一種絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池【技術(shù)領(lǐng)域】，公開了一種絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法。所述絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，包括：將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18℃～25℃；在酸液中對(duì)調(diào)整溫度后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，制絨時(shí)長(zhǎng)為30～100秒，其中，所述酸液按重量百分比計(jì)，含有0.0365%～0.365%氯化氫，0.04%～0.4%氟化氫，0.1%～0.5%草酸及0.1%～0.5%醋酸；對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗。采用本發(fā)明絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法得到的絨面透明導(dǎo)電膜的絨面均勻性較好，可應(yīng)用于大面積透明導(dǎo)電膜的生產(chǎn)之中。
【專利說(shuō)明】一種絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，作為可再生能源的光伏電池和大面積光伏組件的發(fā)展引起了人們的廣泛關(guān)注。尤其是非晶硅和納米微晶硅疊層電池，以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)迅速崛起，成為市場(chǎng)應(yīng)用的主流產(chǎn)品。透明導(dǎo)電氧化物薄膜作為硅基薄膜太陽(yáng)電池的透明電極是必不可少的，而摻鋁氧化鋅(Al-doped ZnO，簡(jiǎn)稱ΑΖ0)透明導(dǎo)電膜的原材料豐富、無(wú)毒、價(jià)格便宜，并且在氫等離子體中穩(wěn)定性好；且因陷光結(jié)構(gòu)的AZO透明導(dǎo)電膜(即絨面AZO透明導(dǎo)電膜)具有比較大的表面粗糙度，可實(shí)現(xiàn)對(duì)入射太陽(yáng)光的反射、折射和散射，將入射到薄膜中的光線分散到各個(gè)角度，經(jīng)多次反射從而增大入射光在電池中的光程，增加光的吸收以增大電池的短路電流，提高電池的光電轉(zhuǎn)化效率。因此，以AZO薄膜材料為主的太陽(yáng)能光伏玻璃被認(rèn)為是下一個(gè)發(fā)展主流，批量生產(chǎn)大面積絨面AZO透明導(dǎo)電膜玻璃對(duì)光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有劃時(shí)代意義。
[0003]現(xiàn)在國(guó)際上研究新型AZO薄膜的廠家比較多，但是大多僅僅是停留在實(shí)驗(yàn)室研究階段，目前還沒(méi)有大尺寸和規(guī)?；q面AZO透明導(dǎo)電膜成功應(yīng)用的報(bào)道。現(xiàn)有技術(shù)的研究重點(diǎn)是對(duì)物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,簡(jiǎn)稱PVD)磁控派射工藝參數(shù)的調(diào)整?，F(xiàn)有的一種絨面氧化鋅(ZnO)透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，通過(guò)對(duì)磁控濺射工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)得到ZnO透明導(dǎo)電膜，再采用稀鹽酸溶液對(duì)其進(jìn)行濕法化學(xué)刻蝕制備絨面ZnO透明導(dǎo)電薄膜，由于采用稀鹽酸進(jìn)行制絨，刻蝕速率較快，可控性較差，因此，得到的絨面透明導(dǎo)電膜的絨面均勻性較差，且該方案僅可應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室小面積絨面透明導(dǎo)電膜的制備之中。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法，用以提高絨面透明導(dǎo)電膜的絨面均勻性，進(jìn)而將絨面透明導(dǎo)電膜應(yīng)用于大面積絨面透明導(dǎo)電膜的生產(chǎn)之中。
[0005]本發(fā)明絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，包括:
[0006]將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C ；
[0007]在酸液中對(duì)調(diào)整溫度后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，制絨時(shí)長(zhǎng)為30?100秒，其中，所述酸液按重量百分比計(jì)，含有0.0365%?0.365%氯化氫，0.04%?0.4%氟化氫，0.1%?
0.5%草酸及0.1%?0.5%醋酸；
[0008]對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗。
[0009]在本發(fā)明技術(shù)方案中，對(duì)制絨工藝進(jìn)行研究，發(fā)現(xiàn)先調(diào)整透明導(dǎo)電膜的溫度至18 °C?25 °C，再采用含有氯化氫(HCl)、氟化氫(HF)、草酸(H00C-C00H)及醋酸(CH3COOH)的酸液對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨形成的絨面透明導(dǎo)電膜的形貌較好，并可提高絨面的均勻性，所述酸液為含有氯化氫、氟化氫、草酸及醋酸的水溶液，若HCl和HF的重量分?jǐn)?shù)較大，則刻蝕凹坑過(guò)大、腐蝕速率較快，并很難控制均勻性；若HCl和HF的重量分?jǐn)?shù)較小，則刻蝕深度不夠，絨面結(jié)構(gòu)的凹凸效果不明顯；若草酸和醋酸的重量分?jǐn)?shù)較大，則刻蝕速度極難控制，導(dǎo)致絨面結(jié)構(gòu)重復(fù)性差；若草酸和醋酸的重量分?jǐn)?shù)較小，則腐蝕速率較慢，不利于批量生產(chǎn)的時(shí)效性和穩(wěn)定性。將絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法應(yīng)用于太陽(yáng)能電池中，可提高電池的短路電流，進(jìn)而提聞光電轉(zhuǎn)化效率。
[0010]優(yōu)選的，所述酸液含有0.0365%?0.182%氯化氫，0.04%?0.2%氟化氫，0.1%?
0.3%草酸及0.1%?0.3%醋酸。采用較優(yōu)的技術(shù)方案中的酸液對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，得到的絨面透明導(dǎo)電膜的絨面均勻性較好。
[0011]較佳的，所述酸液含有0.182%氯化氫，0.08%氟化氫，0.2%草酸及0.1%醋酸，或者，所述酸液含有0.0365%氯化氫，0.04%氟化氫，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氫，0.2%氟化氫，0.3%草酸及0.3%醋酸。
[0012]優(yōu)選的，所述制絨時(shí)長(zhǎng)為30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。
[0013]特別是對(duì)于所述酸液含有0.182%氯化氫，0.08%氟化氫，0.2%草酸及0.1%醋酸，制絨時(shí)長(zhǎng)為60秒時(shí)，采用該技術(shù)方案中的酸液對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，得到的絨面透明導(dǎo)電膜的絨面波峰范圍50?150nm，波谷范圍為50?150nm，寬度為100?300nm，粗糙度為25?40nm，可見得到的絨面的寬度和深度一致，均勻性較好。
[0014]優(yōu)選的，所述將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C具體為:將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底浸潤(rùn)在18°C?25°C的去離子水中，使其溫度調(diào)整至18°C?25°C。
[0015]優(yōu)選的，所述將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C具體為:將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C、20°C或25°C。
[0016]在該技術(shù)方案中，首先將需要進(jìn)行制絨的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行溫度調(diào)整，以利于制絨，合適的溫度范圍為18°C?25°C，更優(yōu)選的范圍為18°C?20°C，例如溫度為18°C、19°C、20°C、22°C、24°C或25°C。采用去離子水進(jìn)行浸潤(rùn)，在將透明導(dǎo)電膜調(diào)整到合適溫度的同時(shí)，還對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行了預(yù)清洗。當(dāng)然，也可以采用其他方法對(duì)需要進(jìn)行制絨的透明導(dǎo)電膜的溫度進(jìn)行調(diào)整，例如風(fēng)刀等。
[0017]優(yōu)選的，所述透明導(dǎo)電膜采用磁控濺射鍍膜的方法在襯底上形成透明導(dǎo)電膜。例如，采用物PVD磁控濺射的工藝參數(shù)為:氣體壓強(qiáng)為0.1?1.0Pa氬氣環(huán)境，襯底溫度為O?300°C，直流濺射功率為I?60kW。
[0018]優(yōu)選的，所述對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗具體為:采用去離子水對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗。透明導(dǎo)電膜在酸液中制絨后，其表面還殘留一些酸液，因此需要對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗，一般采用去離子水對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗，并將其烘干后得到清潔的絨面透明導(dǎo)電膜。
[0019]優(yōu)選的，所述透明導(dǎo)電膜的材質(zhì)為摻鋁氧化鋅，其中鋁的摻雜濃度為1%?1.2%，例如鋁的摻雜濃度為1%、1.1%、1.15%或1.2%。
[0020]較佳的，所述透明導(dǎo)電膜的厚度為700?1200nm (納米)，例如，厚度為700nm、900nm、lOOOnm、IlOOnm或1200nm,更優(yōu)的，所述透明導(dǎo)電膜的厚度為lOOOnm。
[0021]本發(fā)明絨面透明導(dǎo)電膜，通過(guò)上述任一種絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法得到。通過(guò)上述任一種制備方法得到的絨面透明導(dǎo)電膜，具有良好的絨面均勻性，可用于得到大面積絨面透明導(dǎo)電膜。
[0022]本發(fā)明得到的絨面透明導(dǎo)電膜可沉積于玻璃襯底上，絨面透明導(dǎo)電膜之上可沉積非晶硅薄膜，再在非晶硅薄膜上沉積金屬層，形成硅基薄膜太陽(yáng)能電池。
[0023]本發(fā)明還涉及上述絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法在太陽(yáng)能電池制作中的應(yīng)用。
[0024]本發(fā)明所提供的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法中，氯化氫可以電解出氫離子與透明導(dǎo)電膜中的氧化物進(jìn)行反應(yīng)，形成金屬離子，例如可與氧化鋅薄膜中的氧化鋅進(jìn)行反應(yīng)，形成鋅離子。同時(shí)，醋酸分子相對(duì)水分子較大，其空間位阻較大，可阻擋氫離子移動(dòng)至氧化鋅表面，進(jìn)而能夠減緩反應(yīng)速率，提高表面均勻性，進(jìn)而可以應(yīng)用于大面積電池的絨面透明導(dǎo)電膜的制作之中。并且，將絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法應(yīng)用于太陽(yáng)能電池中，可提高電池的短路電流，進(jìn)而提聞光電轉(zhuǎn)化效率。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為了提高絨面透明導(dǎo)電膜的絨面均勻性，本發(fā)明實(shí)施例提供一種絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法。在該技術(shù)方案中，首先調(diào)整透明導(dǎo)電膜的溫度至18°C?25°C，再采用含有氯化氫、氟化氫、草酸及醋酸的水溶液對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，形成的絨面透明導(dǎo)電膜的形貌較好，并可提高絨面的均勻性，并將絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法應(yīng)用于太陽(yáng)能電池中，可提聞電池的短路電流，進(jìn)而提聞光電轉(zhuǎn)化效率。為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，以下舉實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0026]本發(fā)明實(shí)施例提供一種絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，包括:
[0027]將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C ；
[0028]在酸液中對(duì)調(diào)整溫度后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，制絨時(shí)長(zhǎng)為30?100秒，其中，所述酸液按重量百分比計(jì)，含有0.0365%?0.365%氯化氫，0.04%?0.4%氟化氫，0.1%?0.5%草酸及0.1%?0.5%醋酸；
[0029]對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗。
[0030]在本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案中，對(duì)制絨工藝進(jìn)行研究，發(fā)現(xiàn)先調(diào)整透明導(dǎo)電膜的溫度至18 °C?25 °C，再采用含有氯化氫(HCl )、氟化氫(HF)、草酸(H00C-C00H)及醋酸(CH3COOH)的酸液對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨形成的絨面透明導(dǎo)電膜的形貌較好，并可提高絨面的均勻性，所述酸液為含有氯化氫、氟化氫、草酸及醋酸的水溶液，若HCl和HF的重量分?jǐn)?shù)較大，則刻蝕凹坑過(guò)大、腐蝕速率較快，并很難控制均勻性；若HCl和HF的重量分?jǐn)?shù)較小，則刻蝕深度不夠，絨面結(jié)構(gòu)的凹凸效果不明顯；若草酸和醋酸的重量分?jǐn)?shù)較大，則刻蝕速度極難控制，導(dǎo)致絨面結(jié)構(gòu)重復(fù)性差；若草酸和醋酸的重量分?jǐn)?shù)較小，則腐蝕速率較慢，不利于批量生產(chǎn)的時(shí)效性和穩(wěn)定性。將絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法應(yīng)用于太陽(yáng)能電池中，可提聞電池的短路電流，進(jìn)而提聞光電轉(zhuǎn)化效率。
[0031]本發(fā)明一優(yōu)選的實(shí)施例，所述酸液含有0.0365%?0.182%氯化氫，0.04%?0.2%
氟化氫，0.1%?0.3%草酸及0.1%?0.3%醋酸。采用較優(yōu)的技術(shù)方案中的酸液對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，得到的絨面透明導(dǎo)電膜的絨面均勻性較好。
[0032]本發(fā)明一優(yōu)選的實(shí)施例，所述酸液含有0.182%氯化氫，0.08%氟化氫，0.2%草酸及0.1%醋酸，或者，所述酸液含有0.0365%氯化氫，0.04%氟化氫，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氫，0.2%氟化氫，0.3%草酸及0.3%醋酸。
[0033]優(yōu)選的，所述制絨時(shí)長(zhǎng)為30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。
[0034]較佳的，所述酸液含有0.182%氯化氫，0.08%氟化氫，0.2%草酸及0.1%醋酸，所述制絨時(shí)長(zhǎng)為60秒。采用該較佳的技術(shù)方案中的酸液對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，得到的絨面透明導(dǎo)電膜的絨面波峰范圍50?150nm，波谷范圍為50?150nm，寬度為100?300nm，粗糙度為25?40nm，可見得到的絨面的寬度和深度一致，均勻性較好。
[0035]優(yōu)選的，所述將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C具體為:將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C、20°C或25°C。
[0036]本發(fā)明另一優(yōu)選的實(shí)施例，所述將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C具體為:將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底浸潤(rùn)在18°C?25°C的去離子水中，使其溫度調(diào)整至 18°C?25°C。
[0037]在該實(shí)施例中，首先將需要進(jìn)行制絨的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行溫度調(diào)整，以利于制絨，合適的溫度范圍為18°C?25°C，更優(yōu)選的范圍為18°C?20°C，例如溫度為18°C、19°C、20°C、22°C、24°C或25°C。采用去離子水進(jìn)行浸潤(rùn)，在將透明導(dǎo)電膜調(diào)整到合適溫度的同時(shí)，還對(duì)透明導(dǎo)電膜進(jìn)行了預(yù)清洗。當(dāng)然，也可以采用其他方法對(duì)需要進(jìn)行制絨的透明導(dǎo)電膜的溫度進(jìn)行調(diào)整，例如風(fēng)刀等。
[0038]本發(fā)明另一優(yōu)選的實(shí)施例，所述透明導(dǎo)電膜采用磁控濺射鍍膜的方法在襯底上形成透明導(dǎo)電膜。例如，采用物PVD磁控濺射的工藝參數(shù)為:氣體壓強(qiáng)為0.1?1.0Pa氬氣環(huán)境，襯底溫度為O?300°C，直流濺射功率為I?60kW。
[0039]優(yōu)選的，所述對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗具體為:采用去離子水對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗。透明導(dǎo)電膜在酸液中制絨后，其表面還殘留一些酸液，因此需要對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗，一般采用去離子水對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗，并將其烘干后得到清潔的絨面透明導(dǎo)電膜。
[0040]對(duì)于上述任一實(shí)施例，所述透明導(dǎo)電膜的材質(zhì)為摻鋁氧化鋅，其中鋁的摻雜濃度為1%?1.2%，例如鋁的摻雜濃度為1%、1.1%、1.15%或1.2%。
[0041]另外，所述透明導(dǎo)電膜的厚度為700?1200nm(納米)，例如，厚度為700nm、900nm、lOOOnm、IlOOnm或1200nm,更優(yōu)的，所述透明導(dǎo)電膜的厚度為lOOOnm。
[0042]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種絨面透明導(dǎo)電膜，通過(guò)上述任一實(shí)施例的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法得到。通過(guò)上述任一種制備方法得到的絨面透明導(dǎo)電膜，具有良好的絨面均勻性，可用于得到大面積絨面透明導(dǎo)電膜。
[0043]本發(fā)明得到的絨面透明導(dǎo)電膜可沉積于玻璃襯底上，絨面透明導(dǎo)電膜之上可沉積硅基薄膜，再在硅基薄膜上沉積金屬層，形成硅基薄膜太陽(yáng)能電池。
[0044]以下列舉實(shí)施例具體說(shuō)明本發(fā)明絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法，為了說(shuō)明本發(fā)明絨面透明導(dǎo)電膜及其制備方法可以應(yīng)用于大尺寸的太陽(yáng)能電池，在以下實(shí)施例中以尺寸為2200mm*2600mm的大尺寸的太陽(yáng)能電池的制作為例，當(dāng)然,對(duì)于相當(dāng)尺寸或者更小尺寸的太陽(yáng)能電池，本發(fā)明的技術(shù)方案也適用。并且僅以絨面AZO透明導(dǎo)電膜的制作為例，本發(fā)明并不限于下述實(shí)施例。
[0045]實(shí)施例1
[0046]在襯底上形成AZO透明導(dǎo)電膜，具體包括:襯底可采用尺寸為2200mm*2600mm*3.2mm的超白玻璃，對(duì)超白玻璃襯底進(jìn)行清洗并烘干，在PVD設(shè)備中加熱襯底至O?300°C中一個(gè)合適的值，如180°C，在氣體壓強(qiáng)為0.1?1.0Pa的氬氣環(huán)境中，調(diào)節(jié)直流濺射功率為I?60kW中一個(gè)合適的值，如30kW，進(jìn)行磁控濺射制備一層厚度為IOOOnm的AZO透明導(dǎo)電膜，AZO透明導(dǎo)電膜中鋁的摻雜濃度為lwt% (重量分?jǐn)?shù))；具有AZO透明導(dǎo)電膜的玻璃為AZO導(dǎo)電玻璃，采用的PVD設(shè)備為美國(guó)Apply Film公司制AT0N2600型的磁控濺射設(shè)備；
[0047]形成絨面AZO透明導(dǎo)電膜，具體包括以下步驟:
[0048]對(duì)PVD設(shè)備生產(chǎn)出的AZO導(dǎo)電玻璃采用去離子水進(jìn)行浸潤(rùn)，使其浸潤(rùn)后溫度達(dá)到20 0C ；
[0049]在刻蝕設(shè)備中進(jìn)行配酸，酸液的溶質(zhì)為重量分?jǐn)?shù)為0.0365%的HC1，重量分?jǐn)?shù)為
0.04%的HF、重量分?jǐn)?shù)為0.1%的草酸及重量分?jǐn)?shù)為0.1%的醋酸，溶劑為去離子水；本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)上述酸液中溶質(zhì)的重量分?jǐn)?shù)通過(guò)不同初始濃度的溶液配制而成，例如取含量為36.5%的鹽酸0.1重量份、含量為40%的氫氟酸0.1重量份，含量為99.5%的草酸0.1重量份，以及含量為99%的醋酸0.1重量份以及去離子水99.6重量份混合均勻得到上述酸液；
[0050]在酸液中對(duì)調(diào)整溫度后的AZO透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，制絨時(shí)長(zhǎng)為60秒(S)；
[0051 ] 將制絨后的AZO導(dǎo)電玻璃用去離子水進(jìn)行清洗，用壓縮空氣烘干，得到絨面AZO透明導(dǎo)電膜。
[0052]實(shí)施例2~7及對(duì)比例1~3
[0053]實(shí)施例2~7及對(duì)比例1~3的制備步驟與實(shí)施例1相同，除了各步驟中具體參數(shù)不同之外，各實(shí)施例和各對(duì)比例各步驟的具體工藝參數(shù)列于表1中。
[0054]表1實(shí)施例1~7及對(duì)比例I~3的各步驟的具體工藝參數(shù)表
[0055]
【權(quán)利要求】
1.一種絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，包括: 將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°c?25°C ； 在酸液中對(duì)調(diào)整溫度后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行制絨，制絨時(shí)長(zhǎng)為30?100秒，其中，所述酸液按重量百分比計(jì)，含有0.0365%?0.365%氯化氫，0.04%?0.4%氟化氫，0.1%?0.5%草酸及0.1%?0.5%醋酸； 對(duì)制絨后的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行清洗。
2.如權(quán)利要求1所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述酸液含有0.0365%?0.182%氯化氫，0.04%?0.2%氟化氫，0.1%?0.3%草酸及0.1%?0.3%醋酸。
3.如權(quán)利要求2所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述酸液含有0.182%氯化氫，0.08%氟化氫，0.2%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.0365%氯化氫，0.04%氟化氫，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氫，0.2%氟化氫，0.3%草酸及0.3%醋酸。
4.如權(quán)利要求1所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述制絨時(shí)長(zhǎng)為30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。
5.如權(quán)利要求1所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C具體為:將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底浸潤(rùn)在18°C?25°C的去離子水中，使其溫度調(diào)整至18°C?25°C。
6.如權(quán)利要求1所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至18°C?25°C具體為:將形成有透明導(dǎo)電膜的襯底的溫度調(diào)整至 18°C、20°C或 25°C。
7.如權(quán)利要求1所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述透明導(dǎo)電膜采用磁控濺射鍍膜的方法在襯底上形成。
8.如權(quán)利要求1?7任一項(xiàng)所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述透明導(dǎo)電膜的材質(zhì)為摻鋁氧化鋅，其中鋁的摻雜濃度為1%?1.2%。
9.如權(quán)利要求8所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述透明導(dǎo)電膜的厚度為700?1200nm。
10.如權(quán)利要求9所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法，其特征在于，所述透明導(dǎo)電膜的厚度為 700nm、900nm、IOOOnm 或 1200nm。
11.一種絨面透明導(dǎo)電膜，其特征在于，通過(guò)如權(quán)利要求1?10任一項(xiàng)所述的絨面透明導(dǎo)電膜的制備方法得到。
【文檔編號(hào)】H01B13/00GK103647001SQ201310532651
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2013年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月31日
【發(fā)明者】代智杰, 房現(xiàn)飛, 孟原, 王曉娜, 郭鐵 申請(qǐng)人:新奧光伏能源有限公司