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用納米/微球光刻制造納米/微線太陽能電池的制作方法與工藝

文檔序號:11972102閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
提供用于制造基于納米線/微線的太陽能電池的技術(shù)。在一個方面中,提供用于制造太陽能電池的方法。該方法包括以下步驟。提供摻雜襯底。在該襯底上沉積單層球體。該球體包括納米球、微球或其組合。修整該球體以在單層中的單獨球體之間引入空間。修整后的球體被用作掩模以對該襯底中的接線進行圖案化。該接線包括納米線、微線或其組合。在圖案化的接線上形成摻雜發(fā)射極層。在該發(fā)射極層之上沉積頂部接觸電極。在該襯底的與該接線相反的一側(cè)上沉積底部接觸電極。

技術(shù)研發(fā)人員:W·格拉哈姆;S·古哈;O·古納萬;G·S·圖勒維斯基;王克嘉;張郢
受保護的技術(shù)使用者:國際商業(yè)機器公司
文檔號碼:201410168382
技術(shù)研發(fā)日:2010.06.01
技術(shù)公布日:2017.04.12

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