晶圓盒低磨損率傳送裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓盒低磨損率傳送裝置。所述晶圓盒低磨損率傳送裝置，包括推車和彈性支承機(jī)構(gòu)，所述推車具有一對(duì)用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿，所述水平支撐桿之間具有用于容置晶圓盒的容置空間，所述水平支撐桿上與把手接觸的部位分別設(shè)有所述彈性支承機(jī)構(gòu)。通過晶圓盒的把手受力代替晶圓盒的底盤受力，可以避免晶圓盒的底盤和推車的洞洞板之間進(jìn)行摩擦，降低晶圓盒的磨損率，并可以有效地減少晶圓盒在推車上的震動(dòng)，且能夠有效地減輕推車通過連廊臺(tái)階等高地起伏地形時(shí)的震動(dòng)，減少了晶圓盒內(nèi)各部件的摩擦，提高了晶圓盒的使用壽命，降低了缺陷源產(chǎn)生的幾率，有效地減少顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生，提高產(chǎn)品良率。
【專利說明】晶圓盒低磨損率傳送裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓盒低磨損率傳送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，雖然有自動(dòng)物料傳送系統(tǒng)(AM H S)，但大多數(shù)的批次(LO T)是通過人工推車傳送的。目前的推車是晶圓盒通過自身的底盤直接與推車接觸的，其中，推車與晶圓盒的底盤接觸的表面是洞洞板。由于目前推車基本都是使用十年以上，磨損厲害，洞洞板上部分洞洞邊緣已經(jīng)發(fā)生翹起現(xiàn)象，很多洞洞板的平整度也變得非常不好，具有一定的彎曲，如此就造成了對(duì)晶圓盒底盤的損傷。潔凈室(FAB)里個(gè)別區(qū)域有連廊臺(tái)階，因?yàn)槟壳暗耐栖嚊]有減震系統(tǒng)，推車在過連廊臺(tái)階時(shí)會(huì)有較大震動(dòng)，從而加劇了晶圓盒底盤的磨損。晶圓盒底盤磨損的害處是產(chǎn)生含C類的顆粒雜質(zhì)(defect source),當(dāng)晶圓盒在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面(SMIF, Standard Mechanical Interface)上打開時(shí)，SMIF內(nèi)壓氣流產(chǎn)生擾流將C類的顆粒雜質(zhì)吹入晶圓盒內(nèi)的晶圓(wafer)上,產(chǎn)生晶圓缺陷(defect),進(jìn)而導(dǎo)致良率降低(yield loss)。
[0003]如果，淘汰報(bào)廢底盤磨損的晶圓盒，淘汰報(bào)廢洞洞板變形的推車，但是這樣造價(jià)很高。目前FAB里只能將很明顯老舊磨損的淘汰掉，不能全部更換，更無法阻止其進(jìn)一步磨損。
[0004]因此，如何提供一種可以降低晶圓盒的磨損率，提高產(chǎn)品良率的晶圓盒低磨損率傳送裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓盒低磨損率傳送裝置，可以避免晶圓盒的底盤和推車的洞洞板之間進(jìn)行摩擦，降低晶圓盒的磨損率，提高產(chǎn)品良率的。
[0006]為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0007]—種晶圓盒低磨損率傳送裝置，包括推車和彈性支承機(jī)構(gòu)，所述推車具有一對(duì)用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿，所述水平支撐桿之間具有用于容置晶圓盒的容置空間，所述水平支撐桿上與把手接觸的部位分別設(shè)有所述彈性支承機(jī)構(gòu)。
[0008]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述水平支撐桿上設(shè)有用于容置所述彈性支承機(jī)構(gòu)的凹槽，所述彈性支承機(jī)構(gòu)包括彈簧和支撐柱，所述彈簧位于所述支撐柱的底面和所述凹槽的內(nèi)底面之間。
[0009]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱的頂面采用傾斜結(jié)構(gòu)。
[0010]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱的頂面的位于上方的一端具有球狀凸部。
[0011]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱的外周面上設(shè)有壽命極限指示條。
[0012]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱的外周面上設(shè)有彈簧損害指示條。
[0013]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述壽命極限指示條位于所述彈簧損害指示條的下方。
[0014]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述推車的底部設(shè)有車輪。
[0015]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述推車包括若干水平支撐桿和豎向桿，所述水平支撐桿包括水平橫向支撐桿和水平縱向支撐桿，所述水平橫向支撐桿、水平縱向支撐桿和豎向桿連接組成推車的車身框架，用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿為水平縱向支撐桿或者水平橫向支撐桿。
[0016]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述推車具有多對(duì)用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿，各對(duì)所述水平支撐桿之間分別具有用于容置晶圓盒的容置空間，各容置空間水平橫向或者水平縱向排列。
[0017]本實(shí)用新型提供的晶圓盒低磨損率傳送裝置，包括推車和彈性支承機(jī)構(gòu)，所述推車具有一對(duì)用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿，所述水平支撐桿之間具有用于容置晶圓盒的容置空間，所述水平支撐桿上與把手接觸的部位分別設(shè)有所述彈性支承機(jī)構(gòu)，從而可以，一方面，通過晶圓盒的把手受力代替晶圓盒的底盤受力，避免現(xiàn)有技術(shù)中晶圓盒的底盤與推車的洞洞板直接接觸的弊端，防止晶圓盒的底盤出現(xiàn)磨損，有效降低了顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生，進(jìn)而提高產(chǎn)品的良率。另一方面，通過在晶圓盒與推車之間的設(shè)置起緩沖作用的彈性支承機(jī)構(gòu)，可以有效地減少晶圓盒在推車上的震動(dòng)，并能夠有效地減輕推車通過連廊臺(tái)階等高地起伏地形時(shí)的震動(dòng)，減少了晶圓盒內(nèi)各部件的摩擦，提高了晶圓盒的使用壽命，降低了缺陷源產(chǎn)生的幾率，有效地減少顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生。
[0018]此外，每個(gè)彈性支承機(jī)構(gòu)上使用減震彈簧，而不是在推車輪子與推車之間使用減震彈簧，可以更加精準(zhǔn)的控制震動(dòng)。保證每個(gè)晶圓盒的震動(dòng)都減小到最低限度，并且方便操作者及時(shí)發(fā)現(xiàn)減震裝置異常，方便耗材更換維修。
[0019]相比，晶圓盒和推車因磨損嚴(yán)重而淘汰，本實(shí)用新型的耗材僅為減震彈簧，其造價(jià)便宜，壽命很長(zhǎng)，故長(zhǎng)期會(huì)為潔凈室減少生產(chǎn)成本。而晶圓盒磨損的減少也能減少C類缺陷，提高產(chǎn)品良率。此外，支撐柱上有更換和損壞提醒刻度線，可以方便操作者即時(shí)檢查推車的關(guān)鍵耗材一減震彈簧是否已經(jīng)損壞或是否需要及時(shí)更換。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]本實(shí)用新型的晶圓盒低磨損率傳送裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。
[0021]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的晶圓盒低磨損率傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例1中晶圓盒和彈性支承機(jī)構(gòu)的裝配示意圖；
[0023]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例2的晶圓盒低磨損率傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例2中晶圓盒和彈性支承機(jī)構(gòu)的裝配示意圖；
[0025]圖中，1-晶圓盒，11-把手，12-電子標(biāo)簽，21-水平橫向支撐桿，22-水平縱向支撐桿，20-凹槽的外側(cè)壁的頂端，23-豎向桿，24-車輪，31-彈簧、32-支撐柱，320-球狀凸部，321-壽命極限指示條、322-彈簧損害指示條。
【具體實(shí)施方式】[0026]以下將對(duì)本實(shí)用新型的晶圓盒低磨損率傳送裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0027]下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有益效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0028]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0029]為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0030]實(shí)施例1
[0031]請(qǐng)參閱圖1至圖2，這種晶圓盒低磨損率傳送裝置，包括推車和彈性支承機(jī)構(gòu)，所述推車具有一對(duì)用于支撐晶圓盒I兩端的把手11的水平支撐桿，所述水平支撐桿之間具有用于容置晶圓盒I的容置空間，所述水平支撐桿上與把手11接觸的部位分別設(shè)有所述彈性支承機(jī)構(gòu)。一方面，通過晶圓盒I的把手11受力代替晶圓盒I的底盤受力，避免現(xiàn)有技術(shù)中晶圓盒I的底盤與推車的洞洞板直接接觸的弊端，防止晶圓盒I的底盤出現(xiàn)磨損，有效降低了顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生，進(jìn)而提高產(chǎn)品的良率。另一方面，通過在晶圓盒I與推車之間的設(shè)置起緩沖作用的彈性支承機(jī)構(gòu)，可以有效地減少晶圓盒I在推車上的震動(dòng)，減少了晶圓盒I內(nèi)各部件的摩擦和碰撞，其能有效地減輕推車通過連廊臺(tái)階等高地起伏地形時(shí)的震動(dòng)，提高了晶圓盒I的使用壽命，降低了缺陷源產(chǎn)生的幾率，有效地減少顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生。
[0032]較佳的，在本實(shí)施例的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述水平支撐桿上設(shè)有用于容置所述彈性支承機(jī)構(gòu)的凹槽，所述彈性支承機(jī)構(gòu)包括彈簧31和支撐柱32，彈簧31位于所述支撐柱32的底面和所述凹槽的內(nèi)底面之間。通過設(shè)置彈簧31和支撐柱32，對(duì)晶圓盒I起到緩沖作用，防止發(fā)生碰撞風(fēng)險(xiǎn)。此外，每個(gè)彈性支承機(jī)構(gòu)上使用減震彈簧31，而不是在推車輪子與推車之間使用減震彈簧31，可更加精準(zhǔn)的控制震動(dòng)。保證每個(gè)晶圓盒I的震動(dòng)都減小到最低限度，并且方便操作者及時(shí)發(fā)現(xiàn)減彈性支承機(jī)構(gòu)異常，方便耗材更換維修。
[0033]較佳的，在本實(shí)施例的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱32的外周面上設(shè)有壽命極限指示條321。當(dāng)該壽命極限指示條321下降到所述凹槽的外側(cè)壁的頂端20時(shí)，說明該彈簧31的使用壽命極限到了，應(yīng)該更換彈簧31。
[0034]較佳的，在本實(shí)施例的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱32的外周面上設(shè)有彈簧損害指示條322。當(dāng)該壽命極限指示條322下降到所述凹槽的外側(cè)壁的頂端20時(shí)，說明該彈簧31遭到嚴(yán)重破壞而損傷，應(yīng)該更換彈簧31。
[0035]較佳的，在本實(shí)施例的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述壽命極限指示條位于所述彈簧損害指示條322的下方。
[0036]較佳的，在本實(shí)施例的晶圓盒I低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱32的頂面采用傾斜結(jié)構(gòu)，以方便操作員提起晶圓盒I。[0037]較佳的，在本實(shí)施例的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述支撐柱32的頂面的位于上方的一端具有球狀凸部320，通過設(shè)置球狀凸部320，能夠卡住晶圓盒I的把手11，防止晶圓盒I碰撞。
[0038]較佳的，在本實(shí)施例的晶圓盒低磨損率傳送裝置中，所述推車的底部設(shè)有車輪24，以便推車行走。
[0039]較佳的，所述推車包括若干水平支撐桿和豎向桿23，所述水平支撐桿包括水平橫向支撐桿21和水平縱向支撐桿22，所述水平橫向支撐桿21、水平縱向支撐桿22和豎向桿23連接組成推車的車身框架，用于支撐晶圓盒I兩端的把手11的水平支撐桿為水平縱向支撐桿22或者水平橫向支撐桿21。本實(shí)施例中，所述用于支撐晶圓盒I兩端的把手11的水平支撐桿為水平橫向支撐桿21，如圖2所示。
[0040]較佳的，所述推車具有多對(duì)用于支撐晶圓盒I兩端的把手11的水平支撐桿，各對(duì)所述水平支撐桿之間分別具有用于容置晶圓盒的容置空間，各容置空間水平橫向或者水平縱向排列。本實(shí)施例中，共有兩個(gè)容置空間，這兩個(gè)容置空間沿水平縱向排列。
[0041]實(shí)施例2
[0042]請(qǐng)參閱圖3至圖4，本實(shí)施例與實(shí)施例的區(qū)別在于:
[0043]所述用于支撐晶圓盒I兩端的把手11的水平支撐桿為水平縱向支撐桿22，如圖3所不。在本實(shí)施例中，由于電子標(biāo)簽12統(tǒng)一外露于一個(gè)側(cè)平面上，因此有利于操作員觀察，方便操作員使用。
[0044]綜上所述，本實(shí)用新型提供的晶圓盒低磨損率傳送裝置，包括推車和彈性支承機(jī)構(gòu)，所述推車具有一對(duì)用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿，所述水平支撐桿之間具有用于容置晶圓盒的容置空間，所述水平支撐桿上與把手接觸的部位分別設(shè)有所述彈性支承機(jī)構(gòu)，從而可以，一方面，通過晶圓盒的把手受力代替晶圓盒的底盤受力，避免現(xiàn)有技術(shù)中晶圓盒的底盤與推車的洞洞板直接接觸的弊端，防止晶圓盒的底盤出現(xiàn)磨損，有效降低了顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生，進(jìn)而提高產(chǎn)品的良率。另一方面，通過在晶圓盒與推車之間的設(shè)置起緩沖作用的彈性支承機(jī)構(gòu)，可以有效地減少晶圓盒在推車上的震動(dòng)，并能夠有效地減輕推車通過連廊臺(tái)階等高地起伏地形時(shí)的震動(dòng)，減少了晶圓盒內(nèi)各部件的摩擦，提高了晶圓盒的使用壽命，降低了缺陷源產(chǎn)生的幾率，有效減少顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生。
[0045]此外，每個(gè)彈性支承機(jī)構(gòu)上使用減震彈簧，而不是在推車輪子與推車之間使用減震彈簧，可以更加精準(zhǔn)的控制震動(dòng)。保證每個(gè)晶圓盒的震動(dòng)都減小到最低限度，并且方便操作者及時(shí)發(fā)現(xiàn)減震裝置異常，方便耗材更換維修。
[0046]相比，晶圓盒和推車因磨損嚴(yán)重而淘汰，本實(shí)用新型的耗材僅為減震彈簧，其造價(jià)便宜，壽命很長(zhǎng)，故長(zhǎng)期會(huì)為潔凈室減少生產(chǎn)成本。而晶圓盒磨損的減少也能減少C類缺陷，提高產(chǎn)品良率。此外，支撐柱上有更換和損壞提醒刻度線，可以方便操作者即時(shí)檢查推車的關(guān)鍵耗材一減震彈簧是否已經(jīng)損壞或是否需要及時(shí)更換。
[0047]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，包括推車和彈性支承機(jī)構(gòu)，所述推車具有一對(duì)用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿，所述水平支撐桿之間具有用于容置晶圓盒的容置空間，所述水平支撐桿上與所述把手接觸的部位分別設(shè)有所述彈性支承機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述水平支撐桿上設(shè)有用于容置所述彈性支承機(jī)構(gòu)的凹槽，所述彈性支承機(jī)構(gòu)包括彈簧和支撐柱，所述彈簧位于所述支撐柱的底面和所述凹槽的內(nèi)底面之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述支撐柱的頂面米用傾斜結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述支撐柱的頂面的位于上方的一端具有球狀凸部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述支撐柱的外周面上設(shè)有壽命極限指示條。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述支撐柱的外周面上設(shè)有彈簧損害指示條。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述壽命極限指示條位于所述彈簧損害指示條的下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述推車的底部設(shè)有車輪。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述推車包括若干水平支撐桿和豎向桿，所述水平支撐桿包括水平橫向支撐桿和水平縱向支撐桿，所述水平橫向支撐桿、水平縱向支撐桿和豎向桿連接組成推車的車身框架，所述用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿為水平縱向支撐桿或者水平橫向支撐桿。
10.根據(jù)權(quán)利要求1?9中任意一項(xiàng)所述的晶圓盒低磨損率傳送裝置，其特征在于，所述推車具有多對(duì)用于支撐晶圓盒兩端的把手的水平支撐桿，各對(duì)所述水平支撐桿之間分別具有用于容置晶圓盒的容置空間，各容置空間水平橫向或者水平縱向排列。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK203631516SQ201320717939
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月14日
【發(fā)明者】張玨, 陳思安, 楊健 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司