被研磨物保持件以及用于被研磨物保持件的層疊板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種改善被研磨物保持件的彎曲度、板厚精度，并且抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生，從而抗磨損性良好，更有利于經(jīng)濟效率的被研磨物保持件。本發(fā)明的被研磨物保持件是在最外層具有第一樹脂層的被研磨物保持件，該第一樹脂層通過在第一纖維基材浸漬第一樹脂組成物并對其加熱加壓而構(gòu)成，上述第一纖維基材為玻璃纖維基材，在除了上述第一纖維基材之外的上述第一樹脂層中，以50質(zhì)量％以上的比例包含來自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構(gòu)造。
【專利說明】被研磨物保持件以及用于被研磨物保持件的層疊板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及被研磨物保持件以及用于被研磨物保持件的層疊板。
[0002] 本申請基于2012年3月30日在日本申請的特愿2012-078719號，以及2012年12 月10日在日本申請的特愿2012-269289號，主張其優(yōu)先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。
【背景技術(shù)】
[0003] 在對硅片、硬盤等被研磨物進行研磨時，用于被研磨物保持件的層疊板，使用將在 纖維基材浸漬環(huán)氧樹脂等熱固化性樹脂并使其干燥而得到的預浸料（prepreg)重疊規(guī)定 數(shù)量而一體加熱加壓成型的層疊板。
[0004] 層疊板如以下那樣朝被研磨物保持件加工。從規(guī)定尺寸的層疊板切出規(guī)定尺寸的 圓板，在該層疊板開設一個到多個圓形的孔。另外，在圓板的周圍形成齒輪的齒。在使用像 這樣制作的被研磨物保持件進行研磨時，將上述保持件設置于研磨機，在其圓形的孔保持 被研磨物。使驅(qū)動齒輪的齒與保持件的周圍的齒嚙合，從而使保持件驅(qū)動。伴隨于此，保持 于圓形的孔的被研磨物也被驅(qū)動，從而被研磨物的表面通過與其抵接的研磨件而被研磨。
[0005] 被研磨物保持件所要求的特性有抗磨損性、板厚精度、彎曲特性、以及尺寸穩(wěn)定性 等。另外，近年，伴隨著被研磨物所要求的品質(zhì)、性能的提高，尋求能夠抑制被研磨物的擦傷 (研磨傷）的產(chǎn)生的被研磨物保持件。
[0006] 為了改善這些，作為形成不會使被研磨物產(chǎn)生擦傷的被研磨物保持件的材料，正 在研究芳族聚酰胺類纖維（例如，參照專利文獻1。），但要求相對于被研磨物保持件的抗磨 損性的進一步的提高、伴隨被研磨物亦即基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的彎曲的 抑制、板厚精度的提1?。
[0007] 為了改善上述那樣的點，對將在芳族聚酰胺纖維、PBO纖維、全芳香族聚酯纖維以 及高強度聚乙烯纖維等有機纖維基材浸漬環(huán)氧樹脂等的熱固化性樹脂的組成物而成的預 浸料作為表層，將在玻璃纖維基材浸漬環(huán)氧樹脂等熱固化性樹脂的組成物而成的預浸料作 為中間層，并將這些預浸料層疊加熱加壓而得到的被研磨物保持件（例如，參照專利文獻 2。）等進行了研究。然而，存在因用于表層的有機纖維基材、與用于中間層的玻璃纖維材 的線膨脹系數(shù)的不同等而引起的變形的問題，因此在伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物 保持件的彎曲的抑制、板厚精度的提高這方面來看，存在改善的余地。另外，芳族聚酰胺纖 維、PBO纖維、全芳香族聚酯纖維以及高強度聚乙烯纖維等有機纖維，與玻璃纖維相比，價格 高，因此考慮到經(jīng)濟效率，期望不使用有機纖維就兼得被研磨物保持件的彎曲的抑制、板厚 精度的提高、以及被研磨物的擦傷產(chǎn)生的抑制。
[0008] 專利文獻1:日本特開平11-309667號公報
[0009] 專利文獻2:日本特開2009-61531號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0010] 本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于，提供一種被研磨物保持件，作為用 于表層的纖維基材使用與用于中間層的纖維基材相同的玻璃纖維基材，從而對伴隨基板的 薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的彎曲、板厚精度進行改善，并且抑制被研磨物的擦傷的 產(chǎn)生，抗磨損性良好，更有利于經(jīng)濟效率。
[0011] 本發(fā)明能夠如以下所示。
[0012] 本發(fā)明的被研磨物保持件在最外層具有第一樹脂層的被研磨物保持件，該第一樹 脂層通過在第一纖維基材浸漬第一樹脂組成物并對其加熱加壓而構(gòu)成，上述被研磨物保持 件的特征在于，上述第一纖維基材為玻璃纖維基材，在除了上述第一纖維基材之外的上述 第一樹脂層中，以50質(zhì)量％以上的比例包含來自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構(gòu)造。
[0013] 本發(fā)明的被研磨物保持件，能夠在上述第一樹脂層中，以25質(zhì)量％以上、且60質(zhì) 量％以下的比例包含上述第一纖維基材。
[0014] 本發(fā)明的被研磨物保持件，上述第一纖維基材為單位面積質(zhì)量在30g/m2以上、且 150g/m 2以下的玻璃纖維織物。
[0015] 本發(fā)明的被研磨物保持件，上述第一樹脂組成物包含選自酚醛清漆型環(huán)氧樹脂以 及酚醛清漆型苯酚樹脂中的一種以上的樹脂。
[0016] 本發(fā)明的被研磨物保持件，對于上述第一樹脂組成物而言，在100質(zhì)量份的上述 組成物中以40質(zhì)量份以上、且80質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型環(huán)氧樹脂。
[0017] 本發(fā)明的被研磨物保持件，對于上述第一樹脂組成物而言，在100質(zhì)量份的上述 組成物中以20質(zhì)量份以上、且40質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型苯酚樹脂。
[0018] 本發(fā)明的被研磨物保持件，對于上述第一樹脂組成物而言，在100質(zhì)量份的上述 組成物中以5質(zhì)量份以上、且40質(zhì)量份以下的比例包含雙酚A型環(huán)氧樹脂。
[0019] 本發(fā)明的被研磨物保持件，在內(nèi)層具有一層或者兩層以上的第二樹脂層，該第二 樹脂層通過在第二纖維基材浸漬第二樹脂組成物并對其加熱加壓而構(gòu)成，上述第二纖維基 材為玻璃纖維基材。
[0020] 本發(fā)明的被研磨物保持件，上述第二纖維基材為單位面積質(zhì)量在100g/m2以上、且 220g/m 2以下的玻璃纖維織物。
[0021] 本發(fā)明的層疊板的特征在于，使用于上述的被研磨物保持件。
[0022] 根據(jù)本發(fā)明，能夠得到對伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的彎曲、板 厚精度進行改善，并且抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生，抗磨損性良好，還有利于經(jīng)濟效率的被 研磨物保持件。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023] 圖1是表示本發(fā)明的被研磨物保持件的實施方式的俯視圖。
[0024] 圖2是表示用于本發(fā)明的被研磨物保持件的層疊板的實施方式的剖視圖。
【具體實施方式】
[0025] 以下，利用附圖，對本發(fā)明的實施方式進行說明。此外，在全部的附圖中，對相同的 構(gòu)成要素標注相同的附圖標記，并適當?shù)厥÷哉f明。
[0026] 圖1示出了表示本發(fā)明的被研磨物保持件的實施方式的俯視圖，圖2示出了表示 用于本發(fā)明的被研磨物保持件的層疊板的實施方式的剖視圖。
[0027] 本發(fā)明的被研磨物保持件1為具有例如如圖1的俯視圖所示那樣的形狀的平板， 這樣的被研磨物保持件1例如從圖2所示那樣的規(guī)定尺寸的層疊板2切出規(guī)定尺寸的圓 板，并在切出的圓板上開設一個到多個圓形的孔11，并且在圓板的周圍形成齒輪的齒12， 從而能夠制成。在使用像這樣制作的被研磨物保持件1進行被研磨物的研磨時，將被研磨 物保持件1設置于研磨機，并在被研磨物保持件1的圓形的孔11保持被研磨物，使驅(qū)動齒 輪的齒與被研磨物保持件1的周圍的齒輪的齒12嚙合，使被研磨物保持件1與被保持于被 研磨物保持件1的圓形的孔11的被研磨物驅(qū)動，從而能夠進行被研磨物的研磨。
[0028] 本發(fā)明的被研磨物保持件1以及用于被研磨物保持件1的層疊板2是在最外層具 有第一樹脂層21的被研磨物保持件1，該第一樹脂層21通過在第一纖維基材211浸漬第 一樹脂組成物，并對其加熱加壓而構(gòu)成，上述被研磨物保持件1的特征在于，第一纖維基材 是玻璃纖維基材，在除了第一纖維基材之外的第一樹脂層中，以50質(zhì)量％以上的比例包含 來自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構(gòu)造。由此，能夠?qū)Π殡S基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨 物保持件的彎曲、板厚精度進行改善，并且抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生，從而能夠得到抗磨 損性良好，經(jīng)濟效率更有利的被研磨物保持件。在除了第一纖維基材之外的第一樹脂層中， 優(yōu)選以60質(zhì)量％以上包含來自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構(gòu)造，更優(yōu)選以70質(zhì)量％以 上包含來自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構(gòu)造。由此，更顯著地發(fā)揮上述的效果。其中，作 為具有酚醛清漆骨架的樹脂，例如可舉出：苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，甲酚酚醛清漆型環(huán)氧 樹脂等酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，苯酚酚醛清漆樹脂，甲酚酚醛清漆樹脂，三嗪酚醛清漆樹脂， 腰果改性酚醛清漆樹脂，三聚氰胺樹脂，苯氧改性酚醛清漆樹脂，二甲苯改性酚醛清漆樹 月旨，均三甲苯改性酚醛清漆樹脂等酚醛清漆型苯酚樹脂等。另外，在除了第一纖維基材之外 的第一樹脂層中，以規(guī)定的質(zhì)量％的比例，包含來自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構(gòu)造意 味著，作為第一樹脂層中的第一樹脂組成物而包含規(guī)定量的具有上述的酚醛清漆骨架的樹 月旨，從而在除了第一纖維基材之外的第一樹脂層中，提高抗磨損性。
[0029] 首先，在本發(fā)明的被研磨物保持件1以及用于被研磨物保持件1的層疊板2中，對 構(gòu)成最外層的第一樹脂層21詳細地進行說明。第一樹脂層21是通過在第一纖維基材211 浸漬第一樹脂組成物，并對其進行加熱加壓而構(gòu)成的。
[0030] 作為用于第一樹脂層21的第一纖維基材211，優(yōu)選使用單位面積質(zhì)量在30g/m2以 上、且150g/m2以下的玻璃纖維織物，更優(yōu)選使用單位面積質(zhì)量在48g/m2以上、且105g/m 2 以下的玻璃纖維織物。由此，抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生，從而能夠得到提高抗磨損性的效 果。另外，作為第一纖維基材211，優(yōu)選使用纖絲根數(shù)在100根以上、且300根以下的玻璃 纖維織物，更優(yōu)選使用纖絲根數(shù)在150根以上、且250根以下的玻璃纖維織物。由此，抑制 被研磨物的擦傷的產(chǎn)生，從而能夠提高抗磨損性的效果。并且，作為第一纖維基材211，優(yōu) 選使用厚度在50 ym以上、且150 ym以下的玻璃纖維織物，更優(yōu)選使用厚度在80 μ m以上、 且120 μ m以下的玻璃纖維織物。由此，抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生，從而能夠得到提高抗 磨損性的效果。作為這樣的玻璃纖維織物，例如可舉出：IPC規(guī)格的#1501、#1504、#2117、 #2116、#1116、#3313、#2319、#1280、#1080、#1078、#1067，#106 型號。這些玻璃纖維織物也 可以是實施了開纖加工、扁平加工的部件。
[0031] 作為構(gòu)成用于第一樹脂層21的第一纖維基材211的玻璃成分，雖沒有特別地限 定，但可舉出：例如，E玻璃、NE玻璃、C玻璃、D玻璃、S玻璃、T玻璃、Q玻璃、AR玻璃等。這 些之中，從抗磨損性的觀點考慮，優(yōu)選T玻璃，從生產(chǎn)率、經(jīng)濟效率的觀點考慮，優(yōu)選E玻璃。
[0032] 本發(fā)明的被研磨物保持件1，優(yōu)選在第一樹脂層21中，以25質(zhì)量％以上、且60質(zhì) 量％以下的比例，包含第一纖維基材211，更優(yōu)選以45質(zhì)量％以上、且60質(zhì)量％以下的比 例，包含第一纖維基材211。由此，能夠提高改善伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持 件的彎曲、板厚精度的效果。另外，若在上述范圍內(nèi)，能夠得到抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生 的效果。另外，從得到抑制研磨機的響聲的效果的觀點考慮，優(yōu)選在第一樹脂層21中，以25 質(zhì)量％以上、且50質(zhì)量％以下的比例包含第一纖維基材211，更優(yōu)選以35質(zhì)量％以上、且 50質(zhì)量％以下的比例包含第一纖維基材211。
[0033] 作為浸漬于第一纖維基材211的第一樹脂組成物，優(yōu)選尿素樹脂、三聚氰胺樹脂、 苯酚樹脂、環(huán)氧樹脂、不飽和聚酯樹脂、醇酸樹脂、聚氨酯樹脂等熱固化性樹脂，特別優(yōu)選環(huán) 氧樹脂。
[0034] 作為環(huán)氧樹脂，只要是分子內(nèi)具有兩個以上的環(huán)氧基的環(huán)氧樹脂即可，例如可舉 出：雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚E型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、雙酚 Z型環(huán)氧樹脂、雙酚P型環(huán)氧樹脂、雙酚M型環(huán)氧樹脂等雙酚型環(huán)氧樹脂，苯酚酚醛清漆型 環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂等酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、苯二甲基型 環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯基芳烷基型環(huán)氧樹脂等芳基亞烷基型環(huán)氧樹脂，萘型環(huán)氧樹脂、蒽型環(huán)氧樹 月旨、苯氧基型環(huán)氧樹脂、雙環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂、降冰片烷型環(huán)氧樹脂、金剛烷型環(huán)氧樹脂、 芴型環(huán)氧樹脂等。
[0035] 作為環(huán)氧樹脂，能夠單獨使用這些中的一種，也能夠?qū)⒕哂胁煌亓科骄肿恿?的兩種以上并用，或能夠?qū)⒁环N或者兩種以上的環(huán)氧樹脂與它們的預聚物并用。從抗磨損 性的觀點考慮，更優(yōu)選酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，特別優(yōu)選甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂。對于酚醛 清漆型環(huán)氧樹脂的含量，雖沒有特別地限定，但更優(yōu)選在100質(zhì)量份的第一樹脂組成物中 以40質(zhì)量份以上、且80質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，特別優(yōu)選以40質(zhì)量 份以上、且60質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型環(huán)氧樹脂。由此，能夠提高第一樹脂層21 的表面硬度，從而能夠得到提高抗磨損性的效果。另外，通過延遲樹脂的表皮層的磨滅，能 夠延遲玻璃纖維露出至研磨面所需的時間，由此，能夠得到抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生的 效果。
[0036] 另外，從層疊板的彎曲的觀點考慮，更優(yōu)選雙酚型環(huán)氧樹脂，特別優(yōu)選雙酚A型環(huán) 氧樹脂。對于雙酚A型環(huán)氧樹脂的含量，雖沒有特別限定，但更優(yōu)選在100質(zhì)量份的第一樹 脂組成物中以5質(zhì)量份以上、且40質(zhì)量份以下的比例包含雙酚A型環(huán)氧樹脂，特別優(yōu)選以 10質(zhì)量份以上、且30質(zhì)量份以下的比例包含雙酚A型環(huán)氧樹脂。由此，抑制被研磨物保持 件的彎曲，從而能夠提高被研磨物的平滑性。
[0037] 在作為浸漬于第一纖維基材211的第一樹脂組成物而使用環(huán)氧樹脂的情況下，能 夠含有通常使用的一般的環(huán)氧樹脂的固化劑、固化促進劑。作為能夠使用的固化劑能夠使 用公知的固化劑，例如，可舉出：苯酚酚醛清漆樹脂、甲酚酚醛清漆樹脂等酚醛清漆型苯酚 樹脂、1，1，1-三羥基苯基乙烷等多價苯酚類、芳香胺、脂肪胺等胺類固化劑、酸酐類、雙氰 胺、酰肼化合物等。
[0038] 作為固化劑，能夠單獨使用這些之中的一種，也能夠?qū)煞N以上并用。從抗磨損性 的觀點考慮，更優(yōu)選酚醛清漆型苯酚樹脂，特別優(yōu)選苯酚酚醛清漆樹脂。對于酚醛清漆型苯 酚樹脂的含量，雖沒有特別地限定，但更優(yōu)選在100質(zhì)量份的第一樹脂組成物中以20質(zhì)量 份以上、且40質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型苯酚樹脂，特別優(yōu)選以25質(zhì)量份以上、且 35質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型苯酚樹脂。由此，能夠提高第一樹脂層21的表面硬 度，從而能夠得到提高抗磨損性的效果。另外，通過延遲樹脂的表皮層的磨滅，能夠延遲玻 璃纖維露出至研磨面所需的時間，由此，能夠得到抑制被研磨物的擦傷的產(chǎn)生的效果。
[0039] 在浸漬于第一纖維基材211的第一樹脂組成物中，也可以包含無機填充材料。作 為能夠使用的無機填充材料沒有特別地限定，例如，可舉出：氧化鋁、高嶺土、二氧化硅、氧 化鈦、氫氧化鎂、氫氧化鋁、氧化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、滑石、云母等。這些無機填充材料可以 單獨使用，也可以將兩種以上并用。通過使用無機填充材料，能夠提高第一樹脂層的強度。 另外，通過使用無機填充材料，能夠減小第一樹脂層的線膨脹系數(shù)，因此通過適當?shù)卣{(diào)整無 機填充材料的配合量，能夠使第一樹脂層的線膨脹系數(shù)、與后述的第二樹脂層的線膨脹系 數(shù)更加接近，從而能夠抑制伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的彎曲、提高板厚 精度。
[0040] 接下來，在本發(fā)明的被研磨物保持件1以及用于被研磨物保持件1的層疊板2中， 對構(gòu)成內(nèi)層的第二樹脂層22詳細地進行說明。第二樹脂層22是在第二纖維基材221浸漬 第二樹脂組成物，并對其進行加熱加壓而構(gòu)成的，第二纖維基材是玻璃纖維基材。
[0041] 作為用于第二樹脂層22的第二纖維基材221，優(yōu)選使用單位面積質(zhì)量在100g/m2 以上、且220g/m2以下的玻璃纖維織物，更優(yōu)選使用單位面積質(zhì)量在140g/m2以上、且220g/ m2以下的玻璃纖維織物。由此，能夠得到抑制伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件 的彎曲、提高板厚精度的效果。另外，作為第二纖維基材221，優(yōu)選使用纖絲根數(shù)在300根 以上、且500根以下的玻璃纖維織物，更優(yōu)選使用纖絲根數(shù)在350根以上、且450根以下的 玻璃纖維織物。由此，能夠得到抑制伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的彎曲、提 高板厚精度的效果。并且，作為第二纖維基材221，優(yōu)選使用厚度在100 μ m以上、且250 μ m 以下的玻璃纖維織物，更優(yōu)選使用厚度在180 μ m以上、且200 μ m以下的玻璃纖維織物。由 此，能夠得到抑制伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的彎曲、提高板厚精度的效 果。作為這樣的玻璃纖維織物，例如可舉出：IPC規(guī)格的#1116、#2116、#2117、#1504、#1501、 #7628、#7629型號。這些玻璃纖維織物也可以是實施了開纖加工、扁平加工的部件。
[0042] 作為構(gòu)成用于第二樹脂層22的第二纖維基材221的玻璃成分，雖沒有特別地限 定，但例如可舉出：E玻璃、NE玻璃、AR玻璃、C玻璃、D玻璃、S玻璃、T玻璃、Q玻璃等。這 些之中，從生產(chǎn)率、經(jīng)濟效率的觀點考慮，優(yōu)選E玻璃。
[0043] 本發(fā)明的被研磨物保持件1，優(yōu)選在第二樹脂層22中，以50質(zhì)量％以上、且70質(zhì) 量％以下的比例包含第二纖維基材221，更優(yōu)選以60質(zhì)量％以上、且70質(zhì)量％以下的比例 包含第二纖維基材221。由此，能夠提高改善伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的 彎曲、板厚精度的效果。
[0044] 作為浸漬于第二纖維基材221的第二樹脂組成物，能夠使用與上述的第一樹脂組 成物相同的物質(zhì)。從彎曲度、板厚精度的觀點考慮，通過適當?shù)卣{(diào)整無機填充材料的配合 量，能夠使上述的第一樹脂層的線膨脹系數(shù)、與第二樹脂層的線膨脹系數(shù)更加接近，從而能 夠抑制伴隨基板的薄壁化而產(chǎn)生的被研磨物保持件的彎曲、提高板厚精度。
[0045] 接下來，對用于本發(fā)明的被研磨物保持件1的層疊板2的制造方法進行說明。將第 一樹脂組成物溶解于溶劑，調(diào)制固體部分的質(zhì)量％為30?80左右、優(yōu)選為50?70質(zhì)量％ 的第一樹脂組成物清漆（varnish)。將其浸漬于第一纖維基材211后干燥而得到第一預浸 料。相同地，將第二樹脂組成物溶解于溶劑，調(diào)制固體部分的質(zhì)量％為30?80左右，優(yōu)選 為50?70質(zhì)量％的第二樹脂組成物清漆。并將其浸漬于第二纖維基材221后干燥而得到 第二預浸料。此外，作為溶劑，可舉出：甲基乙基酮、甲苯/乙二醇乙醚、甲基乙基酮/甲苯、 丙二醇單甲醚、二甲基甲酰胺、環(huán)己酮等。其后，將第一預浸料配置于最外層（表面層），將 第二預浸料配置于內(nèi)層（中間層），將預浸料重疊規(guī)定張數(shù)，并夾入到由離型膜覆蓋的鏡面 板，在加壓加熱板之間實施加熱加壓成型，從而能夠得到層疊板2。對于加熱加壓成型的條 件，雖沒有特別地限定，但通常在溫度160?200°C、壓力5?50MPa下，進行90?150分鐘 左右。
[0046] 另外，對于預浸料的使用張數(shù)，根據(jù)硅片、硬盤等被研磨物的種類、研磨條件而調(diào) 整。另外，對于被研磨物保持件1以及用于被研磨物保持件1的層疊板2的厚度，根據(jù)使用 它的被研磨物的種類、研磨條件而適當?shù)剡x擇，通常為〇· 3?2. Omm左右，優(yōu)選0· 4?I. Omm 左右。
[0047] 實施例
[0048] 接下來，通過實施例更詳細地對本發(fā)明進行說明，本發(fā)明不被這些例子限定。
[0049] 作為各種原料，使用了下述的原料。
[0050] ⑴環(huán)氧樹脂
[0051] 甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂I :DIC株式會社制，EPICLON N-690 (軟化點90°C，環(huán)氧 當量 225g/eq)
[0052] 雙酚A型環(huán)氧樹脂1 :三菱化學株式會社制，EPIC0AT 1001 (軟化點64°C，環(huán)氧當 量 475g/eq)
[0053] (2)固化劑
[0054] 苯酚酚醛清漆樹脂1 :住友電木株式會社制，PR-51470 (軟化點107°C，羥基當量 105g/eq)
[0055] 雙氰胺：日本碳化物工業(yè)株式會社制，DDA
[0056] (3)固化促進劑
[0057] 2-苯基-4-甲基咪唑（2P4MZ):四國化成工業(yè)株式會社制
[0058] (4)玻璃纖維織物
[0059] 玻璃纖維織物I (GCl):尤尼吉可纖維玻璃株式會社制，ElOT (E玻璃制，單位面積 質(zhì)量106g/m2,纖絲直徑約5 μ m，纖絲根數(shù)約400根，厚度90 μ m)
[0060] 玻璃纖維織物2(GC2):尤尼吉可纖維玻璃株式會社制，E18S(E玻璃制，單位面積 質(zhì)量210g/m 2,纖絲直徑約9 μ m，纖絲根數(shù)約400根，厚度180 μ m)
[0061] 玻璃纖維織物3(GC3):尤尼吉可纖維玻璃株式會社制，E06B(E玻璃制，單位面積 質(zhì)量48g/m 2,纖絲直徑約5 μ m，纖絲根數(shù)約200根，厚度55 μ m)
[0062] 芳族聚酰胺纖維織物4 (AC4):旭化成電子材料株式會社制，芳族聚酰胺纖維織物 (TECHN0RA制，單位面積質(zhì)量60. 6g/m2,纖絲直徑18 μ m，纖絲根數(shù)65根，厚度95 μ m)
[0063] 實施例1
[0064] 第一以及第二纖維基材用的樹脂組成物清漆的調(diào)制
[0065] 在由50質(zhì)量份的甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂1、20質(zhì)量份的雙酚A型環(huán)氧樹脂1、30 質(zhì)量份的苯酚酚醛清漆樹脂1、以及〇. 1質(zhì)量份的2P4MZ構(gòu)成的混合物，加入作為溶劑的甲 基乙基酮，而調(diào)制成固體部分的質(zhì)量％為55的樹脂組成物A的清漆。
[0066] 第一預浸料的制成
[0067] 在玻璃纖維織物1浸漬樹脂組成物A的清漆后干燥，制成樹脂組成物量為40質(zhì) 量％、玻璃纖維織物量為60質(zhì)量％的預浸料1A40 (GC1/樹脂組成物A/樹脂組成物量為40 質(zhì)量％的意思）。
[0068] 第二預浸料的制成
[0069] 在玻璃纖維織物2浸漬樹脂組成物A的清漆后干燥，制成樹脂組成物量為41質(zhì) 量％，玻璃纖維織物量為59質(zhì)量％的預浸料2A41 (GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量為41 質(zhì)量％的意思）。
[0070] 被研磨物保持件用層疊板的制成
[0071] 將兩張預浸料1A40配置于最外層（表面層），將三張預浸料2A41配置于內(nèi)層（中 間層）并重疊，夾入由離型膜覆蓋的鏡面板，在加壓加熱板之間實施加熱加壓成型，從而 制成縱1250mm、橫1250mm，厚度0· 8mm的層疊板。對于加熱加壓成型的條件，在加熱溫度 180°C、加壓壓力40MPa、加壓時間120分鐘下進行。
[0072] 被研磨物保持件的制成
[0073] 使用雕刻機（router machine)，從得到的被研磨物保持件用層疊板，在外形加工 齒輪用的齒而使連結(jié)齒輪的齒的凸部的線的外形尺寸為tp515mm,從而制成保持被研磨 物的孔的內(nèi)徑尺寸為（f)200mm的被研磨物保持件。
[0074] 實施例2?14、比較例1、4
[0075] 以表1所示的組成進行配合，作為第一以及第二纖維基材用的樹脂組成物的清 漆，分別調(diào)整樹脂組成物A?G的清漆。之后，在作為第一纖維基材的GCl?GC3,以表1所 示的組合且以成為表1所示的GC量的方式浸漬樹脂組成物的清漆之后，進行干燥，作為配 置于最外層的預浸料而制作預浸料1B40 (GC1/樹脂組成物B/樹脂組成物量為40質(zhì)量％的 意思，以下僅樹脂組成物種類不同）、1C40、1D40、1E40、1F40、1G40、1A50 (GC1/樹脂組成物 A/樹脂組成物量為50質(zhì)量％的意思，以下僅樹脂組成物種類不同）、1B50、1C50、2A41 (GC2/ 樹脂組成物A/樹脂組成物量為41質(zhì)量％的意思）、3A74 (GC3/樹脂組成物A/樹脂組成物 量為74質(zhì)量％的意思，以下僅樹脂組成物種類不同）、3B74、3C74、3D74、3E74。另外，在作為 第二纖維基材的GC2,以表1所示的組合且以成為表1所示的GC量的方式浸漬樹脂組成物 的清漆之后，進行干燥。作為配置于內(nèi)層的預浸料而制成預浸料2A41 (GC2/樹脂組成物A/ 樹脂組成物量為41質(zhì)量％的意思，以下僅樹脂組成物種類不同）、2B41、2C41、2D41、2E41、 2F41、2G41、2A35 (GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量為35質(zhì)量％的意思，以下僅樹脂組成物 種類不同）、2B35、2C35、2D35、2E35,并重疊表1所示的張數(shù)而配置。除此之外，與實施例1 相同地，制作被研磨物保持件用層疊板、被研磨物保持件。
[0076] 比較例2、3
[0077] 以表1所示的組成進行配合，作為第一以及第二纖維基材用的樹脂組成物的清 漆，分別調(diào)整樹脂組成物A、F的清漆。之后，在作為第一纖維基材的芳族聚酰胺纖維織物 AC4浸漬樹脂組成物A、F的清漆后，進行干燥。作為配置于最外層的預浸料而制作預浸 料4A55(AC4/樹脂組成物A/樹脂組成物量為55質(zhì)量％的意思，以下僅樹脂組成物種類不 同）、4F40。另外，在作為第二纖維基材的GC2浸漬樹脂組成物A、F的清漆之后，進行干燥， 作為配置于內(nèi)層的預浸料而制作預浸料2A41 (GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量為41質(zhì) 量％的意思，以下僅樹脂組成物種類不同）、2F41。除此之外，與實施例1相同地，制作被研 磨物保持件用層疊板、被研磨物保持件。
[0078] 評價方法
[0079] 對實施例1?14,比較例1?4所制成的被研磨物保持件用層疊板、被研磨物保持 件，進行下述的評價的結(jié)果，示于表1。
[0080] 玻璃化轉(zhuǎn)變溫度
[0081] 從得到的被研磨物保持件用層疊板，切出寬度為l〇mm、厚度為0. 8mm、長度為50mm 的試驗片，使用DMA裝置（TA儀器公司制DMA2980)以5°C /分鐘的比例升溫的同時，施加頻 率為IHz的形變，來進行動態(tài)粘彈性的測定。對于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，設為tan δ表示最大值 的溫度。
[0082] 硬度（巴氏硬度）
[0083] 對得到的被研磨物保持件用層疊板，基于JIS K 6711 "熱固化性塑料一般試驗方 法"，對25°C下的巴氏硬度（硬度計：GYZJ934-1)進行測定。
[0084] 抗磨損性
[0085] 使用雙面研磨裝置，對在得到的被研磨物保持件515mmtp的圓盤狀的層疊板 的、中央附近開設了 200mmtp的孔的被研磨物保持件用層疊板進行了研磨。在處于所 得到的被研磨物保持件的內(nèi)部的200ηπ--φ的孔部裝入0.7mm厚的硅片，在表面壓力為 9. 8MPa、載體轉(zhuǎn)速為5rpm、上下研磨板的轉(zhuǎn)速為20rpm的條件下，實施180分鐘的研磨。磨 損量在12 μ m以下為〇，超過12 μ m為X。
[0086] 彎曲度
[0087] 將得到的被研磨物保持件平置于平盤，并對其上浮值進行測定。上浮值在5mm以 下的為〇，超過5mm的為X。
[0088] 平滑性
[0089] 對得到的被研磨物保持件，使用接觸式表面粗糙度計，求出表面凹凸差Rmax-R minij rma)Trmin在4μ m以下的為◎,超過4μ m且6 μ m以下的為〇，超過6 μ m的為X。
[0090] [表 1]
[0091]
【權(quán)利要求】
1. 一種被研磨物保持件，在最外層具有第一樹脂層，該第一樹脂層通過在第一纖維基 材浸漬第一樹脂組成物并對其加熱加壓而構(gòu)成， 所述被研磨物保持件的特征在于， 所述第一纖維基材為玻璃纖維基材， 在除了所述第一纖維基材之外的所述第一樹脂層中，以50質(zhì)量％以上的比例包含來 自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構(gòu)造。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的被研磨物保持件，其特征在于， 在所述第一樹脂層中，以25質(zhì)量％以上、且60質(zhì)量％以下的比例包含所述第一纖維基 材。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的被研磨物保持件，其特征在于， 所述第一纖維基材為單位面積質(zhì)量在30g/m2以上、且150g/m2以下的玻璃纖維織物。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于， 所述第一樹脂組成物包含選自酚醛清漆型環(huán)氧樹脂以及酚醛清漆型苯酚樹脂中的一 種以上的樹脂。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于， 對于所述第一樹脂組成物而言，在100質(zhì)量份的所述組成物中以40質(zhì)量份以上、且80 質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型環(huán)氧樹脂。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于， 對于所述第一樹脂組成物而言，在100質(zhì)量份的所述組成物中以20質(zhì)量份以上、且40 質(zhì)量份以下的比例包含酚醛清漆型苯酚樹脂。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1?6中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于， 對于所述第一樹脂組成物而言，在100質(zhì)量份的所述組成物中以5質(zhì)量份以上、且40 質(zhì)量份以下的比例還包含雙酚A型環(huán)氧樹脂。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1?7中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于， 在內(nèi)層具有一層或者兩層以上的第二樹脂層，該第二樹脂層通過在第二纖維基材浸漬 第二樹脂組成物并對其加熱加壓而構(gòu)成，所述第二纖維基材為玻璃纖維基材。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的被研磨物保持件，其特征在于， 所述第二纖維基材為單位面積質(zhì)量在l〇〇g/m2以上、且220g/m2以下的玻璃纖維織物。
10. -種層疊板，其特征在于， 使用在權(quán)利要求1?9中任一項所述的被研磨物保持件。
【文檔編號】H01L21/304GK104245231SQ201380016325
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2013年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月30日
【發(fā)明者】武谷光男, 丸山豐太郎 申請人:住友電木株式會社