托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)及托盤原點(diǎn)定位方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)及托盤原點(diǎn)定位方法，托盤原點(diǎn)定位方法包括步驟：S1，驅(qū)動(dòng)托盤旋轉(zhuǎn)，在預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)處朝向托盤發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由托盤上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)；S2，根據(jù)由托盤上表面反射的反射信號(hào)確定第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部，并根據(jù)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)與該反射部具有預(yù)設(shè)位置關(guān)系確定托盤的旋轉(zhuǎn)方向，再根據(jù)該反射部在托盤上的位置與原點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判斷原點(diǎn)位置是否位于托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，若是，控制驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；若否，控制驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。該托盤原點(diǎn)定位方法可以提高托盤原點(diǎn)定位的速率，從而提高工作效率。
【專利說(shuō)明】托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)及托盤原點(diǎn)定位方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及一種托盤原點(diǎn)定位
[0002]系統(tǒng)及托盤原點(diǎn)定位方法。

【背景技術(shù)】
[0003]金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(Metal-organicChemical Vapor Deposit1n,以下簡(jiǎn)稱M0CVD)是在氣相外延生長(zhǎng)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相生長(zhǎng)技術(shù)。具體地，MOCVD技術(shù)的基本原理是以III族、II族元素的有機(jī)化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)原材料，以熱分解反應(yīng)方式在被加工工件上進(jìn)行氣相外延，從而在被加工工件的表面生成各種II1-V族、I1-VI族化合物薄膜。在工藝完成之后，通常采用自動(dòng)控制的機(jī)械手對(duì)被加工工件進(jìn)行裝卸載工序，在進(jìn)行裝卸載工序之前需要對(duì)托盤進(jìn)行定位，以保證托盤和機(jī)械手之間的相對(duì)位置準(zhǔn)確，從而保證裝卸載的準(zhǔn)確性。
[0004]目前存在一種托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，如圖1所不，在托盤10上表面上設(shè)置有缺口11，預(yù)設(shè)托盤的原點(diǎn)位置為托盤10的上表面上與缺口 11所在位置存在對(duì)應(yīng)關(guān)系的位置處，該托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)包括控制單元、驅(qū)動(dòng)單元和檢測(cè)單元，其中，驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)托盤旋轉(zhuǎn)；檢測(cè)單元包括激光位移傳感器12，其設(shè)置在缺口 11位置處的上方，用于在托盤10旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中向托盤10發(fā)送檢測(cè)信號(hào)，并接受由托盤10上表面反射的信號(hào)，且將其發(fā)送至控制單元；控制單元根據(jù)該反射信號(hào)判斷檢測(cè)的托盤10的當(dāng)前位置是否為缺口 11所在位置，若是，根據(jù)原點(diǎn)位置與該缺口 11所在位置的對(duì)應(yīng)關(guān)系確定原點(diǎn)位置，并控制驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)托盤10旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確地定位托盤原點(diǎn)位置。
[0005]然而，雖然采用上述托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確地定位托盤原點(diǎn)位置，但是，其不可避免地存在以下問(wèn)題:如圖2所示，當(dāng)缺口 11位于激光位移傳感器12在托盤10相對(duì)應(yīng)位置處順時(shí)針?lè)较颍彝斜P10順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，則托盤10需要旋轉(zhuǎn)較大角度(360度-A度)才能檢測(cè)到缺口 11所在位置，并且，在整個(gè)托盤原點(diǎn)定位的過(guò)程中托盤10的轉(zhuǎn)速很低，這就需要浪費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間定位托盤原點(diǎn)位置，造成托盤原定定位的速度太慢，從而導(dǎo)致工作效率低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題，提供了一種托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)及托盤原點(diǎn)定位方法，其可以提高托盤原點(diǎn)定位的速率，從而可以提高工作效率，進(jìn)而可以提高經(jīng)濟(jì)效益。
[0007]本發(fā)明提供一種托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，包括托盤、檢測(cè)單元、控制單元和驅(qū)動(dòng)單元，其中所述托盤為圓形結(jié)構(gòu)，且在所述托盤的上表面上沿其周向設(shè)置至少兩個(gè)與所述托盤上表面的反射率不同的反射部；所述托盤的原點(diǎn)位置與所述反射部在所述托盤上的位置具有對(duì)應(yīng)關(guān)系；所述驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)所述托盤旋轉(zhuǎn)；所述檢測(cè)單元設(shè)置在所述托盤上方的各個(gè)所述反射部經(jīng)過(guò)的預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)處，用以在所述托盤旋轉(zhuǎn)時(shí)朝向所述托盤發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由所述托盤上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)，且將其發(fā)送至所述控制單元；所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)在所述托盤的上表面的對(duì)應(yīng)位置與所述至少兩個(gè)反射部在所述托盤上表面的位置具有預(yù)設(shè)位置關(guān)系，且所述至少兩個(gè)反射部中至少沿所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部沿托盤周向上的尺寸不同和/或反射率不同；所述控制單元用于根據(jù)由所述托盤上表面反射的反射信號(hào)確定第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的所述反射部，并根據(jù)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)與該反射部在托盤上表面上具有的預(yù)設(shè)位置關(guān)系確定所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向，再根據(jù)該反射部在所述托盤上的位置與所述原點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判斷所述原點(diǎn)位置是否位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，若是，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；若否，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0008]其中，所述至少兩個(gè)反射部中至少沿所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部的反射率不同具體設(shè)置為:每個(gè)所述反射部與所述托盤上表面之間存在高度差，且高度差不同。
[0009]其中，每個(gè)所述反射部為其在所述托盤的上表面上的位置處設(shè)置的凹槽或者凸臺(tái)。
[0010]其中，所述至少兩個(gè)反射部中至少沿所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部沿托盤周向上的尺寸不同，且所述反射部為其在所述托盤的上表面上的位置處設(shè)置的缺口。
[0011]其中，所述檢測(cè)單元包括距離傳感器。
[0012]優(yōu)選地，所述至少兩個(gè)反射部在所述托盤上表面上的位置相鄰近，并且所述至少兩個(gè)反射部中的其中一個(gè)反射部在所述托盤上表面上的位置預(yù)設(shè)為所述原點(diǎn)位置。
[0013]本發(fā)明還提供一種托盤原點(diǎn)定位方法，其采用本發(fā)明提供的上述托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)定位托盤的原點(diǎn)位置，具體包括以下步驟:S1，驅(qū)動(dòng)所述托盤旋轉(zhuǎn)，并在所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)處朝向所述托盤發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由所述托盤上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)；S2，根據(jù)由所述托盤上表面反射的反射信號(hào)確定第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的所述反射部，并根據(jù)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)與該反射部在所述托盤上表面上具有的預(yù)設(shè)位置關(guān)系確定所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向，再根據(jù)該反射部在所述托盤上的位置與所述原點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判斷所述原點(diǎn)位置是否位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，若是，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；若否，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0014]其中，在所述托盤的上表面上沿其周向且逆時(shí)針依次間隔設(shè)置第一反射部、第二反射部和第三反射部，且沿所述托盤周向上的尺寸不同，所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)在所述托盤的上表面的對(duì)應(yīng)位置位于所述第一反射部和所述第三反射部之間，定義所述第一反射部經(jīng)過(guò)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)，定義所述第三反射部經(jīng)過(guò)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)；所述步驟S2包括以下步驟:S21，根據(jù)所述托盤上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與所述托盤上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，進(jìn)入步驟S22 ;S22，監(jiān)測(cè)該反射信號(hào)的持續(xù)時(shí)間，并判斷所述持續(xù)時(shí)間是否等于所述標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)或者所述標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)，若等于所述標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)，則確定所述第一反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S23，若等于所述標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)，則確定所述第三反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S24 ;S23，確定所述托盤順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26;S24，確定所述托盤逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ；S25,控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；S26，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0015]其中，在所述托盤的上表面上沿其周向且逆時(shí)針依次間隔設(shè)置第一反射部、第二反射部和第三反射部，且所述第一反射部、第二反射部和第三反射部的反射率不同，所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)在所述托盤的上表面的對(duì)應(yīng)位置位于所述第一反射部和第三反射部之間，定義所述第一反射部反射的反射信號(hào)為第一反射信號(hào)，定義所述第三反射部反射的反射信號(hào)為第三反射信號(hào)；所述步驟S2包括以下步驟:S21，根據(jù)所述托盤上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與所述托盤上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，則進(jìn)入步驟S22 ;S22，判斷該反射信號(hào)是否與所述第一反射信號(hào)或所述第三反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若與所述第一反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定所述第一反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S23，若與所述第三反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定所述第三反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S24 ；S23,確定所述托盤順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ；S24，確定所述托盤逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ;S25，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；S26，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0016]其中，所述第一反射部、所述第二反射部和所述第三反射部與所述托盤上表面之間存在高度差，且高度差不同。
[0017]優(yōu)選地，在所述步驟SI中，驅(qū)動(dòng)所述托盤高速旋轉(zhuǎn)，并且，在所述步驟S2中，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤減速繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，或者，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤減速反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0018]本發(fā)明具有下述有益效果:
[0019]本發(fā)明提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其在托盤的上表面上沿其周向設(shè)置至少兩個(gè)與托盤上表面的反射率不同的反射部，且至少兩個(gè)反射部中至少沿托盤的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部在托盤周向上的尺寸不同和/或反射率不同；借助控制單元根據(jù)由檢測(cè)單元向托盤上表面發(fā)射的檢測(cè)信號(hào)并反射的反射信號(hào)先確定托盤的旋轉(zhuǎn)方向，再判斷原點(diǎn)位置位于托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向或反方向，并控制驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)或反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，這與現(xiàn)有技術(shù)驅(qū)動(dòng)托盤沿其旋轉(zhuǎn)方向持續(xù)旋轉(zhuǎn)直至原點(diǎn)位置相比，可以根據(jù)實(shí)際情況判斷托盤應(yīng)該沿在其旋轉(zhuǎn)方向的正方向或者反方向旋轉(zhuǎn)，以減少托盤旋轉(zhuǎn)的角位移，因而可以提高托盤原點(diǎn)定位的速率，從而可以提高工作效率，進(jìn)而可以提高經(jīng)濟(jì)效益。
[0020]本發(fā)明提供的托盤原點(diǎn)定位方法，其采用本發(fā)明提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)定位托盤的原點(diǎn)位置，可以提高托盤原點(diǎn)定位的速率，從而可以提高工作效率，進(jìn)而可以提高經(jīng)濟(jì)效益。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1為現(xiàn)有的托盤的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖；
[0022]圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的原理框圖；
[0023]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的托盤的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖；
[0024]圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的托盤的另一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖；
[0025]圖5本發(fā)明第二實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的托盤的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖；以及
[0026]圖6為本發(fā)明提供的托盤原點(diǎn)定位方法的流程框圖。

【具體實(shí)施方式】
[0027]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)及托盤原點(diǎn)定位方法進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0028]圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的原理框圖。圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的托盤的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。請(qǐng)一并參閱圖2和圖3，本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)包括托盤20、檢測(cè)單元21、控制單元22和驅(qū)動(dòng)單元23。其中，托盤20為圓形結(jié)構(gòu)，且在托盤20的上表面上沿其周向設(shè)置至少兩個(gè)與托盤20上表面的反射率不同的反射部24 ;托盤20的原點(diǎn)位置與反射部24在托盤20上的位置具有對(duì)應(yīng)關(guān)系；驅(qū)動(dòng)單元23用于驅(qū)動(dòng)托盤20旋轉(zhuǎn)；檢測(cè)單元21設(shè)置在托盤20上方的各個(gè)反射部24經(jīng)過(guò)的預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25處，用以在托盤20旋轉(zhuǎn)時(shí)朝向托盤20發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由托盤20上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)，且將其發(fā)送至控制單元22 ;預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20的上表面的對(duì)應(yīng)位置與至少兩個(gè)反射部24在托盤20的上表面上的位置具有預(yù)設(shè)位置關(guān)系，且至少兩個(gè)反射部24中至少沿托盤20的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的反射部24沿托盤20周向上的尺寸不同和/或反射率不同；控制單元22用于根據(jù)由托盤20上表面反射的反射信號(hào)確定第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的反射部24，并根據(jù)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25與該反射部24在托盤20上表面上具有的預(yù)設(shè)位置關(guān)系判斷托盤20的旋轉(zhuǎn)方向，再根據(jù)該反射部24在托盤20上的位置與原點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判斷原點(diǎn)位置是否位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，若是，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；若否，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。容易理解，檢測(cè)單元21在預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25向托盤20上表面的與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25相對(duì)應(yīng)的位置發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收該檢測(cè)信號(hào)從托盤20上表面的與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25相對(duì)應(yīng)的位置處反射的反射信號(hào)。
[0029]在本實(shí)施例中，在托盤20的上表面上沿其周向且逆時(shí)針依次間隔設(shè)置三個(gè)與托盤20上表面的反射率不同的第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c，且沿托盤20周向上的尺寸不同，并且，第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c的反射率相同。由于第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c與托盤20上表面的反射率不同可以具體設(shè)置為:第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c與托盤20上表面之間存在高度差，且高度差不同，具體地，每個(gè)反射部24可以為在托盤20的上表面上的位置處設(shè)置的凹槽、凸臺(tái)或者缺口。因此，第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c的反射率相同，則第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c與托盤20上表面之間的高度差相同。
[0030]檢測(cè)單元21包括距離傳感器，距離傳感器包括激光位移傳感器或者光電傳感器，檢測(cè)單元21向托盤20發(fā)送檢測(cè)信號(hào)(例如，光信號(hào))，由于每個(gè)反射部24與托盤20的上表面之間存在高度差，且高度差相同，這使得在托盤20上表面和托盤20上表面上各個(gè)反射部24在旋轉(zhuǎn)至預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25相對(duì)應(yīng)位置處時(shí)反射的反射信號(hào)不同，且每個(gè)反射部24在旋轉(zhuǎn)至于預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25相對(duì)應(yīng)位置處時(shí)反射的反射信號(hào)相同，但是，由于每個(gè)反射部24沿托盤20周向上的尺寸不同，這使得每個(gè)反射部24經(jīng)過(guò)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25所需的時(shí)間不同。
[0031]在實(shí)際應(yīng)用中，三個(gè)反射部24與托盤20上表面的反射率不同也可以具體設(shè)置為:托盤20上表面的材料與各個(gè)反射部24的材料不同。在本實(shí)施例中，三個(gè)反射部24的反射率相同，則各個(gè)反射部24的材料相同，在這種情況下，光電傳感器向托盤20上表面發(fā)送光信號(hào)，且各個(gè)反射部24反射的光信號(hào)與托盤20上表面反射光信號(hào)不同，各個(gè)反射部24反射的光信號(hào)相同。
[0032]下面詳細(xì)地描述采用本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)如何實(shí)現(xiàn)對(duì)托盤20進(jìn)行原點(diǎn)定位:具體地，預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20的上表面的對(duì)應(yīng)位置與至少兩個(gè)反射部24在托盤20的上表面的位置之間的預(yù)設(shè)位置關(guān)系為:預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20上表面的對(duì)應(yīng)位置位于第一反射部24a和第三反射部24c之間；并且，定義第一反射部24a經(jīng)過(guò)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl，定義第三反射部24c經(jīng)過(guò)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3;包括以下步驟:
[0033]S10，驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20旋轉(zhuǎn)，檢測(cè)單元21在托盤20旋轉(zhuǎn)時(shí)朝向托盤20發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由托盤20上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)，且將其發(fā)送至控制單元22 ；
[0034]S20，控制單元22根據(jù)托盤20上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與托盤20上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，則進(jìn)入步驟S30 ；
[0035]S30，控制單元22監(jiān)測(cè)該反射信號(hào)的持續(xù)時(shí)間，并判斷該持續(xù)時(shí)間預(yù)是否等于標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl或者標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3,若等于標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl,則確定第一反射部24a為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S40，若等于標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3，則確定第三反射部24c為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S50 ；
[0036]S40，控制單元22確定托盤20順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S60，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S70 ；
[0037]S50，控制單元22確定托盤20逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S60，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S70 ；
[0038]S60，控制單元22控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；
[0039]S70，控制單元22控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0040]在步驟S60?S70中，為了防止托盤20旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置時(shí)托盤20側(cè)滑，來(lái)保證托盤20原點(diǎn)定位的準(zhǔn)確，驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20低速旋轉(zhuǎn)；但由于在步驟SlO?S50中用于確定托盤20的旋轉(zhuǎn)方向，驅(qū)動(dòng)單元23可以驅(qū)動(dòng)托盤20高速旋轉(zhuǎn)，因此，在步驟S60?S70中，驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20減速旋轉(zhuǎn)直至旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，這樣可以在保證托盤20原點(diǎn)定位準(zhǔn)確的如提下進(jìn)一步提聞托盤20原點(diǎn)定位的速率。
[0041]在本實(shí)施例中，將第二反射部24b在托盤20上表面的位置預(yù)設(shè)為原點(diǎn)位置，則在步驟S40中，第二反射部24b沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向；在步驟S50中，第二反射部24b沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向。
[0042]優(yōu)選地，在本實(shí)施例中，至少兩個(gè)反射部24在托盤20上表面上的位置相鄰近，即，相鄰兩個(gè)反射部24在托盤20上的中心夾角較小；并且,至少兩個(gè)反射部24中的其中一個(gè)反射部24在托盤20上表面上的位置預(yù)設(shè)為原點(diǎn)位置，這使得在控制單元22確定托盤20的旋轉(zhuǎn)方向之后托盤20僅需要旋轉(zhuǎn)較小角度就可以快速到達(dá)原點(diǎn)位置，因而僅需要較短時(shí)間就可以快速到達(dá)原點(diǎn)位置，從而可以進(jìn)一步提高托盤20原點(diǎn)定位的速率。
[0043]需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20上表面的對(duì)應(yīng)位置位于第一反射部24a和第三反射部24c之間，但是，本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，定義第二反射部24b經(jīng)過(guò)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第二時(shí)長(zhǎng)T2，且當(dāng)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20上表面的對(duì)應(yīng)位置位于第一反射部24a和第二反射部24b之間時(shí)，在這種情況下，托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)同樣包括步驟SI?S7,且在步驟SI?S7中將第一反射部24a替換為第二反射部24b，將標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl替換為標(biāo)準(zhǔn)第二時(shí)長(zhǎng)T2，將第三反射部24c替換為第一反射部24a，將標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3替換為標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl ;當(dāng)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20上表面的對(duì)應(yīng)位置位于第二反射部24b和第三反射部24c之間時(shí)，在這種情況下，托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)也同樣包括步驟SI?S7，且在步驟SI?S7中將將第一反射部24a替換為第三反射部24c，將標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl替換為標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3，將第三反射部24c替換為第二反射部24b，將標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3替換為標(biāo)準(zhǔn)第二時(shí)長(zhǎng)T2。
[0044]還需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c沿托盤20周向上的尺寸不同，但是，本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，如圖4所示，為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的托盤的另一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖，也可以僅使沿托盤20的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的第一反射部24a和第三反射部24c沿托盤20周向上的尺寸不同，第二反射部24b沿托盤20周向上的尺寸可以與第一反射部24a沿托盤20周向上的尺寸相同，在這種情況下，預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25的托盤20上表面的對(duì)應(yīng)位置可以位于第一反射部24a和第三反射部24c之間，或者第二反射部24b和第三反射部24c之間。
[0045]綜上所述，本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其在托盤20的上表面上沿其周向設(shè)置至少兩個(gè)與托盤20上表面的反射率不同的反射部24，且至少兩個(gè)反射部24中至少沿托盤20的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的反射部24沿托盤周向上的尺寸不同和/或反射率不同；借助控制單元22根據(jù)由檢測(cè)單元21向托盤20上表面發(fā)射的檢測(cè)信號(hào)并反射的反射信號(hào)先確定托盤20的旋轉(zhuǎn)方向，再判斷原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向或反方向，并控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20繼續(xù)旋轉(zhuǎn)或反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，這與現(xiàn)有技術(shù)驅(qū)動(dòng)托盤20沿其旋轉(zhuǎn)方向持續(xù)旋轉(zhuǎn)直至原點(diǎn)位置相比，可以根據(jù)實(shí)際情況判斷托盤20應(yīng)該沿其旋轉(zhuǎn)方向的正方向或者反方向旋轉(zhuǎn)，以減少托盤20旋轉(zhuǎn)的角位移，因而可以提高托盤原點(diǎn)定位的速率，從而可以提高工作效率，進(jìn)而可以提高經(jīng)濟(jì)效益。
[0046]圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的托盤的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。請(qǐng)參閱圖5，本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)與上述第一實(shí)施例提供的原點(diǎn)定位系統(tǒng)相比，同樣包括托盤20、檢測(cè)單元21、控制單元22和驅(qū)動(dòng)單元23，由于托盤20、檢測(cè)單元21、控制單元22和驅(qū)動(dòng)單元23之間的關(guān)系和功能在上述第一實(shí)施例中已有了詳細(xì)的描述，在此不再贅述。
[0047]下面僅對(duì)本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)與上述第一實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的不同點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)描述:具體地，在本實(shí)施例中，第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c沿托盤20周向上的尺寸相同，且第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c的反射率不同,各個(gè)反射部24反射率不同具體設(shè)置為:每個(gè)反射部24與托盤20上表面之間存在高度差，且高度差不同。具體地，每個(gè)反射部24在托盤20的上表面上的位置處設(shè)置的凹槽的深度不同或者凸臺(tái)的高度不同，或者，三個(gè)反射部24分別為凹槽、凸臺(tái)和缺口。
[0048]下面詳細(xì)地描述采用本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)如何實(shí)現(xiàn)對(duì)托盤進(jìn)行原點(diǎn)定位:具體地，預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20的上表面的對(duì)應(yīng)位置與至少兩個(gè)反射部24在托盤20的上表面的位置之間的預(yù)設(shè)位置關(guān)系為:預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20上表面的對(duì)應(yīng)位置位于第一反射部24a和第三反射部24c之間；并且，定義第一反射部24a反射的反射信號(hào)為第一反射信號(hào)，定義第三反射部24b反射的反射信號(hào)為第三反射信號(hào)，包括以下步驟:
[0049]S10，驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20旋轉(zhuǎn)，檢測(cè)單元21在托盤20旋轉(zhuǎn)時(shí)朝向托盤20發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由托盤20上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)，且將其發(fā)送至控制單元22 ；
[0050]S20，控制單元22根據(jù)托盤20上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與托盤20上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，則進(jìn)入步驟S30 ；
[0051]S30，控制單元22判斷該反射信號(hào)是否與第一反射信號(hào)或第三反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若與第一反射部信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定第一反射部24a為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S40，若與第三反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定第三反射部24c為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S50 ；
[0052]S40，控制單元22確定托盤20順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S60，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S70 ；
[0053]S50，控制單元22確定托盤20逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S60，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S70 ；
[0054]S60，控制單元22控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；
[0055]S70，控制單元22控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0056]在實(shí)際應(yīng)用中，也可以第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c沿托盤20周向上的尺寸不同，且第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c的反射率不同，在這種情況下，托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的具體過(guò)程不僅可以采用本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的具體過(guò)程，也可以采用上述第一實(shí)施例中的提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)的具體過(guò)程。
[0057]需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c的反射率不同，但是，本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，也可以僅使沿托盤20的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的第一反射部24a和第三反射部24c的反射率不同，第二反射部24b的反射率可以與第一反射部24a或者第三反射部24c的反射率相同。
[0058]作為另一個(gè)技術(shù)方案，圖6為本發(fā)明提供的托盤原點(diǎn)定位方法的流程框圖。請(qǐng)參閱圖6，本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位方法采用上述實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)定位托盤的原點(diǎn)位置，具體包括以下步驟:
[0059]SI，驅(qū)動(dòng)托盤20旋轉(zhuǎn)，并在預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25處朝向托盤20發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由托盤20上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25相對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)；
[0060]S2，根據(jù)由托盤20上表面反射的反射信號(hào)確定第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的反射部24，并根據(jù)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25與該反射部24在托盤20上表面上具有的預(yù)設(shè)位置關(guān)系判斷托盤20的旋轉(zhuǎn)方向，再根據(jù)該反射部24在托盤20上的位置與原點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判斷原點(diǎn)位置是否位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，若是，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；若否，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0061]在本實(shí)施例中，在托盤20的上表面上沿其周向且逆時(shí)針依次間隔設(shè)置第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c，且沿托盤20周向上的尺寸不同，預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25在托盤20上表面的對(duì)應(yīng)位置位于第一反射部24a和第三反射部24c之間，定義第一反射部24a經(jīng)過(guò)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl，定義第三反射部24c經(jīng)過(guò)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3 ;步驟S2包括以下步驟:
[0062]S21，根據(jù)托盤20上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與托盤20上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，進(jìn)入步驟S22 ；
[0063]S22，監(jiān)測(cè)該反射信號(hào)的持續(xù)時(shí)間，并判斷持續(xù)時(shí)間是否等于標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl或者標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3，若等于標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)Tl，則確定第一反射部24a為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S23，若等于標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)T3，則確定第三反射部24c為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S24 ；
[0064]S23，確定托盤20順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ；
[0065]S24，確定托盤20逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ；
[0066]S25，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；
[0067]S26，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0068]在本實(shí)施例中，在步驟SI中，驅(qū)動(dòng)托盤20高速旋轉(zhuǎn)，并且，在步驟S2中，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20減速繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，或者，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20減速反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。容易理解，由于在托盤20原點(diǎn)定位過(guò)程的步驟S21?S24中用于確定托盤20的旋轉(zhuǎn)方向，驅(qū)動(dòng)單元23可以驅(qū)動(dòng)托盤20高速旋轉(zhuǎn)，在步驟S25?S26中，為了防止托盤20旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置時(shí)托盤20側(cè)滑，來(lái)保證托盤20原點(diǎn)定位的準(zhǔn)確，驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20減速旋轉(zhuǎn)直至旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，這樣可以在保證托盤原點(diǎn)定位準(zhǔn)確的前提下進(jìn)一步提高托盤原點(diǎn)定位的速率。
[0069]在實(shí)際應(yīng)用中，也可以第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c的反射率不同，具體地，第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c與托盤20上表面之間存在高度差，且高度差不同，定義第一反射部24a反射的反射信號(hào)為第一反射信號(hào)，定義第三反射部24c反射的反射信號(hào)為第三反射信號(hào)，在這種情況下，步驟S2包括以下步驟:
[0070]S21，根據(jù)托盤20上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與托盤20上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，則進(jìn)入步驟S22 ；
[0071]S22，判斷該反射信號(hào)是否與第一反射部信號(hào)或第三反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若與第一反射部信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定第一反射部24a為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S23，若與第三反射部信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定第三反射部24c為第一個(gè)到達(dá)與預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S24 ；
[0072]S23，確定托盤20順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ；
[0073]S24，確定托盤20逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)25對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定原點(diǎn)位置位于托盤20旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ；
[0074]S25，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；
[0075]S26，控制驅(qū)動(dòng)單元23驅(qū)動(dòng)托盤20反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
[0076]另外，在實(shí)際應(yīng)用中，也可以第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c沿托盤20周向上的尺寸不同，且第一反射部24a、第二反射部24b和第三反射部24c反射率不同。在這種情況下，托盤原點(diǎn)定位過(guò)程可以采用本實(shí)施例提供的上述兩個(gè)工作過(guò)程中的任意一個(gè)。
[0077]本實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位方法，其采用了上述實(shí)施例提供的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)定位托盤的原點(diǎn)位置，可以提高托盤原點(diǎn)定位的速率，從而可以提高工作效率，進(jìn)而可以提聞經(jīng)濟(jì)效益。
[0078]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其特征在于，包括托盤、檢測(cè)單元、控制單元和驅(qū)動(dòng)單元，其中 所述托盤為圓形結(jié)構(gòu)，且在所述托盤的上表面上沿其周向設(shè)置至少兩個(gè)與所述托盤上表面的反射率不同的反射部；所述托盤的原點(diǎn)位置與所述反射部在所述托盤上的位置具有對(duì)應(yīng)關(guān)系； 所述驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)所述托盤旋轉(zhuǎn)； 所述檢測(cè)單元設(shè)置在所述托盤上方的各個(gè)所述反射部經(jīng)過(guò)的預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)處，用以在所述托盤旋轉(zhuǎn)時(shí)朝向所述托盤發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由所述托盤上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)，且將其發(fā)送至所述控制單元； 所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)在所述托盤的上表面的對(duì)應(yīng)位置與所述至少兩個(gè)反射部在所述托盤上表面的位置具有預(yù)設(shè)位置關(guān)系，且所述至少兩個(gè)反射部中至少沿所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部沿托盤周向上的尺寸不同和/或反射率不同； 所述控制單元用于根據(jù)由所述托盤上表面反射的反射信號(hào)確定第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的所述反射部，并根據(jù)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)與該反射部在托盤上表面上具有的預(yù)設(shè)位置關(guān)系確定所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向，再根據(jù)該反射部在所述托盤上的位置與所述原點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判斷所述原點(diǎn)位置是否位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，若是，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；若否，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其特征在于，所述至少兩個(gè)反射部中至少沿所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部的反射率不同具體設(shè)置為:每個(gè)所述反射部與所述托盤上表面之間存在高度差，且高度差不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)所述反射部為其在所述托盤的上表面上的位置處設(shè)置的凹槽或者凸臺(tái)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其特征在于，所述至少兩個(gè)反射部中至少沿所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向和其反向的第一個(gè)旋轉(zhuǎn)到達(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的反射部沿托盤周向上的尺寸不同，且所述反射部為其在所述托盤的上表面上的位置處設(shè)置的缺□。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)單元包括距離傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)，其特征在于，所述至少兩個(gè)反射部在所述托盤上表面上的位置相鄰近，并且 所述至少兩個(gè)反射部中的其中一個(gè)反射部在所述托盤上表面上的位置預(yù)設(shè)為所述原點(diǎn)位置。
7.一種托盤原點(diǎn)定位方法，其特征在于，其采用上述權(quán)利要求1-6中的任意一項(xiàng)所述的托盤原點(diǎn)定位系統(tǒng)定位托盤的原點(diǎn)位置，包括以下步驟: SI，驅(qū)動(dòng)所述托盤旋轉(zhuǎn)，并在所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)處朝向所述托盤發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，并接收由所述托盤上表面在旋轉(zhuǎn)至與該預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的位置時(shí)反射的反射信號(hào)； S2，根據(jù)由所述托盤上表面反射的反射信號(hào)確定第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的所述反射部，并根據(jù)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)與該反射部在所述托盤上表面上具有的預(yù)設(shè)位置關(guān)系確定所述托盤的旋轉(zhuǎn)方向，再根據(jù)該反射部在所述托盤上的位置與所述原點(diǎn)位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判斷所述原點(diǎn)位置是否位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，若是，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置；若否，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的托盤原點(diǎn)定位方法，其特征在于，在所述托盤的上表面上沿其周向且逆時(shí)針依次間隔設(shè)置第一反射部、第二反射部和第三反射部，且沿所述托盤周向上的尺寸不同，所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)在所述托盤的上表面的對(duì)應(yīng)位置位于所述第一反射部和所述第三反射部之間，定義所述第一反射部經(jīng)過(guò)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)，定義所述第三反射部經(jīng)過(guò)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)所需時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)； 所述步驟S2包括以下步驟: S21，根據(jù)所述托盤上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與所述托盤上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，進(jìn)入步驟S22 ； S22，監(jiān)測(cè)該反射信號(hào)的持續(xù)時(shí)間，并判斷所述持續(xù)時(shí)間是否等于所述標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)或者所述標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)，若等于所述標(biāo)準(zhǔn)第一時(shí)長(zhǎng)，則確定所述第一反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S23，若等于所述標(biāo)準(zhǔn)第三時(shí)長(zhǎng)，則確定所述第三反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S24 ； S23，確定所述托盤順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ； S24，確定所述托盤逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ； S25，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置； S26，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的托盤原點(diǎn)定位方法，其特征在于，在所述托盤的上表面上沿其周向且逆時(shí)針依次間隔設(shè)置第一反射部、第二反射部和第三反射部，且所述第一反射部、第二反射部和第三反射部的反射率不同，所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)在所述托盤的上表面的對(duì)應(yīng)位置位于所述第一反射部和第三反射部之間，定義所述第一反射部反射的反射信號(hào)為第一反射信號(hào)，定義所述第三反射部反射的反射信號(hào)為第三反射信號(hào)； 所述步驟S2包括以下步驟: S21，根據(jù)所述托盤上表面反射的反射信號(hào)判斷當(dāng)前反射信號(hào)是否與所述托盤上表面的反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若否，則進(jìn)入步驟S22 ； S22，判斷該反射信號(hào)是否與所述第一反射信號(hào)或所述第三反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，若與所述第一反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定所述第一反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S23，若與所述第三反射信號(hào)相對(duì)應(yīng)，則確定所述第三反射部為第一個(gè)到達(dá)與所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處，并進(jìn)入步驟S24 ； S23，確定所述托盤順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ； S24，確定所述托盤逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，并判斷所述原點(diǎn)位置沿逆時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間是否小于沿順時(shí)針?lè)较虻竭_(dá)所述預(yù)設(shè)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置處的時(shí)間，若是，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的正方向，并進(jìn)入步驟S25，若否，則確定所述原點(diǎn)位置位于所述托盤旋轉(zhuǎn)方向的反方向，并進(jìn)入步驟S26 ； S25，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置； S26，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的托盤原點(diǎn)定位方法，其特征在于，所述第一反射部、所述第二反射部和所述第三反射部與所述托盤上表面之間存在高度差，且高度差不同。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的托盤原點(diǎn)定位方法，其特征在于，在所述步驟SI中，驅(qū)動(dòng)所述托盤高速旋轉(zhuǎn)，并且，在所述步驟S2中，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤減速繼續(xù)旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置，或者，控制所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述托盤減速反向旋轉(zhuǎn)至原點(diǎn)位置。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK104517878SQ201310461739
【公開日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】趙海洋 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司