干燥槽裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種干燥槽裝置，用于干燥晶圓，包括：第一干燥槽，與第一干燥槽的一側(cè)壁相連的水槽，與第一干燥槽的另一側(cè)壁相連的第二干燥槽，第一干燥槽設(shè)有遮擋板，設(shè)于第一干燥槽外、并懸空位于遮擋板上方的除水單元，位于水槽、第一干燥槽以及第二干燥槽外的機(jī)械手臂；在第一干燥槽外添加除水單元，并將除水單元設(shè)于遮擋板上方，當(dāng)遮擋板關(guān)閉時(shí)，除水單元能夠?qū)φ趽醢宓谋砻孢M(jìn)行除水處理，從而避免在遮擋板打開(kāi)時(shí)遮擋板上的水滴滴落至晶圓的表面，進(jìn)而消除缺陷，提高晶圓的良率。
【專利說(shuō)明】干燥槽裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種干燥槽裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域過(guò)程中，進(jìn)行濕法刻蝕之后需要對(duì)晶圓進(jìn)行干燥處理。干燥處理首先是將所述晶圓在水槽中進(jìn)行清洗，去除所述晶圓表面的廢液或顆粒，接著是將所述晶圓移至干燥槽中進(jìn)行氣體烘干，達(dá)到將所述晶圓進(jìn)行干燥的目的。
[0003]具體的，請(qǐng)參考圖1，現(xiàn)有技術(shù)中干燥槽裝置通常包括:水槽21、第一干燥槽22、第二干燥槽23以及機(jī)械手臂40，其中，所述第一干燥槽22的一側(cè)壁與所述水槽21相固定，所述第一干燥槽22的另一側(cè)壁與所述第二干燥槽23相固定；所述第一干燥槽22設(shè)有遮擋板50，用于遮擋外部落入的水滴等，所述遮擋板50可以打開(kāi)和關(guān)閉。
[0004]所述干燥槽裝置在使用過(guò)程中，晶圓10由所述機(jī)械手臂40先放入所述水槽21中進(jìn)行沖洗，接著，所述晶圓10由所述機(jī)械手臂40移至所述第一干燥槽22中進(jìn)行空氣干燥，此時(shí)，另一片晶圓10也已經(jīng)進(jìn)入所述水槽21中進(jìn)行清洗，在其清洗完畢后，由于所述第一干燥槽22里已經(jīng)有晶圓10在進(jìn)行干燥，因此所述機(jī)械手臂40再將另一片晶圓10移動(dòng)至所述第二干燥槽23中進(jìn)行清洗。由于所述機(jī)械手臂40從所述水槽21中帶有水滴30，在所述機(jī)械手臂40從所述第一干燥槽22上方移動(dòng)時(shí)，所述水滴30容易滴落在所述遮擋板50上，由于所述第一干燥槽22中有晶圓10進(jìn)行干燥，此時(shí)的遮擋板50是關(guān)閉的。在所述晶圓10干燥完畢時(shí)，所述遮擋板50會(huì)打開(kāi)將方便將所述晶圓10移出，然而所述遮擋板50上的水滴通常會(huì)滴落在所述晶圓10的表面，造成缺陷。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種干燥槽裝置，能夠避免水滴滴落在晶圓的表面，消除缺陷。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種干燥槽裝置，包括:
[0007]水槽、第一干燥槽、第二干燥槽、機(jī)械手臂以及除水單元，其中，所述第一干燥槽的一側(cè)壁與所述水槽相連，所述第一干燥槽的另一側(cè)壁與所述第二干燥槽相連，所述第一干燥槽設(shè)有遮擋板，所述除水單元設(shè)于所述第一干燥槽外，并懸空位于所述遮擋板上方，所述機(jī)械手臂位于所述水槽、第一干燥槽以及第二干燥槽外。
[0008]進(jìn)一步的，所述除水單元包括風(fēng)刀、管路、氣缸以及擋水蓋，所述風(fēng)刀通過(guò)所述管路與所述氣缸相連，所述擋水蓋位于所述第一干燥槽外。
[0009]進(jìn)一步的，所述風(fēng)刀上設(shè)有多個(gè)噴嘴。
[0010]進(jìn)一步的，所述風(fēng)刀的材質(zhì)為聚丙烯。
[0011]進(jìn)一步的，所述管路的材質(zhì)為聚丙烯。
[0012]進(jìn)一步的，所述擋水蓋的材質(zhì)為聚丙烯。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:在第一干燥槽外添加除水單元，并將所述除水單元設(shè)于所述遮擋板上方，當(dāng)所述遮擋板關(guān)閉時(shí)，所述除水單元能夠?qū)λ稣趽醢宓谋砻孢M(jìn)行除水處理，從而避免在所述遮擋板打開(kāi)時(shí)所述遮擋板上的水滴滴落至所述晶圓的表面，進(jìn)而消除缺陷，提高晶圓的良率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1現(xiàn)有技術(shù)中干燥槽裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中干燥槽裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中除水單元除水時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中除水單元除水完成后的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的干燥槽裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0019]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0020]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0021]請(qǐng)參考圖2，在本實(shí)施例中，提出了一種干燥槽裝置，用于干燥晶圓100，所述裝置包括:
[0022]水槽210、第一干燥槽220、第二干燥槽230、機(jī)械手臂400以及除水單元，其中，所述第一干燥槽220的一側(cè)壁與所述水槽210相連，所述第一干燥槽220的另一側(cè)壁與所述第二干燥槽230相連，所述第一干燥槽220設(shè)有遮擋板500，所述除水單元設(shè)于所述第一干燥槽220外,并懸空位于所述遮擋板500上方,所述機(jī)械手臂400位于所述水槽210、第一干燥槽220以及第二干燥槽230外。
[0023]其中，機(jī)械手臂400用于盛放和傳輸所述晶圓100，將所述晶圓100移入所述水槽210、第一干燥槽220以及第二干燥槽230之中，或者是將所述晶圓100從所述水槽210、第一干燥槽220以及第二干燥槽230之中移出；所述水槽210用于對(duì)所述晶圓100進(jìn)行清洗；所述第一干燥槽220以及第二干燥槽230用于對(duì)所述晶圓100進(jìn)行干燥，所述遮擋板500能夠在所述第一干燥槽220對(duì)所述晶圓100進(jìn)行干燥時(shí)關(guān)閉，并在所述晶圓100干燥完畢時(shí)打開(kāi)，方便將所述晶圓100移出。
[0024]請(qǐng)參考圖3和圖4，在本實(shí)施例中，所述除水單元包括風(fēng)刀620、管路610、氣缸(圖未示)以及擋水蓋630，所述風(fēng)刀620通過(guò)所述管路610與所述氣缸相連，所述氣缸用于提供流量為0.05mPa?0.1mPa干燥的N2,所述N2能夠經(jīng)由所述管路610和風(fēng)刀620對(duì)所述遮擋板500的表面進(jìn)行去除處理，將所述遮擋板500上的水滴300全部清除干凈，避免所述遮擋板500在打開(kāi)時(shí)水滴300滴落至所述晶圓100的表面，進(jìn)而消除缺陷；所述擋水蓋630位于所述第一干燥槽220外，其目的主要是在所述風(fēng)刀620對(duì)所述遮擋板500清除完水滴300之后，所述遮擋板500需要打開(kāi)時(shí)，所述風(fēng)刀620能夠移動(dòng)至所述擋水蓋630的下方，避免所述機(jī)械手臂400上有水滴300滴落至所述風(fēng)刀620上，如圖4所示。
[0025]在本實(shí)施例中，所述風(fēng)刀620上設(shè)有多個(gè)噴嘴，干燥的N2由所述噴嘴噴向所述遮擋板500的表面，所述風(fēng)刀620、管路610以及擋水蓋630的材質(zhì)為聚丙烯。
[0026]需要指出的是，所述除水單元能夠采用自動(dòng)模式和手動(dòng)模式操作，兩種模式能夠相互轉(zhuǎn)換。
[0027]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的干燥槽裝置中，在第一干燥槽外添加除水單元，并將所述除水單元設(shè)于所述遮擋板上方，當(dāng)所述遮擋板關(guān)閉時(shí)，所述除水單元能夠?qū)λ稣趽醢宓谋砻孢M(jìn)行除水處理，從而避免在所述遮擋板打開(kāi)時(shí)所述遮擋板上的水滴滴落至所述晶圓的表面，進(jìn)而消除缺陷，提聞晶圓的良率。
[0028]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種干燥槽裝置，用于干燥晶圓，其特征在于，所述裝置包括: 水槽、第一干燥槽、第二干燥槽、機(jī)械手臂以及除水單元，其中，所述第一干燥槽的一側(cè)壁與所述水槽相連，所述第一干燥槽的另一側(cè)壁與所述第二干燥槽相連，所述第一干燥槽設(shè)有遮擋板，所述除水單元設(shè)于所述第一干燥槽外，并懸空位于所述遮擋板上方，所述機(jī)械手臂位于所述水槽、第一干燥槽以及第二干燥槽外。
2.如權(quán)利要求1所述的干燥槽裝置，其特征在于，所述除水單元包括風(fēng)刀、管路、氣缸以及擋水蓋，所述風(fēng)刀通過(guò)所述管路與所述氣缸相連，所述擋水蓋位于所述第一干燥槽外。
3.如權(quán)利要求2所述的干燥槽裝置，其特征在于，所述風(fēng)刀上設(shè)有多個(gè)噴嘴。
4.如權(quán)利要求2所述的干燥槽裝置，其特征在于，所述風(fēng)刀的材質(zhì)為聚丙烯。
5.如權(quán)利要求2所述的干燥槽裝置，其特征在于，所述管路的材質(zhì)為聚丙烯。
6.如權(quán)利要求2所述的干燥槽裝置，其特征在于，所述擋水蓋的材質(zhì)為聚丙烯。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK203553116SQ201320717938
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月14日
【發(fā)明者】董明, 肖方, 錢文明, 喻暢, 沈雪松 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司