一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及承托硅外延片的清洗花籃，尤其涉及一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)。在6英寸花籃兩側(cè)的插槽里分別一一對(duì)應(yīng)安裝有承托4英寸硅外延片的插板和承托5英寸硅外延片的插板，插板的前端分別設(shè)有與6英寸花籃的插槽相嚙合的插條，插板的后端分別設(shè)有卡槽，卡槽的上端槽口敞開(kāi)，底部槽口封閉。通過(guò)在原有大尺寸花籃的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上進(jìn)行改裝，根據(jù)需要清洗的小尺寸硅外延片的片數(shù)和尺寸安裝對(duì)應(yīng)套數(shù)的插板，具備成本節(jié)約、造價(jià)低廉、使用簡(jiǎn)便的優(yōu)勢(shì)，大幅節(jié)省了生產(chǎn)用料，提高了生產(chǎn)效率和操作安全性。而且該清洗花籃改裝結(jié)構(gòu)所用的插板可自由組合和拆卸，靈活性強(qiáng)，便于大規(guī)模推廣使用。
【專利說(shuō)明】一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及承托硅外延片的清洗花籃，尤其涉及一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]硅外延片在生產(chǎn)過(guò)程中需要多次清洗，常用到的裝片器具是清洗花籃。但由于傳統(tǒng)的清洗花籃只能適配單一尺寸的硅外延片，大尺寸(如6英寸)花籃無(wú)法承托小尺寸(如4英寸、5英寸)的硅外延片。因此在實(shí)際清洗中需要為每一種尺寸的硅外延片準(zhǔn)備對(duì)應(yīng)的清洗花籃。當(dāng)需要同時(shí)清洗不同尺寸的硅外延片時(shí)，因清洗花籃的結(jié)構(gòu)限制，每次只能順次清洗單一個(gè)尺寸的硅外延片，因此加大了工序量，占用了大量的人力和時(shí)間，增加了生產(chǎn)成本，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)效率，同時(shí)加大了操作人員被化學(xué)試劑傷害的風(fēng)險(xiǎn)。因而，開(kāi)發(fā)能夠承托多種尺寸硅外延片的清洗花籃是十分必要的。該花籃在設(shè)計(jì)上需要考慮到能在100°C的高溫下正常使用，同時(shí)耐酸、堿腐蝕性要強(qiáng)，避免花籃在長(zhǎng)期使用過(guò)程中被酸、堿性液體侵蝕而變形、分解，進(jìn)而造成對(duì)硅外延片的二次污染。但目前這種能滿足實(shí)際生產(chǎn)需求的花籃還沒(méi)有報(bào)道。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有花籃在使用過(guò)程中存在尺寸兼容性差，造成硅外延片清洗成本增加和生產(chǎn)效率降低的問(wèn)題。特別提供一種簡(jiǎn)便易行的改造方案，可獲得承托多個(gè)尺寸硅外延片的清洗花籃，實(shí)現(xiàn)一個(gè)花籃可以同時(shí)清洗多片數(shù)、多尺寸的硅外延片，大大節(jié)省了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。
[0004]本發(fā)明米取的技術(shù)方案是:一種承托多個(gè)尺寸娃外延片的花籃結(jié)構(gòu)，包括6英寸花籃，其特征在于:在6英寸花籃兩側(cè)的插槽里分別一一對(duì)應(yīng)安裝有承托4英寸硅外延片的插板和承托5英寸娃外延片的插板，承托4英寸娃外延片的插板和承托5英寸娃外延片的插板的前端分別設(shè)有與6英寸花籃的插槽相嚙合的插條，承托4英寸硅外延片的插板和承托5英寸娃外延片的插板的后端分別設(shè)有與4英寸娃外延片相配合的卡槽和與5英寸娃外延片相配合的卡槽，4英寸硅外延片相配合的卡槽和與5英寸硅外延片相配合的卡槽的上端槽口敞開(kāi)，底部槽口封閉。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:通過(guò)在原有大尺寸花籃的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上進(jìn)行改裝，根據(jù)需要清洗的小尺寸硅外延片的片數(shù)和尺寸安裝對(duì)應(yīng)套數(shù)的插板，具備成本節(jié)約、造價(jià)低廉、使用簡(jiǎn)便的優(yōu)勢(shì)，大幅節(jié)省了生產(chǎn)用料，提高了生產(chǎn)效率和操作安全性。而且該清洗花籃改裝結(jié)構(gòu)所用的插板可自由組合和拆卸，靈活性強(qiáng)，便于大規(guī)模推廣使用。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0006]圖1為本發(fā)明實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)俯視圖，
圖2為圖1中承托4英寸娃外延片的插板和承托5英寸娃外延片的插板組合為一體的放大示意圖；
圖3為本發(fā)明實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)俯視圖；
圖4為圖3中一個(gè)承托4英寸娃外延片插板的放大不意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0007]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明:
參照?qǐng)D1至圖4，一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)包括6英寸花籃1，在6英寸花籃1兩側(cè)的插槽1.1里分別一一對(duì)應(yīng)安裝有承托4英寸硅外延片的插板2和承托5英寸娃外延片的插板3,承托4英寸娃外延片的插板2和承托5英寸娃外延片的插板3的前端分別設(shè)有與6英寸花籃1的插槽1.1相嚙合的插條2.1和插條3.1，承托4英寸硅外延片的插板2和承托5英寸娃外延片的插板3的后端分別設(shè)有與4英寸娃外延片相配合的卡槽2.2和與5英寸硅外延片相配合的卡槽3.2，由兩個(gè)相同尺寸插板組成一套，分別垂直插入原有6英寸花籃兩側(cè)對(duì)應(yīng)的卡槽中，每套相同尺寸插板承托一片硅外延片，4英寸硅外延片相配合的卡槽2.2和與5英寸硅外延片相配合的卡槽3.2的上端槽口敞開(kāi)，底部槽口封閉，以防止硅外延片從下方脫落。
[0008]本發(fā)明的承托4英寸娃外延片的插板2和承托5英寸娃外延片的插板3設(shè)為分體結(jié)構(gòu)，或者設(shè)為至少由兩個(gè)承托4英寸硅外延片的插板2為一體；或者設(shè)為至少由兩個(gè)承托5英寸娃外延片的插板3為一體；或者設(shè)為至少由一個(gè)承托4英寸娃外延片的插板2和一個(gè)承托5英寸硅外延片的插板為一體的組合結(jié)構(gòu)。也就是說(shuō)，4英寸硅外延片的插板2和承托5英寸硅外延片的插板3可以單獨(dú)加工制成，也可以將若干個(gè)相同尺寸或不同尺寸的進(jìn)行組合加工制成。
[0009]本發(fā)明的承托5英寸硅外延片的插板3長(zhǎng)度設(shè)為9-13 mm,寬度設(shè)為4-8 mm,高度設(shè)為100 -120 mm ;承托4英寸硅外延片的插板2長(zhǎng)度設(shè)為20-24 mm,寬度設(shè)為4_8 mm,高度設(shè)為 100 -120 mm。
[0010]本發(fā)明的承托4英寸硅外延片的插板2后端的卡槽2.2和承托5英寸硅外延片的插板3后端的卡槽3.2的槽口形狀呈矩形或燕尾形，卡槽長(zhǎng)度設(shè)為7-10 mm,寬度設(shè)為1.5-2.5 _，便于真空吸筆抽取片，同時(shí)方便清洗液流入和流出，從而保證了清洗質(zhì)量。卡槽槽壁厚度設(shè)為廣3 _，可有效避免外延片的串槽問(wèn)題。
[0011]本發(fā)明的承托4英寸硅外延片的插板2和承托5英寸硅外延片的插板3前端的插條2.1和插條3.1高度設(shè)為100 -120 mm,截面呈梯形。最寬處為4mm,最窄處為2mm,可與6英寸花籃兩邊固有的卡槽緊密插接嚙合，保證插板在使用過(guò)程中不會(huì)轉(zhuǎn)動(dòng)、脫落。
[0012]本發(fā)明的承托4英寸硅外延片的插板2和承托5英寸硅外延片的插板3采用聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、全氟烷基乙烯基醚共聚物、聚丙烯樹(shù)脂中的任意一種材料制成。
[0013]實(shí)施例1:清洗六片娃外延片，包括兩片6英寸娃外延片、兩片5英寸娃外延片、兩片4英寸娃外延片。取一個(gè)市售的承托6英寸娃外延片的大尺寸花籃和由一個(gè)承托4英寸硅外延片的插板和一個(gè)承托5英寸硅外延片的插板組合為一體的兩套插板，需要清洗的兩片6英寸娃外延片插入承托6英寸娃外延片的大尺寸花籃固有的插槽內(nèi)；組合為一體的兩套插板分別通過(guò)前端的插條與6英寸大尺寸花籃的固有插槽緊密插接嚙合，如圖1和圖
2所示。插條高度均為100 mm,截面呈梯形，最寬處為4mm,最窄處為2mm,承托5英寸娃外延片的插板長(zhǎng)度為11 mrn，寬度為6 mm,高度為110 mm,承托4英寸娃外延片的插板設(shè)計(jì)長(zhǎng)度為22 mm,寬度為6 mm,高度為110 mm。需要清洗的兩片4英寸、兩片5英寸硅外延片分別對(duì)應(yīng)插入組合為一體的兩套插板后端的卡槽中，卡槽的槽口呈矩形，如圖2所示。槽口長(zhǎng)度為7 mm,槽口寬度為2 mm,卡槽的槽壁厚度為2 mm。插板采用全氟燒基乙烯基醚共聚物(PFA)制成，此材料耐高溫、耐酸堿腐蝕。
[0014]實(shí)施例2:清洗十片硅外延片，包括兩片6英寸硅外延片、四片5英寸硅外延片、四片4英寸硅外延片。取一個(gè)市售的承托6英寸硅外延片的大尺寸花籃，需要清洗的兩片6英寸硅外延片插入承托6英寸硅外延片的大尺寸花籃固有的插槽內(nèi)；取承托4英寸、5英寸硅外延片的插板各四套，通過(guò)插板前端的插條分別插入承托6英寸硅外延片的大尺寸花籃固有的插槽內(nèi)，如圖3所示。插板前端插條高度為100 mm,截面呈梯形，最寬處為4mm,最窄處為2_，與承托6英寸硅外延片的大尺寸花籃固有的卡槽緊密插接嚙合。承托5英寸硅外延片的插板長(zhǎng)度為9 mm,寬度為6 mm,高度為100 mm ;承托4英寸娃外延片的插板長(zhǎng)度為20 mm，寬度為6 mm，高度為100 mm。需要清洗的四片4英寸和四片5英寸硅外延片分別對(duì)應(yīng)插入插板后端的卡槽中，卡槽的槽口呈燕尾形，如圖4所示，槽長(zhǎng)度為7 mm,槽口寬度為3mm，卡槽的槽壁厚度為1.5 mm。插板采用全氟燒基乙烯基醚共聚物(PFA)制成，此材料耐高溫、耐酸堿腐蝕。
【權(quán)利要求】
1.一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)，包括6英寸花籃(I)，其特征在于:在6英寸花籃(I)兩側(cè)的插槽(1.1)里分別一一對(duì)應(yīng)安裝有承托4英寸硅外延片的插板(2 )和承托5英寸娃外延片的插板(3),承托4英寸娃外延片的插板(2)和承托5英寸娃外延片的插板(3)的前端分別設(shè)有與6英寸花籃(I)的插槽(1.1)相嚙合的插條(2.1)和插條(3.1),承托4英寸硅外延片的插板(2)和承托5英寸硅外延片的插板(3)的后端分別設(shè)有與4英寸硅外延片相配合的卡槽(2.2)和與5英寸硅外延片相配合的卡槽(3.2)，4英寸硅外延片相配合的卡槽(2.2)和與5英寸硅外延片相配合的卡槽(3.2)的上端槽口敞開(kāi)，底部槽口封閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的承托4英寸硅外延片的插板(2)和承托5英寸硅外延片的插板(3)設(shè)為分體結(jié)構(gòu)，或者設(shè)為至少由兩個(gè)承托4英寸硅外延片的插板(2)為一體；或者設(shè)為至少由兩個(gè)承托5英寸硅外延片的插板(3)為一體；或者設(shè)為至少由一個(gè)承托4英寸硅外延片的插板(2)和一個(gè)承托5英寸硅外延片的插板為一體的組合結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的承托5英寸硅外延片的插板(3)長(zhǎng)度設(shè)為9-13 mm，寬度設(shè)為4-8 mm，高度設(shè)為100 -120mm ;承托4英寸硅外延片的插板(2)長(zhǎng)度設(shè)為20-24 mm,寬度設(shè)為4-8 mm,高度設(shè)為100-120 mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的承托4英寸硅外延片的插板(2)后端的卡槽(2.2)和承托5英寸硅外延片的插板(3)后端的卡槽(3.2)的槽口形狀呈矩形或燕尾形，卡槽長(zhǎng)度設(shè)為7-10 mm,卡槽寬度設(shè)為1.5-3_，卡槽槽壁厚度設(shè)為1?3 mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的承托4英寸硅外延片的插板(2)和承托5英寸硅外延片的插板(3)前端的插條(2.1)和插條(3.1)高度設(shè)為100 -120 mm，截面呈梯形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的承托4英寸硅外延片的插板(2)和承托5英寸硅外延片的插板(3)采用聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、全氟烷基乙烯基醚共聚物、聚丙烯樹(shù)脂中的任意一種材料制成。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK104465463SQ201410774766
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年12月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月16日
【發(fā)明者】王文林, 薛兵, 殷海豐, 居斌, 楊晉武, 李明達(dá) 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所