硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及硅片化鍍處理裝置領(lǐng)域，具體涉及一種硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置。硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置，它包括機(jī)架、轉(zhuǎn)輪、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、機(jī)械手、機(jī)械手臂、硅片花籃和化鍍處理槽，機(jī)架上端裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，轉(zhuǎn)輪連接在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)輪圓心一側(cè)連接機(jī)械手臂上端，機(jī)械手臂下端設(shè)計(jì)裝有機(jī)械手，機(jī)械手抓在硅片花籃的提手上，硅片花籃位于化鍍處理槽內(nèi)，機(jī)架下端是化鍍處理槽。優(yōu)點(diǎn)是設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，使用方便，無需人工，工作效率高，且安全可靠，硅片表面鍍鎳、鍍金均勻；機(jī)械手的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠把硅片花籃有效地抓緊，防止工作過程中花籃脫落；轉(zhuǎn)輪與機(jī)械臂偏心連接設(shè)計(jì)，使硅片花籃均勻擺動(dòng)。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型設(shè)計(jì)硅片化鍍處理裝置領(lǐng)域，具體涉及一種硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝 置。 硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 擴(kuò)散硅片在化學(xué)鍍鎳、化學(xué)鍍金中一般用手?jǐn)[動(dòng)裝有硅片的花籃進(jìn)行處理，使待 鍍硅片與化鍍?nèi)芤撼浞纸佑|發(fā)生反應(yīng)。這種手動(dòng)擺動(dòng)處理存在缺點(diǎn)：擺速不均勻，造成加工 硅片表面鍍鎳、鍍金不太均勻，在生產(chǎn)過程中需要人一直維持，人工效率低下，且化學(xué)溶液 對(duì)人體有危害。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 為了解決上述問題，本實(shí)用新型提出了一種硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置，設(shè)計(jì)簡(jiǎn) 單，使用方便，無需人工，工作效率高，且安全可靠，硅片表面鍍鎳、鍍金均勻。
[0004] 為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型提出以下技術(shù)方案：
[0005] 硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置，它包括機(jī)架、轉(zhuǎn)輪、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、機(jī)械手、機(jī)械手臂、硅片 花籃和化鍍處理槽，機(jī)架上端裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，轉(zhuǎn)輪連接在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)輪圓心一側(cè) 連接機(jī)械手臂上端，機(jī)械手臂下端設(shè)計(jì)裝有機(jī)械手，機(jī)械手抓在硅片花籃的提手上，硅片花 籃位于化鍍處理槽內(nèi)，機(jī)架下端是化鍍處理槽。
[0006] 所述的機(jī)械手包括壓手塊和拉手塊，壓手塊是"L"狀，拉手塊是掛鉤形狀，壓手塊 裝在拉手快上端，壓手塊通過螺栓和螺母固定在機(jī)械臂上。
[0007] 所述的轉(zhuǎn)輪與機(jī)械手臂是偏心連接，轉(zhuǎn)輪上設(shè)計(jì)有偏心轉(zhuǎn)軸，機(jī)械手臂上端安裝 在偏心轉(zhuǎn)軸上。
[0008] 本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，使用方便，無需人工，工作效率高，且安全可靠，硅 片表面鍍鎳、鍍金均勻；機(jī)械手的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠把硅片花籃有效地抓緊，防止工作過程中花 籃脫落；轉(zhuǎn)輪與機(jī)械臂偏心連接設(shè)計(jì)，使硅片花籃均勻擺動(dòng)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009] 圖1是本實(shí)用新型的示意圖。
[0010] 圖2是本實(shí)用新型的前視示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0011] 為了對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明，下面結(jié)合說明書附圖來介紹：
[0012] 參照附圖1和圖2,硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置，它包括機(jī)架1、轉(zhuǎn)輪2、旋轉(zhuǎn)電機(jī)3、 機(jī)械手4、機(jī)械手臂5、硅片花籃6和化鍍處理槽7,機(jī)架1上端裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)3,轉(zhuǎn)輪2連接 在旋轉(zhuǎn)電機(jī)3的轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)輪2圓心一側(cè)連接機(jī)械手臂5上端，機(jī)械手臂5下端設(shè)計(jì)裝有機(jī) 械手4,機(jī)械手4抓在硅片花籃6的提手61上，硅片花籃6位于化鍍處理槽7內(nèi)，機(jī)架1下 端是化鍍處理槽7。
[0013] 參照?qǐng)D2,所述的機(jī)械手4包括壓手塊41和拉手塊42,壓手塊41是"L"狀，拉手 塊42是掛鉤形狀，壓手塊41裝在拉手快上端，壓手塊41通過螺栓和螺母固定在機(jī)械臂上。
[0014] 所述的轉(zhuǎn)輪2與機(jī)械手臂是偏心連接，轉(zhuǎn)輪2上設(shè)計(jì)有偏心轉(zhuǎn)軸21，機(jī)械手臂5上 端安裝在偏心轉(zhuǎn)軸21上。
[0015] 本實(shí)用新型使用時(shí)，硅片花籃內(nèi)裝滿待處理的硅片，然后把花籃的提手掛在機(jī)械 手的拉手塊上，提手上端在用壓手塊壓住，防止花籃脫落，壓手塊再通過螺栓和螺母鎖緊， 啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)，機(jī)械臂在轉(zhuǎn)輪上的偏心轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下，做出擺臂動(dòng)作，從而 帶動(dòng)機(jī)械手和硅片花籃同步擺動(dòng)，勻速的對(duì)硅片進(jìn)行處理。這種無需人員不停的手動(dòng)擺動(dòng)， 人員接觸化學(xué)溶液機(jī)會(huì)就少就更安全，而且旋轉(zhuǎn)電機(jī)可采用變速裝置對(duì)其擺動(dòng)速度進(jìn)行控 制調(diào)節(jié)，旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)時(shí)間可以通過時(shí)間繼電器控制其擺動(dòng)處理時(shí)間。
【權(quán)利要求】
1. 硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置，它包括機(jī)架、轉(zhuǎn)輪、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、機(jī)械手、機(jī)械手臂、硅片花 籃和化鍍處理槽，其特征是機(jī)架上端裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，轉(zhuǎn)輪連接在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)輪圓 心一側(cè)連接機(jī)械手臂上端，機(jī)械手臂下端設(shè)計(jì)裝有機(jī)械手，機(jī)械手抓在硅片花籃的提手上， 硅片花籃位于化鍍處理槽內(nèi)，機(jī)架下端是化鍍處理槽。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置，其特征是所述的機(jī)械手包括壓手 塊和拉手塊，壓手塊是"L"狀，拉手塊是掛鉤形狀，壓手塊裝在拉手快上端，壓手塊通過螺栓 和螺母固定在機(jī)械臂上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片化鍍處理用擺動(dòng)裝置，其特征是所述的轉(zhuǎn)輪與機(jī)械手臂 是偏心連接，轉(zhuǎn)輪上設(shè)計(jì)有偏心轉(zhuǎn)軸，機(jī)械手臂上端安裝在偏心轉(zhuǎn)軸上。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK203878214SQ201420251199
【公開日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年5月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月16日
【發(fā)明者】陳春香 申請(qǐng)人:南通皋鑫電子股份有限公司