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一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7065151

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本發(fā)明涉及承托硅外延片的清洗花籃,尤其涉及一種承托多個(gè)尺寸硅外延片的花籃結(jié)構(gòu)。在6英寸花籃兩側(cè)的插槽里分別一一對(duì)應(yīng)安裝有承托4英寸硅外延片的插板和承托5英寸硅外延片的插板,插板的前端分別設(shè)有與6英寸花籃的插槽相嚙合的插條,插板的后端分別設(shè)有卡槽,卡槽的上端槽口敞開,底部槽口封閉。通過在原有大尺寸花籃的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上進(jìn)行改裝,根據(jù)需要清洗的小尺寸硅外延片的片數(shù)和尺寸安裝對(duì)應(yīng)套數(shù)的插板,具備成本節(jié)約、造價(jià)低廉、使用簡(jiǎn)便的優(yōu)勢(shì),大幅節(jié)省了生產(chǎn)用料,提高了生產(chǎn)效率和操...
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