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用于魚骨形差分電容器的結構和方法與流程

文檔序號:12603176閱讀:來源:國知局
技術總結
用于魚骨形差分電容器的結構和方法。本發(fā)明提供了一種集成電路,所述集成電路包括具有由第一軸線和與第一軸線垂直的第二軸線限定的表面的襯底;以及設置在所述襯底上的電容器結構。所述電容器結構包括第一導電部件;以及對稱配置在所述第一導電部件相對側的第二導電部件和第三導電部件。第一、第二以及第三導電部件通過相應的介電材料相互隔離。本發(fā)明還公開了用于魚骨形差分電容器的結構和方法。

技術研發(fā)人員:顏孝璁;林佑霖;郭晉瑋;陳和祥;鄭敏祺
受保護的技術使用者:臺灣積體電路制造股份有限公司
文檔號碼:201310014631
技術研發(fā)日:2013.01.15
技術公布日:2017.06.13

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