝孔為螺紋盲孔，所述支撐腳的所述安裝孔通過穿過所述支撐環(huán)的所述腰形孔的緊固螺釘與所述支撐環(huán)連接。這樣，可保持支撐腳的L形水平部分的上端面的完整，當(dāng)晶圓滑出支撐面落到支撐腳的L形水平部分時(shí)，可具有較好的保護(hù)效果。
[0020]從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型通過將支撐腳設(shè)計(jì)成按晶圓支撐面在外偵U、與支撐環(huán)的安裝位置在內(nèi)側(cè)方向布置的L形結(jié)構(gòu)，使支撐環(huán)的內(nèi)徑可制作成小于晶圓的外徑尺寸，因而可使支撐環(huán)的外徑露出晶圓外徑的部分很少，從而縮小了支撐環(huán)的整體尺寸，減小了存儲(chǔ)臺(tái)的占地面積，并可避免晶圓在因偏差滑出支撐裝置時(shí)從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎；同時(shí)，晶圓支撐面及晶圓支撐面外側(cè)設(shè)有的外傾斜面結(jié)構(gòu)的獨(dú)特設(shè)計(jì)，使得晶圓更容易平穩(wěn)地安放到位，減小摩擦及避免可能帶來的損傷。因此，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)、可節(jié)省設(shè)備占地面積并降低晶圓破損率的顯著特點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的裝配結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4是圖1中的一種用于盤狀物的支撐裝置的裝配結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0025]圖5是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖6是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的第三種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖7是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0029]實(shí)施例一
[0030]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖1，圖1是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的裝配結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，本實(shí)用新型的支撐裝置安裝在半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲(chǔ)臺(tái)(圖略)的上端，用于支撐圓盤狀的晶圓。支撐裝置包括安裝在晶圓存儲(chǔ)臺(tái)上端的環(huán)形支撐環(huán)3，和安裝在支撐環(huán)圓周上的支撐晶圓的3個(gè)支撐腳I。支撐腳I為L(zhǎng)形，其L形豎直部分的上端設(shè)有晶圓支撐面和晶圓支撐面外側(cè)背靠的外傾斜面。其L形水平部分加工有安裝孔2，并通過安裝孔2與支撐環(huán)3緊固連接。并且，支撐腳I按其L形豎直部分位于外側(cè)、L形水平部分位于內(nèi)側(cè)的朝向支撐環(huán)3圓心方向與支撐環(huán)3安裝連接。
[0031]本實(shí)用新型將現(xiàn)有技術(shù)中支撐腳的晶圓支撐面位置與裝配位置之間的結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)關(guān)系進(jìn)行改進(jìn)，由原來的晶圓支撐面位于內(nèi)側(cè)、與支撐環(huán)之間的裝配位置位于外側(cè)的前后設(shè)置形式，變?yōu)楸緦?shí)用新型的晶圓支撐面位于外側(cè)、與支撐環(huán)之間的裝配位置位于內(nèi)側(cè)的前后設(shè)置形式?，F(xiàn)有技術(shù)中支撐腳的結(jié)構(gòu)形式，使得支撐環(huán)的外徑遠(yuǎn)大于晶圓的直徑，造成存儲(chǔ)臺(tái)的占地面積相應(yīng)擴(kuò)大；且現(xiàn)有技術(shù)中支撐環(huán)的內(nèi)徑也大于晶圓的直徑，在機(jī)械手故障或調(diào)試中，由于機(jī)械手抓取晶圓不牢或偏差，會(huì)導(dǎo)致晶圓滑出支撐裝置而從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎。本實(shí)用新型的新設(shè)計(jì)使支撐環(huán)得以整體縮小，從而可以節(jié)省晶圓存儲(chǔ)臺(tái)的占地面積。同時(shí)，支撐環(huán)的內(nèi)徑也由于與支撐腳安裝位置的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而肯定小于各支撐腳的晶圓支撐面內(nèi)側(cè)所圍成的圓的直徑，保證了支撐環(huán)的內(nèi)徑小于晶圓的直徑，可避免晶圓在因偏差滑出支撐裝置時(shí)從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎。
[0032]請(qǐng)參閱圖2，圖2是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的一種結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，支撐腳為L(zhǎng)形。支撐腳的L形豎直部分12的上端設(shè)有一梯臺(tái)6，梯臺(tái)6的臺(tái)面7是晶圓支撐面。梯臺(tái)6的臺(tái)面7外側(cè)背靠有一面向支撐環(huán)3圓心的外傾斜面8。梯臺(tái)6的臺(tái)面7具有向外傾斜面8延伸的與外傾斜面8相切的圓弧過渡面11。外傾斜面8分別與梯臺(tái)6的側(cè)面及支撐腳L形豎直部分12的外側(cè)面相交。晶圓支撐面采用梯臺(tái)設(shè)計(jì)，是為了縮小晶圓支撐面的面積，減小晶圓與晶圓支撐面之間的接觸面積，提聞晶圓的利用率。外傾斜面可起到阻擋晶圓外移和下滑導(dǎo)向的作用，當(dāng)晶圓放置不到位時(shí)，斜面可阻擋晶圓外移，并使晶圓沿斜面下滑至晶圓支撐面。圓弧過渡面避免了外傾斜面與晶圓支撐面之間的硬性過渡，可很好地幫助晶圓平緩地滑至晶圓支撐面，并易于放置到位。
[0033]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2。支撐腳的外傾斜面8的上端為水平端面10。當(dāng)晶圓因放置不到位、擱在外傾斜面8的上端時(shí)，此水平端面10相比具有尖峰形的外傾斜面頂端結(jié)構(gòu)，可有效避免對(duì)晶圓造成的尖銳沖擊。水平端面10與外傾斜面8的交線處具有圓弧面9。圓弧面9除了也可減輕對(duì)晶圓的沖擊力外，同時(shí)還可以起到引導(dǎo)晶圓向晶圓支撐面下滑的作用。支撐腳的4個(gè)外側(cè)棱角4加工成圓弧面，使支撐腳易于與支撐環(huán)的安裝及在支撐環(huán)的安裝部位移動(dòng)，便于調(diào)節(jié)支撐腳的安裝位置。支撐腳的L形水平部分5加工有貫通的螺紋安裝孔2，用來與支撐環(huán)安裝連接。
[0034]請(qǐng)參閱圖3，圖3是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，支撐環(huán)的圓周上端分布設(shè)有3個(gè)朝向支撐環(huán)的圓心方向的滑行槽14，用于將3個(gè)支撐腳的L形水平部分5安裝在內(nèi)，可使支撐腳安裝穩(wěn)固，并起到安裝時(shí)的導(dǎo)向作用?；胁?4底面設(shè)有貫通的腰形孔13，用于調(diào)節(jié)支撐腳沿支撐環(huán)向心方向的安裝距離。支撐腳的安裝孔2可通過穿過支撐環(huán)的腰形孔13的螺釘與支撐環(huán)連接。
[0035]請(qǐng)進(jìn)一步參閱圖4，圖4是圖1中的一種用于盤狀物的支撐裝置的裝配結(jié)構(gòu)剖視圖。圖2中例舉的支撐腳的結(jié)構(gòu)與圖1、4中的支撐腳一致。如圖所示，支撐腳I的L形水平部分安裝在支撐環(huán)3的滑行槽內(nèi)，螺釘15從支撐環(huán)3的下方穿過腰形孔，與支撐腳I的螺紋安裝孔緊固連接。螺釘15的上端埋入支撐腳I的安裝孔，螺釘15的上端面要不高于支撐腳I的L形水平部分的上表面。這樣可避免晶圓因不當(dāng)滑出支撐面而落下時(shí)，撞到螺釘?shù)耐怀霾糠侄鴵p壞。梯臺(tái)的晶圓支撐面上支撐有晶圓16，當(dāng)晶圓16因放置不到位擱在支撐腳I的晶圓支撐面外側(cè)背靠的外傾斜面上時(shí)，該斜面可阻擋晶圓16進(jìn)一步外移，并促使其沿斜面下滑，順著晶圓支撐面的向外傾斜面延伸的與外傾斜面相切的圓弧過渡面，平緩地滑到晶圓支撐面上。
[0036]本實(shí)用新型的晶圓支撐面及外傾斜面結(jié)構(gòu)的獨(dú)特設(shè)計(jì)，使得晶圓更容易安放平穩(wěn)，減小摩擦及避免可能帶來的損傷，以及因過度摩擦或損傷產(chǎn)生的顆粒污染。因此，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易實(shí)現(xiàn)、可節(jié)省設(shè)備占地面積并降低晶圓破損率的顯著特點(diǎn)，適于工廠推廣。
[0037]實(shí)施例二
[0038]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖5，圖5是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。本例中的支撐腳外形仍為L(zhǎng)形，其L形水平部分的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一中例舉的支撐腳一致，不同之處在于支撐腳的L形豎直部分上端的晶圓支撐面和外傾斜面的結(jié)構(gòu)變化。如圖所示，支撐腳的L形豎直部分的上端設(shè)有一梯臺(tái)17，梯臺(tái)17的臺(tái)面18為晶圓支撐面。梯臺(tái)17的臺(tái)面18外側(cè)背靠有由二個(gè)相交斜面19、22構(gòu)成的外傾斜面，夕卜傾斜面的二個(gè)相交斜面19、22的交線形成凸出的頂角線21，頂角線21與支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合，即位于居中位置。外傾斜面的上端具有水平端面20，當(dāng)晶圓因放置不到位、擱在外傾斜面的上端時(shí)，此水平端面20相比具有尖峰形的外傾斜面頂端結(jié)構(gòu)，可有效避免對(duì)晶圓造成的尖銳沖擊。外傾斜面的二個(gè)相交斜面19、22分別與梯臺(tái)17及支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。當(dāng)晶圓放置不到位時(shí)，晶圓將順著二個(gè)相交斜面19、22的凸出頂角線21下滑至晶圓支撐面，這樣，晶圓在下滑時(shí)受到的阻力可相對(duì)較小，可較容易地滑至晶圓支撐面。本例中支撐腳的其他結(jié)構(gòu)及與支撐環(huán)的裝配關(guān)系與實(shí)施例一類同，并具有同樣的功能，本例不再贅述。
[0039]實(shí)施例三
[0040]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖6，圖6是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，晶圓支撐面為由二個(gè)相交的向支撐環(huán)內(nèi)側(cè)方向下傾的斜面23、26構(gòu)成。晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面23、26的交線形成凸出的頂角線27，頂角線27與支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合，即位于居中位置。此設(shè)計(jì)形式可減小晶圓與晶圓支撐面之間的接觸面積，提高晶圓的利用率，同時(shí)，也便于晶圓利用自身重力，在3個(gè)支撐腳的晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的凸出頂角線上找到平衡，自動(dòng)調(diào)節(jié)上下平衡位置。晶圓支撐面的二個(gè)相交的斜面23、26外側(cè)背靠有一面向支撐環(huán)圓心的外傾斜面25，可起到阻擋晶圓外移和下滑導(dǎo)向的作用。外傾斜面25的上端具有水平端面24，當(dāng)晶圓因放置不到位、擱在外傾斜面25的上端時(shí)，此水平端面24相比具有尖峰形的外傾斜面頂端結(jié)構(gòu)，可有效避免對(duì)晶圓造成的尖銳沖擊。外傾斜面25分別與二個(gè)相交的斜面23、26及支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。本例中支撐腳的其他結(jié)構(gòu)及與支撐環(huán)的裝配關(guān)系與實(shí)施例一類同，并具有同樣的功能，本例不再贅述。
[0041]實(shí)施例四
[0042]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖7，圖7是本實(shí)用新型一種用于盤狀物的支撐裝置的支撐腳的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，晶圓支撐面為由二個(gè)相交的向支撐環(huán)內(nèi)側(cè)方向下傾的斜面28、33構(gòu)成，晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面28、33的交線形成凸出的頂角線34。晶圓支撐面外側(cè)背靠有由二個(gè)相交斜面29、32構(gòu)成的外傾斜面，外傾斜面的二個(gè)相交斜面29、32的交線形成凸出的頂角線31。晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面28、33的頂角線34與外傾斜面的二個(gè)相交斜面29、32的頂角線31相交，并與支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合，即位于居中位置。外傾斜面的上端具有水平端面30，當(dāng)晶圓因放置不到位、擱在外傾斜面的上端時(shí)，此水平端面30相比具有尖峰形的外傾斜面頂端結(jié)構(gòu)，可有效避免對(duì)晶圓造成的尖銳沖擊。外傾斜面分別與晶圓支撐面及支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。采用本例中支撐腳的形式，當(dāng)晶圓放置不到位時(shí)，晶圓將順著外傾斜面的二個(gè)相交斜面29、32的凸出頂角線31滑向晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面28、33的凸出頂角線34，使晶圓在下滑時(shí)受到的阻力相對(duì)較小，然后，利用自身重力，在3個(gè)支撐腳的晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的凸出頂角線上找到平衡，自動(dòng)調(diào)節(jié)上下平衡位置。本例中支撐腳的其他結(jié)構(gòu)及與支撐環(huán)的裝配關(guān)系與實(shí)施例一類同，并具有同樣的功能，本例不再贅述。
[0043]需要說明的是，支撐腳的L形水平部分的安裝孔，也可以不采用貫通的加工方式，而是在L形水平部分的底面加工成螺紋盲孔，螺釘從支撐環(huán)的下方穿過腰形孔，與支撐腳L形水平部分底面的螺紋盲孔緊固連接。這樣，可保持支撐腳的L形水平部分的上端面的完整，當(dāng)晶圓滑出支撐面落到支撐腳的L形水平部分時(shí)，對(duì)晶圓具有較好的保護(hù)效果。
[0044]以上所述的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本實(shí)用新型的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于盤狀物的支撐裝置，安裝在半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲(chǔ)臺(tái)的上端，用于支撐圓盤狀的晶圓，包括安裝在所述存儲(chǔ)臺(tái)上端的環(huán)形支撐環(huán)，安裝在支撐環(huán)圓周的向心滑行槽中支撐晶圓的若干支撐腳，其特征在于，所述支撐腳為L(zhǎng)形，其L形豎直部分的上端設(shè)有晶圓支撐面和所述晶圓支撐面外側(cè)背靠的外傾斜面，所述晶圓支撐面、外傾斜面各由至少一個(gè)面構(gòu)成，所述外傾斜面的上端具有水平端面，所述支撐腳的L形水平部分與所述支撐環(huán)安裝連接；所述滑行槽的底面設(shè)有調(diào)節(jié)所述支撐腳沿所述支撐環(huán)向心方向距離的貫通腰形孔，所述支撐腳的L形水平部分設(shè)有安裝孔，所述支撐腳的所述安裝孔通過穿過所述支撐環(huán)的所述腰形孔的緊固件與所述支撐環(huán)連接；其中，所述支撐腳按其L形豎直部分位于外側(cè)、L形水平部分位于內(nèi)側(cè)的向心方向安裝在所述支撐環(huán)的所述滑行槽中。
2.如權(quán)利要求1所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳的L形豎直部分的上端設(shè)有一梯臺(tái)，所述梯臺(tái)的臺(tái)面為所述晶圓支撐面，所述梯臺(tái)的臺(tái)面外側(cè)背靠有一面向所述支撐環(huán)圓心的外傾斜面，所述梯臺(tái)的臺(tái)面具有向所述外傾斜面延伸的與所述外傾斜面相切的圓弧過渡面，所述外傾斜面分別與所述梯臺(tái)的側(cè)面及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。
3.如權(quán)利要求2所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳的所述外傾斜面的上端具有水平端面，所述水平端面與所述外傾斜面的交線處具有圓弧面。
4.如權(quán)利要求2或3所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳的外側(cè)棱角具有圓弧面。
5.如權(quán)利要求1所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳的L形豎直部分的上端設(shè)有一梯臺(tái)，所述梯臺(tái)的臺(tái)面為所述晶圓支撐面，所述梯臺(tái)的臺(tái)面外側(cè)背靠有由二個(gè)相交斜面構(gòu)成的外傾斜面，所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線，所述頂角線與所述支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合；所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面分別與所述梯臺(tái)及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。
6.如權(quán)利要求1所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述晶圓支撐面為由二個(gè)相交的向所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)方向下傾的斜面構(gòu)成，所述晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線，所述頂角線與所述支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合；二個(gè)相交的所述斜面外側(cè)背靠有一面向所述支撐環(huán)圓心的外傾斜面，所述外傾斜面分別與二個(gè)相交的所述斜面及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。
7.如權(quán)利要求1所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述晶圓支撐面為由二個(gè)相交的向所述支撐環(huán)內(nèi)側(cè)方向下傾的斜面構(gòu)成，所述晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線；所述晶圓支撐面外側(cè)背靠有由二個(gè)相交斜面構(gòu)成的外傾斜面，所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面的交線形成凸出的頂角線；所述晶圓支撐面的二個(gè)相交斜面的頂角線與所述外傾斜面的二個(gè)相交斜面的頂角線相交，并與所述支撐腳的軸對(duì)稱中心面重合；所述外傾斜面分別與所述晶圓支撐面及所述支撐腳L形豎直部分的外側(cè)面相交。
8.如權(quán)利要求1所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳的L形水平部分設(shè)有貫通的螺紋安裝孔，所述支撐腳的所述安裝孔通過穿過所述支撐環(huán)的所述腰形孔的緊固螺釘與所述支撐環(huán)連接。
9.如權(quán)利要求8所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述緊固螺釘在所述支撐腳的所述安裝孔內(nèi)的安裝高度不高于所述支撐腳的L形水平部分的上端面。
10.如權(quán)利要求1所述的用于盤狀物的支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳的L形水平部分的底面設(shè)有安裝孔，所述安裝孔為螺紋盲孔，所述支撐腳的所述安裝孔通過穿過所述支撐環(huán)的所述腰形孔的緊固螺釘與所述支撐環(huán)連接。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK203950796SQ201420340610
【公開日】2014年11月19日 申請(qǐng)日期:2014年6月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月24日
【發(fā)明者】李廣義, 趙宏宇, 張豹, 徐俊成, 孫文婷 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司