擴(kuò)散爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種擴(kuò)散爐，包括爐管，還包括：第一門板，第一門板與爐管的端口密封連接；第二門板，第二門板設(shè)置在爐管的管腔內(nèi)；其中，第一門板與第二門板之間形成容納腔，且容納腔內(nèi)通有惰性氣體。本實用新型通過使第一門板和第二門板之間形成容納腔，并在容納腔通入惰性氣體，進(jìn)而可以防止因工藝氣體與第一門板接觸后進(jìn)行反應(yīng)而損壞第一門板，最終使得第一門板無法密封爐管。
【專利說明】擴(kuò)散爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池領(lǐng)域，更具體地，涉及一種擴(kuò)散爐。
【背景技術(shù)】
[0002]晶硅太陽能電池已經(jīng)被大規(guī)模應(yīng)用到各個領(lǐng)域，其良好的穩(wěn)定性和成熟的工藝流程是其大規(guī)模應(yīng)用的基礎(chǔ)。如何進(jìn)一步提高效率，降低成本是國內(nèi)外【技術(shù)領(lǐng)域】研究的基本目標(biāo)。隨著工藝技術(shù)的發(fā)展，N型晶硅電池以其成本低效率高的優(yōu)勢，越來越受到市場的重視。其中，硼擴(kuò)散工序(N型硅片在擴(kuò)散后表面形成P/N結(jié))是生產(chǎn)過程中重要的環(huán)節(jié)，所以保證硼擴(kuò)散的工藝的穩(wěn)定和降低本工序的生產(chǎn)成本是我們研究的重點。
[0003]目前，擴(kuò)散爐爐門與爐管的接觸位置是一圈磨砂石英密封帶，這保證了爐門與爐管的緊密接觸，從而防止工藝氣體泄漏到外界環(huán)境，但是進(jìn)行工藝時產(chǎn)生的氣體(例如五氧化二磷、三氧化二硼)會與石英密封帶產(chǎn)生反應(yīng)，進(jìn)而使得密封帶發(fā)生損耗，致使?fàn)t門無法使用。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型旨在提供一種擴(kuò)散爐，以解決現(xiàn)有技術(shù)的擴(kuò)散爐的爐門容易損壞的問題。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種擴(kuò)散爐，包括爐管，還包括:第一門板，第一門板與爐管的端口密封連接；第二門板，第二門板設(shè)置在爐管的管腔內(nèi)；其中，第一門板與第二門板之間形成容納腔，且容納腔內(nèi)通有惰性氣體。
[0006]進(jìn)一步地,擴(kuò)散爐還包括:連接桿，連接桿的一端與第一門板固定連接，連接桿的
另一端與第二門板固定連接。
[0007]進(jìn)一步地，第一門板設(shè)置有通孔，且通孔內(nèi)安裝有輸氣管。
[0008]進(jìn)一步地，擴(kuò)散爐包括多個平行設(shè)置的連接桿。
[0009]進(jìn)一步地，擴(kuò)散爐由石英材料制成。
[0010]進(jìn)一步地，惰性氣體為氮氣。
[0011]本實用新型通過使第一門板和第二門板之間形成容納腔，并在容納腔通入惰性氣體，進(jìn)而可以防止因工藝氣體與第一門板接觸后進(jìn)行反應(yīng)而損壞第一門板，最終使得第一門板無法密封爐管。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0013]圖1示意性示出了本實用新型中的擴(kuò)散爐中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中附圖標(biāo)記:10、爐管;21、第一門板；22、第二門板；23、連接桿；24、通孔；25、 輸氣管；26、容納腔。
【具體實施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。
[0016]本發(fā)明提供了一種擴(kuò)散爐，請參考圖1，該擴(kuò)散爐包括爐管10，還包括:第一門板21，第一門板21與爐管10的端口密封連接；第二門板22，第二門板22設(shè)置在爐管10的管腔內(nèi)；其中，第一門板21與第二門板22之間形成容納腔26，且容納腔26內(nèi)通有惰性氣體。
[0017]本實用新型通過使第一門板21和第二門板22之間形成容納腔26，并在容納腔26通入惰性氣體，進(jìn)而可以防止因工藝氣體與第一門板21接觸后進(jìn)行反應(yīng)而損壞第一門板21，最終使得第一門板21無法密封爐管10。
[0018]優(yōu)選地，擴(kuò)散爐還包括:連接桿23，連接桿23的一端與第一門板21固定連接，連接桿23的另一端與第二門板22固定連接。優(yōu)選地，連接桿23的長度為20mm至50mm。
[0019]優(yōu)選地，第一門板21設(shè)置有通孔24，且通孔24內(nèi)安裝有輸氣管25。優(yōu)選地，通孔24的直徑為5mm至15mm。優(yōu)選地,通孔24設(shè)置在第一門板21的中心位置。優(yōu)選地，輸氣管25與第二門板22之間的距離為IOmm至30mm。優(yōu)選地，第一門板21的直徑與第二門板22之間的直徑之差為20mm至50mm。
[0020]優(yōu)選地，擴(kuò)散爐包括多個平行設(shè)置的連接桿23。
[0021]優(yōu)選地，擴(kuò)散爐由石英材料制成。
[0022]優(yōu)選地，惰性氣體為氮氣。
[0023]以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種擴(kuò)散爐，包括爐管(10)，其特征在于，還包括: 第一門板(21)，所述第一門板(21)與所述爐管(10)的端口密封連接； 第二門板(22)，所述第二門板(22)設(shè)置在所述爐管(10)的管腔內(nèi)； 其中，所述第一門板(21)與所述第二門板(22)之間形成容納腔(26)，且所述容納腔(26)內(nèi)通有惰性氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述擴(kuò)散爐還包括:連接桿(23)，所述連接桿(23)的一端與第一門板(21)固定連接，所述連接桿(23)的另一端與所述第二門板(22)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述第一門板(21)設(shè)置有通孔(24)，且所述通孔(24)內(nèi)安裝有輸氣管(25)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述擴(kuò)散爐包括多個平行設(shè)置的所述連接桿(23)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述擴(kuò)散爐由石英材料制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述惰性氣體為氮氣。
【文檔編號】H01L21/223GK203589060SQ201320790220
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年12月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月4日
【發(fā)明者】王英超, 熊景峰, 胡志巖, 李高非, 趙文超 申請人:英利能源（中國）有限公司