本發(fā)明涉及一種檢測泄露的工裝，尤其是一種波紋管測漏工裝，屬于半導體薄膜設備技術領域。

背景技術：

半導體鍍膜設備中常用到的波紋管用來實現(xiàn)某些部件的升降功能，同時實現(xiàn)大氣與真空環(huán)境的互換，所以必須保證波紋管的密封性能滿足設備的要求。另外，在波紋管安裝到設備之前，如果不進行密封性能的檢測，增加了不確定因素可能會出現(xiàn)漏率不合格等現(xiàn)象，如此會增加設備檢漏時間及零部件的更換裝配時間。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問題為目的，設計了一種波紋管密封性能檢驗工裝結構，能夠實現(xiàn)檢漏和保壓的功能。有效的提高了檢漏的可靠性，減少了檢漏時間，同時排除了波紋管存在漏點的可能性。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術方案是：波紋管測漏工裝，包括帶孔上法蘭蓋板(1)、雙頭螺柱(2)、波紋管(3)、六角螺母(4)、帶孔底部盲板(5)和密封圈(6)。密封圈(6)安裝在波紋管(3)兩端的法蘭密封槽中，帶孔底部盲板(5)與波紋管的法蘭孔位對應，通過雙頭螺柱(2)和六角螺母(4)將帶孔底部盲板(5)、帶孔上法蘭蓋板(1)與波紋管(3)固定連接，帶孔上法蘭蓋板(1)的接口 處連接檢漏儀。

本發(fā)明的有益效果及特點在于：

1、結構合理，通過螺母與雙頭螺柱保證了波紋管的自然長度，避免了抽氣時波紋管的負壓收縮變形，對波紋管本身起到保護作用，減少了零件和檢漏儀的損壞幾率，同時也降低了操作的安全隱患；

2、適用面廣泛，本發(fā)明不僅僅適用于焊接圓形法蘭的波紋管，還適用于焊接橢圓形、三角形等任意形狀法蘭的波紋管，具有通用性；

3、本發(fā)明不僅可以進行波紋管的檢漏操作，還可以進行波紋管的保壓操作，提高了工裝的使用效率；

4、本發(fā)明結構小巧簡單，拆卸方便，提高了波紋管的檢漏效率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

如圖1所示：波紋管測漏工裝，包括帶孔上法蘭蓋板1、雙頭螺柱2、波紋管3、六角螺母4、帶孔底部盲板5和密封圈6。密封圈6安裝在波紋管3兩端的法蘭密封槽中，帶孔底部盲板5與波紋管的法蘭孔位對應，通過雙頭螺柱2和六角螺母4將帶孔底部盲板5、帶孔 上法蘭蓋板1與波紋管3固定連接，帶孔上法蘭蓋板1的接口處連接檢漏儀。

帶孔上法蘭蓋板1由一個管接頭焊接在法蘭上構成，對焊接要求牢固、不允許有虛焊、夾渣、氣孔，非焊接處不允許有黑皮飛濺、電弧損傷等缺陷，焊后修光焊縫檢漏，漏率≤1.0x10-11Pa·m3/s；波紋管3由一個波紋管上下兩端焊接兩個帶孔的法蘭盤構成，焊接方式為圓周密封焊接。使用前首先對所有零部件進行擦拭或清洗，以確保密封效果；使用時，將密封圈6安裝在波紋管3兩端的法蘭密封槽中，帶孔底部盲板與波紋管的法蘭孔位對應，然后在波紋管3的法蘭孔位中分別穿入三個雙頭螺柱2，用六角螺母4固定波紋管下法蘭與帶孔底部盲板5，再在雙頭螺柱2上部安裝六角螺母4，將波紋管上法蘭安裝入雙頭螺柱2，調節(jié)六角螺母4使波紋管3處于自然長度狀態(tài)，再將帶孔上法蘭蓋板1安裝到波紋管3的上法蘭上，用六角螺母4固定，最后在帶孔上法蘭蓋板1的接口處連接檢漏儀進行檢漏保壓操作，要求安裝牢固，不得有松動現(xiàn)象；另外需要說明的是，本發(fā)明適用于焊接圓形、橢圓形、三角形等任意形狀法蘭的波紋管，但適用的前提條件是需要確保帶孔上法蘭蓋板1的直徑至少要大于密封圈6的直徑，這樣才能蓋住密封圈，避免漏氣。最后在檢漏環(huán)節(jié)中，該裝置可在檢漏過程中防止波紋管的負壓收縮變形，幫助順利完成檢漏環(huán)節(jié)。