芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具，其特征在于它包括提籃（1）、片架（2）和滾動(dòng)軸（3），在所述提籃（1）底部中間向內(nèi)部開有一條圓弧形凹槽（14），所述滾動(dòng)軸（3）部分位于凹槽（14）中，其余部分位于腐蝕槽（4）的腐蝕液中，所述片架（2）放置在提籃（1）中，在所述提籃（1）底部的凹槽（14）兩側(cè)均設(shè)置有墊塊（6）。本實(shí)用新型簡(jiǎn)單易操作，可以降低生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
【專利說明】芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具，尤其涉及半導(dǎo)體芯片制造過程中，芯片單面腐蝕泡酸所需要的工夾具。屬集成電路或分立器件芯片制造【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體芯片減薄后需要對(duì)被減薄一面進(jìn)行腐蝕，這樣能夠有效的去除機(jī)械損傷和機(jī)械應(yīng)力，因?yàn)樾酒系臋C(jī)械損傷和機(jī)械應(yīng)力對(duì)芯片的使用壽命和性能有非常重要的影響。為了去除芯片機(jī)械損傷和芯片機(jī)械應(yīng)力，需對(duì)制造工藝進(jìn)行各種優(yōu)化一般采用旋轉(zhuǎn)噴霧式的方式進(jìn)行芯片的單面腐蝕作業(yè)，但由于該方式對(duì)設(shè)備要求非常高且化學(xué)試劑的消耗量非常大，因此大大提高了生產(chǎn)成本以及次品率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具，簡(jiǎn)單易操作，可以降低生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0004]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具，它包括提籃、片架和滾動(dòng)軸，在所述提籃底部中間向內(nèi)部開有一條圓弧形凹槽，所述滾動(dòng)軸部分位于凹槽中，其余部分位于腐蝕槽的腐蝕液中，所述片架放置在提籃中，在所述提籃底部的凹槽兩側(cè)均設(shè)置有墊塊。
[0005]所述提籃由矩形底部、錐形上部和頂部把手組成。
[0006]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0007]本實(shí)用新型的提籃中可放置一個(gè)或一個(gè)以上的片架，提籃本身底部為圓弧形凹槽，便于芯片直接與滾動(dòng)軸接觸，轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)片架中芯片的轉(zhuǎn)動(dòng)；提籃一側(cè)較另一側(cè)高，致使提籃中的片架和片架中的芯片有選擇性的向同一方向傾斜，此時(shí)需選擇芯片被腐蝕的一面傾斜后不與片架接觸，避免腐蝕過程中芯片與片架接觸造成腐蝕不均勻，可以降低生產(chǎn)成本,提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型實(shí)際應(yīng)用時(shí)的結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0009]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]其中:
[0011]提籃I
[0012]矩形底部11
[0013]錐形上部12
[0014]頂部把手13
[0015]凹槽14
[0016]片架2
[0017]滾動(dòng)軸3
[0018]腐蝕槽4
[0019]芯片5
[0020]墊塊6。

【具體實(shí)施方式】
[0021]參見圖1一圖2，本實(shí)用新型涉及一種芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具，包括提籃1、片架2和滾動(dòng)軸3，所述提籃I由矩形底部11、錐形上部12和頂部把手13組成，這樣設(shè)計(jì)提籃的結(jié)構(gòu)可以節(jié)省材料，在所述矩形底部11的中間向提籃I內(nèi)部開有一條圓弧形凹槽14，所述滾動(dòng)軸3部分位于凹槽14中，便于芯片直接與轉(zhuǎn)動(dòng)軸3接觸，其余部分位于腐蝕槽4的腐蝕液中，所述片架2放置在提籃I中，提籃I中可放置一個(gè)或一個(gè)以上的片架2，需要腐蝕的芯片5放于片架2中，在所述提籃I底部的凹槽14兩側(cè)均設(shè)置有墊塊6，確保提籃I呈傾斜狀態(tài)，由于提籃I 一側(cè)較另一側(cè)高，致使提籃I中的片架2和片架2中的芯片5有選擇性的向同一方向傾斜，此時(shí)需選擇芯片5被腐蝕的一面傾斜后不與片架接觸，避免腐蝕過程中芯片與片架接觸造成腐蝕不均勻。
[0022]操作過程:將芯片放入片架后，把片架放入腐蝕用提籃，由于提籃底部墊塊的作用，控制提籃中的芯片待腐蝕面不與片架接觸。將提籃放入酸槽中，酸槽中的滾輪軸嵌入提籃的凹槽處，滾動(dòng)軸與圓片接觸帶動(dòng)芯片的轉(zhuǎn)動(dòng)，滾動(dòng)軸順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，芯片逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，芯片均勻腐蝕。
【權(quán)利要求】
1.一種芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具，其特征在于它包括提籃(I)、片架(2)和滾動(dòng)軸(3)，在所述提籃(I)底部中間向內(nèi)部開有一條圓弧形凹槽(14)，所述滾動(dòng)軸(3)部分位于凹槽(14)中，其余部分位于腐蝕槽(4)的腐蝕液中，所述片架(2)放置在提籃(I)中，在所述提籃(I)底部的凹槽(14)兩側(cè)均設(shè)置有墊塊(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片單面腐蝕泡酸工裝夾具，其特征在于所述提籃(I)由矩形底部(11)、錐形上部(12)和頂部把手(13)組成。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK203941894SQ201420310431
【公開日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月12日
【發(fā)明者】任濤, 江浩, 朱瑞, 陳曉倫, 孫斌, 許柏松 申請(qǐng)人:江陰新順微電子有限公司