薄膜晶體管陣列基板及液晶顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種薄膜晶體管陣列基板及液晶顯示裝置。薄膜晶體管陣列基板包括顯示區(qū)域及圍繞顯示區(qū)域設(shè)置的邊框區(qū)域，顯示區(qū)域內(nèi)設(shè)置呈陣列狀分布的多個(gè)薄膜晶體管及多個(gè)數(shù)據(jù)線，在邊框區(qū)域形成第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案，相鄰的測(cè)試圖案之間的距離大于兩條數(shù)據(jù)線之間的距離，每個(gè)測(cè)試圖案包括光阻及兩個(gè)測(cè)試線，每個(gè)測(cè)試圖案中的光阻及兩個(gè)測(cè)試線分別與顯示區(qū)域中相應(yīng)顏色的光阻與數(shù)據(jù)線的尺寸位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)，通過(guò)測(cè)相應(yīng)測(cè)試圖案中的光阻超出相應(yīng)測(cè)試線的寬度，以得到顯示區(qū)域內(nèi)相鄰的兩個(gè)相應(yīng)顏色的光阻之間的重疊區(qū)域。本發(fā)明能夠測(cè)出顯示區(qū)域內(nèi)相鄰的兩個(gè)相應(yīng)顏色光阻之間的重疊區(qū)域。
【專利說(shuō)明】
薄膜晶體管陣列基板及液晶顯示裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶體管陣列基板及液晶顯示裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]COA (Color on Array)技術(shù)是將彩色光阻制備在薄膜晶體管陣列基板陣列(thinfilm transistor (TFT) Array)上的一種技術(shù)。其具有可以提高像素開口率及液晶顯示裝置(liquid crystal display, LCD)品質(zhì)的優(yōu)點(diǎn)。其次，應(yīng)用C0A技術(shù)制備的液晶顯示裝置因?yàn)椴淮嬖诓噬珵V光(color filter, CF)基板與TFT基板對(duì)位的問(wèn)題，從而降低液晶顯示裝置的成盒(cell)階段的難度。然而，在C0A技術(shù)中，薄膜晶體管陣列基板中相鄰的兩種光阻之間會(huì)有重疊區(qū)域，重疊區(qū)域的大小會(huì)影響到液晶顯示裝置的顯示效果。因?yàn)楣?com)電極金屬的干擾，相鄰的兩種光阻之間的重疊區(qū)域不容易被測(cè)量，即在現(xiàn)有技術(shù)中，薄膜晶體管陣列基板還不能夠測(cè)量出C0A技術(shù)中相鄰的光阻之間的重疊區(qū)域的大小，進(jìn)而不能夠很好地對(duì)相鄰光阻之間的重疊區(qū)域大小進(jìn)行改進(jìn)以提高液晶顯示裝置的顯示效果。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供了一種薄膜晶體管陣列基板，所述薄膜晶體管陣列基板能夠很好地測(cè)量出相鄰的光阻的重疊區(qū)域的大小。
[0004]一種薄膜晶體管陣列基板，所述薄膜晶體管陣列基板包括顯示區(qū)域及圍繞所述顯示區(qū)域設(shè)置的邊框區(qū)域，所述顯示區(qū)域內(nèi)設(shè)置呈陣列狀分布的多個(gè)薄膜晶體管及多個(gè)數(shù)據(jù)線，在所述邊框區(qū)域形成第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案，所述第一測(cè)試圖案與所述第二測(cè)試圖案之間的距離以及所述第二測(cè)試圖案與所述第三測(cè)試圖案之間的距離大于所述顯示區(qū)域內(nèi)相鄰的兩條數(shù)據(jù)線之間的距離，所述第一測(cè)試圖案包括第一測(cè)量線、第二測(cè)量線及第一光阻，所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻覆蓋所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線，且所述第一光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第二測(cè)試圖案包括第三測(cè)量線、第四測(cè)量線及第二光阻，所述第三測(cè)量線鄰近所述第二測(cè)量線設(shè)置，所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第二光阻覆蓋所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線，且所述第二光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第三測(cè)試圖案包括第五測(cè)量線、第六測(cè)量線及第三光阻，所述第五測(cè)量線鄰近所述第四測(cè)量線設(shè)置，且所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第三光阻覆蓋所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線，且所述第三光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第三顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻超出所述二測(cè)量線的寬度為第一寬度，所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線的寬度分別為第二寬度及第三寬度，所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為第四寬度，則所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間重疊區(qū)域的寬度為所述第一寬度與所述第二寬度之和。
[0005]其中，所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域的寬度為所述第三寬度與所述第四寬度之和。
[0006]其中，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線的寬度為所述顯示區(qū)域內(nèi)數(shù)據(jù)線的寬度的二分之一。
[0007]其中，所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的寬度為所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的中線的寬度；所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的中線的寬度。
[0008]其中，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線在形成所述薄膜晶體管的源極及漏極時(shí)形成。
[0009]本發(fā)明還提供了一種液晶顯示裝置，所述液晶顯示裝置能夠很好地測(cè)量出相鄰光阻之間重疊區(qū)域的大小。
[0010]一種液晶顯示裝置，所述液晶顯示裝置包括薄膜晶體管陣列基板，所述薄膜晶體管陣列基板包括顯示區(qū)域及圍繞所述顯示區(qū)域設(shè)置的邊框區(qū)域，所述顯示區(qū)域內(nèi)設(shè)置呈陣列狀分布的多個(gè)薄膜晶體管及多個(gè)數(shù)據(jù)線，在所述邊框區(qū)域形成第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案，所述第一測(cè)試圖案與所述第二測(cè)試圖案之間的距離以及所述第二測(cè)試圖案與所述第三測(cè)試圖案之間的距離大于所述顯示區(qū)域內(nèi)相鄰的兩條數(shù)據(jù)線之間的距離，所述第一測(cè)試圖案包括第一測(cè)量線、第二測(cè)量線及第一光阻，所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻覆蓋所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線，且所述第一光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第二測(cè)試圖案包括第三測(cè)量線、第四測(cè)量線及第二光阻，所述第三測(cè)量線鄰近所述第二測(cè)量線設(shè)置，所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第二光阻覆蓋所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線，且所述第二光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第三測(cè)試圖案包括第五測(cè)量線、第六測(cè)量線及第三光阻，所述第五測(cè)量線鄰近所述第四測(cè)量線設(shè)置，且所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第三光阻覆蓋所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線，且所述第三光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第三顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻超出所述二測(cè)量線的寬度為第一寬度，所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線的寬度分別為第二寬度及第三寬度，所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為第四寬度，則所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間重疊區(qū)域的寬度為所述第一寬度與所述第二寬度之和。
[0011]其中，所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域的寬度為所述第三寬度與所述第四寬度之和。
[0012]其中，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線的寬度為所述顯示區(qū)域內(nèi)數(shù)據(jù)線的寬度的二分之一。
[0013]其中，所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的寬度為所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的中線的寬度；所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的中線的寬度。
[0014]其中，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線在形成所述薄膜晶體管的源極及漏極時(shí)形成。
[0015]本發(fā)明的薄膜晶體管陣列基板及液晶顯示裝置在薄膜晶體管陣列基板的邊框區(qū)域設(shè)置第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案。所述第一測(cè)試圖案、所述第二測(cè)試圖案及所述第三測(cè)試圖案分別包括兩條測(cè)量線及光阻，每個(gè)測(cè)試圖案中的兩條測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)的相鄰的兩條數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，每個(gè)測(cè)試圖案的光阻分別與顯示區(qū)域a內(nèi)的第一顏色光阻、第二顏色光阻及第三顏色光阻相對(duì)應(yīng)。從而，所述第一光阻與所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線之間的關(guān)系與顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻與所述第一顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)；所述第二光阻與所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線之間的關(guān)系與所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻與所述第二顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)；所述第三光阻與所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線之間的關(guān)系與所述顯示區(qū)域內(nèi)第三顏色光阻與所述第二顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)。由此，通過(guò)測(cè)量所述第一寬度、所述第二寬度、所述第三寬度及所述第四寬度，得到所述第一寬度與所述第二寬度之和。從而將顯示區(qū)域內(nèi)所述第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間不容易被測(cè)量的重疊區(qū)域的寬度測(cè)量出來(lái)，以及將所述第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的不容易被測(cè)量出來(lái)的重疊區(qū)域的寬度測(cè)量出來(lái)，以便后續(xù)對(duì)相鄰的第一顏色光阻與第二顏色光阻之間的重疊區(qū)域以及第二顏色光阻與第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域進(jìn)行改進(jìn)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本發(fā)明一較佳實(shí)施方式的薄膜晶體管陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為圖1中薄膜晶體管陣列基板中的第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案放大示意圖。
[0019]圖3為本發(fā)明一較佳實(shí)施方式的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0021]請(qǐng)一并參閱圖1及圖2，圖1為本發(fā)明一較佳實(shí)施方式的薄膜晶體管陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中薄膜晶體管陣列基板中的第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案放大示意圖。所述薄膜晶體管陣列基板100為采用C0A技術(shù)的薄膜晶體管陣列基板，及在本實(shí)施方式中，所述薄膜晶體管陣列基板100中包括由多個(gè)薄膜晶體管120組成的薄膜晶體管陣列及設(shè)置在所述薄膜晶體管陣列上的彩膜。所述彩膜包括多個(gè)彩膜單元，每個(gè)彩膜單元包括第一顏色光阻(圖未示)、第二顏色光阻(圖未示)及第三顏色光阻(圖未示)。所述薄膜晶體管陣列基板100包括顯示區(qū)域a及圍繞所述顯示區(qū)域a設(shè)置的邊框區(qū)域b。所述顯示區(qū)域a內(nèi)設(shè)置呈陣列狀分布的多個(gè)薄膜晶體管120及多個(gè)數(shù)據(jù)線130。所述邊框區(qū)域b為所述薄膜晶體管陣列基板100的非顯示區(qū)域，所述邊框區(qū)域b形成第一測(cè)試圖案150、第二測(cè)試圖案160及第三測(cè)試圖案170。所述第一測(cè)試圖案150與所述第二測(cè)試圖案160之間的距離，以及所述第二測(cè)試圖案160與所述第三測(cè)試圖案170之間的距離至少為所述顯示區(qū)域a內(nèi)的相連的兩條數(shù)據(jù)線130之間距離大于所述顯示區(qū)域a內(nèi)相鄰的兩條數(shù)據(jù)線130之間的距離。
[0022]所述第一測(cè)試圖案150包括第一測(cè)量線151、第二測(cè)量線152及第一光阻153。所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻153覆蓋所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152，且所述第一光阻153的尺寸與所述顯示區(qū)域a內(nèi)的第一顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施方式中，所述第一光阻153與所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152的相對(duì)位置關(guān)系與所述第一顏色光阻和所述第一顏色光阻下覆蓋的兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的相對(duì)位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)。舉例而言，所述第一光阻153超出所述第一測(cè)量線151的寬度與所述第一顏色光阻超出與所述第一測(cè)量線151對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等，所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的寬度與所述第一顏色光阻超出與所述第二測(cè)量線152對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等。
[0023]所述第二測(cè)試圖案160包括第三測(cè)量線161、第四測(cè)量線162及第二光阻163。所述第三測(cè)量線161鄰近所述第二測(cè)量線152設(shè)置，所述第三測(cè)量線161與所述第四測(cè)量線162分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，所述第二光阻163覆蓋所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162，且所述第二光阻163的尺寸與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第二顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施方式中，所述第二光阻163與所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162的相對(duì)位置關(guān)系與所述第二顏色光阻和所述第二顏色光阻下覆蓋的兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的相對(duì)位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)。舉例而言，所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161的寬度與所述第二顏色光阻超出所述第三測(cè)量線161對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等，所述第二光阻163超出所述第四測(cè)量線162的寬度與所述第二顏色光阻超出與所述第四測(cè)量線162對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等。
[0024]所述第三測(cè)試圖案170包括第五測(cè)量線171、第六測(cè)量線172及第三光阻173。所述第五測(cè)量線171鄰近所述第四測(cè)量線162設(shè)置，且所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，所述第三光阻173覆蓋所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線，且所述第三光阻173的尺寸與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第三顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施方式中，所述第三光阻173與所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172的相對(duì)位置關(guān)系與所述第三顏色光阻和所述第三顏色光阻下覆蓋的兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的相對(duì)位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)。舉例而言，所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的寬度與所述第三顏色光阻超出所述第五測(cè)量線171對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等，所述第三光阻173超出所述第六測(cè)量線172的寬度與所述第三顏色光阻超出與所述第六測(cè)量線172對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等。
[0025]所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的寬度為第一寬度W1，所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162的寬度分別為第二寬度W2及第三寬度W3，所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的寬度為第四寬度W4。則所述顯示區(qū)域a內(nèi)第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間重疊區(qū)域的寬度為所述第一寬度W1與所述第二寬度W2之和。
[0026]在本實(shí)施方式中，所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)是指所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152分別位于所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的延長(zhǎng)線上。所述第三測(cè)量線161與所述第四測(cè)量線162分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)是指所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162分別位于所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的延長(zhǎng)線上。所述第五測(cè)量線171與所述第六測(cè)量線172分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)是指所述第五測(cè)量線171與所述第六測(cè)量線172分別位于所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的延長(zhǎng)線上。
[0027]所述顯示區(qū)域a內(nèi)所述第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域的寬度為所述第三寬度W3與所述第四寬度W4之和。
[0028]優(yōu)選地，所述第一測(cè)量線151、所述第二測(cè)量線152、所述第三測(cè)量線161、所述第四測(cè)量線162、所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172的寬度為所述顯示區(qū)域a內(nèi)的數(shù)據(jù)線130的寬度的二分之一。此時(shí)，所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的寬度具體為所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的中線的寬度。所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161的寬度為所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161的中線的寬度，所述第二光阻163超出所述第四測(cè)量線162的寬度為所述第二光阻163超出所述第四測(cè)量線162的中線的寬度。所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的寬度為所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的中線的寬度。
[0029]優(yōu)選地，所述第一測(cè)量線151、所述第二測(cè)量線152、所述第三測(cè)量線161、所述第四測(cè)量線162、所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172均為金屬線。優(yōu)選地，所述第一測(cè)量線151、所述第二測(cè)量線152、所述第三測(cè)量線161、所述第四測(cè)量線162、所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172均在所述薄膜晶體管120的源極和漏極時(shí)形成，以簡(jiǎn)化所述薄膜晶體管陣列基板100的制造工藝。
[0030]所述第一顏色光阻、所述第二顏色光阻及所述第三顏色光阻為紅色光阻、藍(lán)色光阻及綠色光阻這三種顏色光阻的任意組合。在本實(shí)施方式中，所述第一光阻151、所述第二光阻163及所述第三光阻173的顏色分別和所述第一顏色光阻、所述第二顏色光阻及所述第三顏色光阻的顏色相同?？梢岳斫獾?，在其他實(shí)施方式中，所述第一光阻151、所述第二光阻163及所述第三光阻173也可以與所述第一顏色光阻、所述第二顏色光阻及所述第三顏色光阻的顏色不相同，也可以設(shè)置為其他的顏色。
[0031]與現(xiàn)有技術(shù)相較，本發(fā)明在薄膜晶體管陣列基板100的邊框區(qū)域b設(shè)置第一測(cè)試圖案150、第二測(cè)試圖案160及第三測(cè)試圖案170。所述第一測(cè)試圖案150、所述第二測(cè)試圖案160及所述第三測(cè)試圖案170分別包括兩條測(cè)量線及光阻，每個(gè)測(cè)試圖案中的兩條測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)的相鄰的兩條數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，每個(gè)測(cè)試圖案的光阻分別與顯示區(qū)域a內(nèi)的第一顏色光阻、第二顏色光阻及第三顏色光阻相對(duì)應(yīng)。從而，所述第一光阻153與所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152之間的關(guān)系與顯示區(qū)域a內(nèi)第一顏色光阻與所述第一顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線130之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)；所述第二光阻163與所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162之間的關(guān)系與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第二顏色光阻與所述第二顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線130之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)；所述第三光阻173與所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172之間的關(guān)系與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第三顏色光阻與所述第二顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線130之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)。由此，通過(guò)測(cè)量所述第一寬度、所述第二寬度、所述第三寬度及所述第四寬度，得到所述第一寬度與所述第二寬度之和。從而將顯示區(qū)域a內(nèi)所述第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間不容易被測(cè)量的重疊區(qū)域的寬度測(cè)量出來(lái)，以及將所述第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的不容易被測(cè)量出來(lái)的重疊區(qū)域的寬度測(cè)量出來(lái)，以便后續(xù)對(duì)相鄰的第一顏色光阻與第二顏色光阻之間的重疊區(qū)域以及第二顏色光阻與第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域進(jìn)行改進(jìn)。
[0032]下面結(jié)合圖1及圖2對(duì)本發(fā)明液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行介紹。請(qǐng)參閱圖3，圖3為本發(fā)明一較佳實(shí)施方式的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。所述液晶顯示裝置10包括薄膜晶體管陣列基板100、液晶層200及濾光基板300。所述薄膜晶體管陣列基板100與所述濾光基板300相對(duì)設(shè)置，所述液晶層200設(shè)置在所述薄膜晶體管陣列基板100及所述濾光基板300之間。所述薄膜晶體管陣列基板100為采用C0A技術(shù)的薄膜晶體管陣列基板，及在本實(shí)施方式中，所述薄膜晶體管陣列基板100中包括由多個(gè)薄膜晶體管120組成的薄膜晶體管陣列及設(shè)置在所述薄膜晶體管陣列上的彩膜。所述彩膜包括多個(gè)彩膜單元，每個(gè)彩膜單元包括第一顏色光阻、第二顏色光阻及第三顏色光阻。
[0033]所述薄膜晶體管陣列基板100包括顯示區(qū)域a及圍繞所述顯示區(qū)域a設(shè)置的邊框區(qū)域b。所述顯示區(qū)域a內(nèi)設(shè)置呈陣列狀分布的多個(gè)薄膜晶體管120及多個(gè)數(shù)據(jù)線130。所述邊框區(qū)域b為所述薄膜晶體管陣列基板100的非顯示區(qū)域，所述邊框區(qū)域b形成第一測(cè)試圖案150、第二測(cè)試圖案160及第三測(cè)試圖案170。所述第一測(cè)試圖案150與所述第二測(cè)試圖案160之間的距離，以及所述第二測(cè)試圖案160與所述第三測(cè)試圖案170之間的距離至少為所述顯示區(qū)域a內(nèi)的相連的兩條數(shù)據(jù)線130之間距離大于所述顯示區(qū)域a內(nèi)相鄰的兩條數(shù)據(jù)線130之間的距離。
[0034]所述第一測(cè)試圖案150包括第一測(cè)量線151、第二測(cè)量線152及第一光阻153。所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻153覆蓋所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152，且所述第一光阻153的尺寸與所述顯示區(qū)域a內(nèi)的第一顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施方式中，所述第一光阻153與所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152的相對(duì)位置關(guān)系與所述第一顏色光阻和所述第一顏色光阻下覆蓋的兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的相對(duì)位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)。舉例而言，所述第一光阻153超出所述第一測(cè)量線151的寬度與所述第一顏色光阻超出與所述第一測(cè)量線151對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等，所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的寬度與所述第一顏色光阻超出與所述第二測(cè)量線152對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等。
[0035]所述第二測(cè)試圖案160包括第三測(cè)量線161、第四測(cè)量線162及第二光阻163。所述第三測(cè)量線161鄰近所述第二測(cè)量線152設(shè)置，所述第三測(cè)量線161與所述第四測(cè)量線162分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，所述第二光阻163覆蓋所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162，且所述第二光阻163的尺寸與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第二顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施方式中，所述第二光阻163與所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162的相對(duì)位置關(guān)系與所述第二顏色光阻和所述第二顏色光阻下覆蓋的兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的相對(duì)位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)。舉例而言，所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161的寬度與所述第二顏色光阻超出所述第三測(cè)量線161對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等，所述第二光阻163超出所述第四測(cè)量線162的寬度與所述第二顏色光阻超出與所述第四測(cè)量線162對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等。
[0036]所述第三測(cè)試圖案170包括第五測(cè)量線171、第六測(cè)量線172及第三光阻173。所述第五測(cè)量線171鄰近所述第四測(cè)量線162設(shè)置，且所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，所述第三光阻173覆蓋所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線，且所述第三光阻173的尺寸與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第三顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施方式中，所述第三光阻173與所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172的相對(duì)位置關(guān)系與所述第三顏色光阻和所述第三顏色光阻下覆蓋的兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的相對(duì)位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)。舉例而言，所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的寬度與所述第三顏色光阻超出所述第五測(cè)量線171對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等，所述第三光阻173超出所述第六測(cè)量線172的寬度與所述第三顏色光阻超出與所述第六測(cè)量線172對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線130的寬度相等。
[0037]所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的寬度為第一寬度W1，所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162的寬度分別為第二寬度W2及第三寬度W3，所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的寬度為第四寬度W4。則所述顯示區(qū)域a內(nèi)第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間重疊區(qū)域的寬度為所述第一寬度W1與所述第二寬度W2之和。
[0038]在本實(shí)施方式中，所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)是指所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152分別位于所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的延長(zhǎng)線上。所述第三測(cè)量線161與所述第四測(cè)量線162分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)是指所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162分別位于所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的延長(zhǎng)線上。所述第五測(cè)量線171與所述第六測(cè)量線172分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)是指所述第五測(cè)量線171與所述第六測(cè)量線172分別位于所述顯示區(qū)域a內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線130的延長(zhǎng)線上。
[0039]所述顯示區(qū)域a內(nèi)所述第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域的寬度為所述第三寬度W3與所述第四寬度W4之和。
[0040]優(yōu)選地，所述第一測(cè)量線151、所述第二測(cè)量線152、所述第三測(cè)量線161、所述第四測(cè)量線162、所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172的寬度為所述顯示區(qū)域a內(nèi)的數(shù)據(jù)線130的寬度的二分之一。此時(shí)，所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的寬度具體為所述第一光阻153超出所述第二測(cè)量線152的中線的寬度。所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161的寬度為所述第二光阻163超出所述第三測(cè)量線161的中線的寬度，所述第二光阻163超出所述第四測(cè)量線162的寬度為所述第二光阻163超出所述第四測(cè)量線162的中線的寬度。所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的寬度為所述第三光阻173超出所述第五測(cè)量線171的中線的寬度。
[0041]優(yōu)選地，所述第一測(cè)量線151、所述第二測(cè)量線152、所述第三測(cè)量線161、所述第四測(cè)量線162、所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172均為金屬線。優(yōu)選地，所述第一測(cè)量線151、所述第二測(cè)量線152、所述第三測(cè)量線161、所述第四測(cè)量線162、所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172均在所述薄膜晶體管120的源極和漏極時(shí)形成，以簡(jiǎn)化所述薄膜晶體管陣列基板100的制造工藝。
[0042]所述第一顏色光阻、所述第二顏色光阻及所述第三顏色光阻為紅色光阻、藍(lán)色光阻及綠色光阻這三種顏色光阻的任意組合。在本實(shí)施方式中，所述第一光阻151、所述第二光阻163及所述第三光阻173的顏色分別和所述第一顏色光阻、所述第二顏色光阻及所述第三顏色光阻的顏色相同?？梢岳斫獾?，在其他實(shí)施方式中，所述第一光阻151、所述第二光阻163及所述第三光阻173也可以與所述第一顏色光阻、所述第二顏色光阻及所述第三顏色光阻的顏色不相同，也可以設(shè)置為其他的顏色。
[0043]與現(xiàn)有技術(shù)相較，本發(fā)明的液晶顯示裝置10在薄膜晶體管陣列基板100的邊框區(qū)域b設(shè)置第一測(cè)試圖案150、第二測(cè)試圖案160及第三測(cè)試圖案170。所述第一測(cè)試圖案150、所述第二測(cè)試圖案160及所述第三測(cè)試圖案170分別包括兩條測(cè)量線及光阻，每個(gè)測(cè)試圖案中的兩條測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域a內(nèi)的相鄰的兩條數(shù)據(jù)線130相對(duì)應(yīng)，每個(gè)測(cè)試圖案的光阻分別與顯示區(qū)域a內(nèi)的第一顏色光阻、第二顏色光阻及第三顏色光阻相對(duì)應(yīng)。從而，所述第一光阻153與所述第一測(cè)量線151及所述第二測(cè)量線152之間的關(guān)系與顯示區(qū)域a內(nèi)第一顏色光阻與所述第一顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線130之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)；所述第二光阻163與所述第三測(cè)量線161及所述第四測(cè)量線162之間的關(guān)系與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第二顏色光阻與所述第二顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線130之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)；所述第三光阻173與所述第五測(cè)量線171及所述第六測(cè)量線172之間的關(guān)系與所述顯示區(qū)域a內(nèi)第三顏色光阻與所述第二顏色光阻覆蓋的兩條數(shù)據(jù)線130之間的關(guān)系相對(duì)應(yīng)。由此，通過(guò)測(cè)量所述第一寬度、所述第二寬度、所述第三寬度及所述第四寬度，得到所述第一寬度與所述第二寬度之和。從而將顯示區(qū)域a內(nèi)所述第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間不容易被測(cè)量的重疊區(qū)域的寬度測(cè)量出來(lái)，以及將所述第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的不容易被測(cè)量出來(lái)的重疊區(qū)域的寬度測(cè)量出來(lái)，以便后續(xù)對(duì)相鄰的第一顏色光阻與第二顏色光阻之間的重疊區(qū)域以及第二顏色光阻與第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域進(jìn)行改進(jìn)。
[0044]以上所揭露的僅為本發(fā)明一種較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例的全部或部分流程，并依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬于發(fā)明所涵蓋的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述薄膜晶體管陣列基板包括顯示區(qū)域及圍繞所述顯示區(qū)域設(shè)置的邊框區(qū)域，所述顯示區(qū)域內(nèi)設(shè)置呈陣列狀分布的多個(gè)薄膜晶體管及多個(gè)數(shù)據(jù)線，在所述邊框區(qū)域形成第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案，所述第一測(cè)試圖案與所述第二測(cè)試圖案之間的距離以及所述第二測(cè)試圖案與所述第三測(cè)試圖案之間的距離大于所述顯示區(qū)域內(nèi)相鄰的兩條數(shù)據(jù)線之間的距離，所述第一測(cè)試圖案包括第一測(cè)量線、第二測(cè)量線及第一光阻，所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻覆蓋所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線，且所述第一光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第二測(cè)試圖案包括第三測(cè)量線、第四測(cè)量線及第二光阻，所述第三測(cè)量線鄰近所述第二測(cè)量線設(shè)置，所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第二光阻覆蓋所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線，且所述第二光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第三測(cè)試圖案包括第五測(cè)量線、第六測(cè)量線及第三光阻，所述第五測(cè)量線鄰近所述第四測(cè)量線設(shè)置，且所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第三光阻覆蓋所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線，且所述第三光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第三顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻超出所述二測(cè)量線的寬度為第一寬度，所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線的寬度分別為第二寬度及第三寬度，所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為第四寬度，則所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間重疊區(qū)域的寬度為所述第一寬度與所述第二寬度之和。
2.如權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域的寬度為所述第三寬度與所述第四寬度之和。
3.如權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線的寬度為所述顯示區(qū)域內(nèi)數(shù)據(jù)線的寬度的二分之一。
4.如權(quán)利要求3所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的寬度為所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的中線的寬度；所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的中線的寬度。
5.如權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線在形成所述薄膜晶體管的源極及漏極時(shí)形成。
6.一種液晶顯示裝置，所述液晶顯示裝置包括薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述薄膜晶體管陣列基板包括顯示區(qū)域及圍繞所述顯示區(qū)域設(shè)置的邊框區(qū)域，所述顯示區(qū)域內(nèi)設(shè)置呈陣列狀分布的多個(gè)薄膜晶體管及多個(gè)數(shù)據(jù)線，在所述邊框區(qū)域形成第一測(cè)試圖案、第二測(cè)試圖案及第三測(cè)試圖案，所述第一測(cè)試圖案與所述第二測(cè)試圖案之間的距離以及所述第二測(cè)試圖案與所述第三測(cè)試圖案之間的距離大于所述顯示區(qū)域內(nèi)相鄰的兩條數(shù)據(jù)線之間的距離，所述第一測(cè)試圖案包括第一測(cè)量線、第二測(cè)量線及第一光阻，所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻覆蓋所述第一測(cè)量線及所述第二測(cè)量線，且所述第一光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第二測(cè)試圖案包括第三測(cè)量線、第四測(cè)量線及第二光阻，所述第三測(cè)量線鄰近所述第二測(cè)量線設(shè)置，所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第二光阻覆蓋所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線，且所述第二光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)；所述第三測(cè)試圖案包括第五測(cè)量線、第六測(cè)量線及第三光阻，所述第五測(cè)量線鄰近所述第四測(cè)量線設(shè)置，且所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線分別與所述顯示區(qū)域內(nèi)兩條相鄰的數(shù)據(jù)線相對(duì)應(yīng)，所述第三光阻覆蓋所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線，且所述第三光阻的尺寸與所述顯示區(qū)域內(nèi)第三顏色光阻的尺寸相對(duì)應(yīng)，所述第一光阻超出所述二測(cè)量線的寬度為第一寬度，所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線及所述第四測(cè)量線的寬度分別為第二寬度及第三寬度，所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為第四寬度，則所述顯示區(qū)域內(nèi)第一顏色光阻與所述第二顏色光阻之間重疊區(qū)域的寬度為所述第一寬度與所述第二寬度之和。
7.如權(quán)利要求6所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述顯示區(qū)域內(nèi)第二顏色光阻與所述第三顏色光阻之間的重疊區(qū)域的寬度為所述第三寬度與所述第四寬度之和。
8.如權(quán)利要求6所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線的寬度為所述顯示區(qū)域內(nèi)數(shù)據(jù)線的寬度的二分之一。
9.如權(quán)利要求8所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的寬度為所述第一光阻超出所述第二測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第三測(cè)量線的中線的寬度；所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的寬度為所述第二光阻超出所述第四測(cè)量線的中線的寬度；所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的寬度為所述第三光阻超出所述第五測(cè)量線的中線的寬度。
10.如權(quán)利要求6所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述第一測(cè)量線、所述第二測(cè)量線、所述第三測(cè)量線、所述第四測(cè)量線、所述第五測(cè)量線及所述第六測(cè)量線在形成所述薄膜晶體管的源極及漏極時(shí)形成。
【文檔編號(hào)】H01L27/12GK104377209SQ201410682843
【公開日】2015年2月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月24日
【發(fā)明者】馬佳星 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司