導(dǎo)熱性片以及導(dǎo)熱性片的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供厚度方向的導(dǎo)熱性良好的導(dǎo)熱性片。導(dǎo)熱性片含有導(dǎo)熱性組合物，該導(dǎo)熱性組合物含有有機(jī)硅樹脂、導(dǎo)熱性填料和使導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料，導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，至少含有氮化鋁作為填充材料。在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JISZ8729”和“JISZ8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。
【專利說明】導(dǎo)熱性片以及導(dǎo)熱性片的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及促進(jìn)發(fā)熱性電子部件等散熱的導(dǎo)熱性片以及導(dǎo)熱性片的制造方法。
[0002]本申請(qǐng)以在日本國(guó)于2011年12月20日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)?zhí)柼卦?011-278788為基礎(chǔ)主張優(yōu)選權(quán)，通過參照，這些申請(qǐng)被援弓I到本申請(qǐng)中。
【背景技術(shù)】
[0003]伴隨著電子儀器的進(jìn)一步高性能化，半導(dǎo)體元件的高密度化、高貼裝化得到發(fā)展。與此相伴，將構(gòu)成電子儀器的電子部件所發(fā)熱的熱量進(jìn)一步高效率地散熱成為很重要的一環(huán)。為了高效率散熱，半導(dǎo)體經(jīng)由導(dǎo)熱性片安裝于散熱扇、散熱板等散熱裝置(heat sink)中。導(dǎo)熱性片廣泛使用將無機(jī)填料等填充材料分散并含在有機(jī)硅中所得的片。對(duì)這樣的散熱構(gòu)件要求導(dǎo)熱率的進(jìn)一步提高，通常以高導(dǎo)熱性為目的，通過提高配合于基體內(nèi)的無機(jī)填料的填充率來應(yīng)付。但是，如果提高無機(jī)填料的填充率，則柔軟性受損，或者無機(jī)填料的填充率高導(dǎo)致發(fā)生落粉，因此，提高無機(jī)填料的填充率是有限度的。
[0004]無機(jī)填料例如可舉出氧化鋁、氮化鋁、氫氧化鋁等。以高導(dǎo)熱率為目的，還可將氮化硼、石墨等鱗片狀顆粒、碳纖維等填充于基體內(nèi)。這是根據(jù)鱗片狀顆粒等所具有的導(dǎo)熱率的各向異性而設(shè)的。例如已知碳纖維在纖維方向具有約600-1200W/mK的導(dǎo)熱率。氮化硼在面方向具有約110W/mK、在與面方向垂直的方向具有約2W/mK左右的導(dǎo)熱率，具有各向異性。
[0005]通常已知，如果對(duì)導(dǎo)熱性片增加導(dǎo)熱性填料的填充量，則導(dǎo)熱率提高。但是纖維狀的導(dǎo)熱性填料與球狀填料相比，無法增多填充量。因此單獨(dú)的纖維狀導(dǎo)熱性填料無法獲得高的導(dǎo)熱率。這里，通過使纖維狀的導(dǎo)熱性填料的面方向與作為熱傳遞方向的導(dǎo)熱性片的厚度方向相同，即，通過使纖維狀的導(dǎo)熱性填料沿導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，可以使導(dǎo)熱性飛躍性地提聞。
[0006]專利文獻(xiàn)I中記載了涂布含有碳纖維的導(dǎo)熱性組合物并施加磁場(chǎng)而使碳纖維取向的方法。但是，碳纖維取向時(shí)必須有流動(dòng)性，因此在專利文獻(xiàn)I所記載的方法中，無法使導(dǎo)熱性填料的填充量增多。為此人們希望獲得導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片厚度方向取向，厚度方向的導(dǎo)熱性良好的導(dǎo)熱性片。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-335957號(hào)公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
本發(fā)明針對(duì)上述情況而提出，其目的在于提供厚度方向的導(dǎo)熱性良好的導(dǎo)熱性片以及導(dǎo)熱性片的制造方法。
[0009]解決課題的方案 本發(fā)明人進(jìn)行了深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn):在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*與導(dǎo)熱率之間具有高度相關(guān)關(guān)系，從而完成了本發(fā)明。
[0010]本發(fā)明涉及一種含有導(dǎo)熱性組合物的導(dǎo)熱性片，所述導(dǎo)熱性組合物含有固化性樹脂組合物和使導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料，其中，導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，至少含有氮化鋁作為填充材料，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。
[0011]本發(fā)明的導(dǎo)熱性片的制造方法具有下述工序:導(dǎo)熱性組合物制作工序，其中，制作導(dǎo)熱性組合物，該導(dǎo)熱性組合物含有固化性樹脂組合物、導(dǎo)熱性填料和使導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料；取向工序，其中，將在導(dǎo)熱性組合物制作工序中制作的導(dǎo)熱性組合物形成為柱狀，同時(shí)使導(dǎo)熱性填料沿柱狀的長(zhǎng)度方向取向；切斷工序，其中，通過超聲波切斷機(jī)，將柱狀的導(dǎo)熱性組合物沿著與長(zhǎng)度方向垂直相交的方向切斷成規(guī)定的尺寸，獲得導(dǎo)熱性片；導(dǎo)熱性片中，導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，至少含有氮化鋁作為填充材料，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色方式中，以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。
[0012]本發(fā)明的導(dǎo)熱率評(píng)價(jià)方法是:在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JISZ 8730”所記載的L*a*b*表色系中，使用以“L*”值表示的亮度L*，評(píng)價(jià)導(dǎo)熱性片的導(dǎo)熱率，所述導(dǎo)熱性片含有導(dǎo)熱性組合物，所述導(dǎo)熱性組合物含有固化性樹脂組合物、導(dǎo)熱性填料和使導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料；導(dǎo)熱性片中，導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，至少含有氮化鋁作為填充材料。
[0013]發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，通過在導(dǎo)熱性片中至少含有氮化鋁，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z8729”和“ JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，使以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上，導(dǎo)熱性填料可沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，可以使導(dǎo)熱性片的厚度方向的導(dǎo)熱性良好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014][圖1]圖1是用于說明本發(fā)明的導(dǎo)熱性片的制造方法的一個(gè)例子的流程圖。
[0015][圖2]圖2是表示在本發(fā)明的導(dǎo)熱性片的制造方法中的切斷工序中使用的超聲波切斷機(jī)的一個(gè)例子的外觀圖。
[0016][圖3]圖3是表示切片裝置的一個(gè)例子的外觀圖。
[0017][圖4]圖4是用于說明在本發(fā)明的其它導(dǎo)熱性片的制造方法的排列工序的一個(gè)例子的流程圖。
[0018][圖5]圖5是用于說明本發(fā)明的導(dǎo)熱性片的制造方法的臨時(shí)成型工序、排列工序和正式成型工序的一個(gè)例子的示意圖。
[0019][圖6]圖6是表示本發(fā)明的導(dǎo)熱性片的制造方法中的排列工序中得到的層合體的一個(gè)例子的斜視圖。
[0020][圖7]圖7(A)是表示未實(shí)施加壓的正式成型體的一個(gè)例子的斜視圖，圖7 (B)是表示實(shí)施加壓后的正式成型體的一個(gè)例子的斜視圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0021]以下參照附圖，按照以下順序?qū)Ρ景l(fā)明的實(shí)施方案(以下稱為本實(shí)施方案)進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0022]1.導(dǎo)熱性片
2.導(dǎo)熱性片的制造方法
3.其它導(dǎo)熱性片的制造方法
4.導(dǎo)熱率評(píng)價(jià)方法。
[0023]〈1.導(dǎo)熱性片>
本實(shí)施方案的導(dǎo)熱性片I含有導(dǎo)熱性組合物，該導(dǎo)熱性組合物含有固化性樹脂組合物、導(dǎo)熱性填料以及使導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料，導(dǎo)熱性填料沿導(dǎo)熱性片的厚度方向取向。在本實(shí)施方案的導(dǎo)熱性片中，導(dǎo)熱性片中至少含有氮化鋁，測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“ JIS Z 8729”和“ JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。通過使測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的亮度L*為32.5以上，使導(dǎo)熱性填料沿導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，可以使導(dǎo)熱性片的厚度方向的導(dǎo)熱性良好。
[0024](L*a*b*表色系中的亮度L*與導(dǎo)熱率之間的相關(guān)關(guān)系)
物體的顏色通常由亮度(明亮度)、色相(色調(diào))以及彩度(色飽和度)3個(gè)要素構(gòu)成。在準(zhǔn)確測(cè)定并表現(xiàn)這些要素時(shí)，需要可將它們客觀地?cái)?shù)值化來進(jìn)行表現(xiàn)的表色系。這樣的表色系例如可舉出L*a*b*表色系。L*a*b*表色系例如可通過市售的分光測(cè)色計(jì)等測(cè)定器容易地進(jìn)行測(cè)定。
[0025]L*a*b*表色系是例如“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的表色系，其中將各顏色配置于球形的色空間來進(jìn)行表示。在L*a*b*表色系中，亮度以縱軸(z軸)方向的位置表示，色相以外周方向的位置表示，彩度以距中心軸的距離表示。
[0026]表示亮度的縱軸(z軸)方向的位置以L*表示。亮度L*的值為正數(shù)，該數(shù)字越小則亮度越低，有變暗的傾向。具體來說，L*的值在相當(dāng)于黑色的O至相當(dāng)于白色的100之間變化。
[0027]在將球形的色空間在L*=50的位置沿水平切斷的截面圖中，X軸的正方向?yàn)榧t色方向，y軸的正方向?yàn)辄S色方向，X軸的負(fù)方向?yàn)榫G色方向，y軸的負(fù)方向?yàn)樗{(lán)色方向。X軸方向的位置通過取-60至+60的值的a*表示。y軸方向的位置通過取_60至+60的值的b*表示。這樣，a*和b*是表示色度的正負(fù)數(shù)字，越接近O則越黑。色相和彩度由它們的a*值和b*值表示。
[0028]在L*a*b*表色系中，亮度L*為32以上則發(fā)白，亮度L*低于32則發(fā)黑。在L*a*b*表色系中，a*低于-1則發(fā)綠，a*為-1以上則發(fā)紅。b*低于-1則發(fā)藍(lán)，b*超過+1則發(fā)黃。
[0029]例如在使用L*a*b*表色系對(duì)含有碳纖維作為導(dǎo)熱性填料、含有氮化鋁和氧化鋁作為填充材料的導(dǎo)熱性片的截面測(cè)定黑色度時(shí)，亮度L*為32.5以上則發(fā)白。其原因在于，亮度L*為32.5以上，則從與截面垂直的方向觀察導(dǎo)熱性片時(shí)，導(dǎo)熱性片中的導(dǎo)熱性填料的面積減少，另外白色的氧化鋁和氮化鋁露出導(dǎo)熱性片的表面。即，亮度L*為32.5以上，則意味著導(dǎo)熱性填料沿導(dǎo)熱性片的厚度方向取向。
[0030]另一方面，在使用L*a*b*表色系對(duì)含有碳纖維作為導(dǎo)熱性填料、含有氮化鋁和氧化鋁作為填充材料的導(dǎo)熱性片的截面測(cè)定黑色度時(shí)，亮度L*低于32.5則發(fā)黑。其原因在于，亮度L*低于32.5，則從與截面垂直的方向觀察導(dǎo)熱性片時(shí)，導(dǎo)熱性片中的導(dǎo)熱性填料的面積增大，另外白色的氧化鋁和氮化鋁難以從導(dǎo)熱性片的表面露出。即，亮度L*低于32.5，則意味著與亮度L*為32.5以上時(shí)比較，導(dǎo)熱性填料未沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向。
[0031]通常將導(dǎo)熱率高的導(dǎo)熱性填料填充于導(dǎo)熱性片中，則導(dǎo)熱性片的導(dǎo)熱率提高。原本認(rèn)為，例如大量填充浙青基碳纖維作為導(dǎo)熱性填料，則導(dǎo)熱率提高。即認(rèn)為，導(dǎo)熱性片表面的亮度L*減小，則導(dǎo)熱率提高。但是要獲得高導(dǎo)熱率，并不是單純地增加導(dǎo)熱性填料的含量，而是，不僅要添加填充材料來保持形狀，并且降低擠出時(shí)導(dǎo)熱性組合物的粘度、使導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向也是很重要的。
[0032]本發(fā)明人進(jìn)行了深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z8729”和“ JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*與導(dǎo)熱率之間具有高度的相關(guān)關(guān)系。還發(fā)現(xiàn)，為了使導(dǎo)熱性填料沿導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，與導(dǎo)熱性填料的配合量相比，導(dǎo)熱率比導(dǎo)熱性填料低的氮化鋁的配合量有很大影響。即，通過使導(dǎo)熱性片中至少含有氮化鋁，并使測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的亮度L*為32.5以上，則使導(dǎo)熱性填料沿導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，可以使導(dǎo)熱性片的厚度方向的導(dǎo)熱性良好。
[0033](固化性樹脂組合物)
導(dǎo)熱性片中所含的固化性樹脂組合物沒有特別限定，例如可使用有機(jī)硅類粘接劑、丙烯酸酯樹脂類粘接劑等。有機(jī)硅類粘接劑可以使用縮合固化型或加成固化型的粘接劑。固化性樹脂組合物的含量沒有特別限定，例如可以是25-45體積％。
[0034](導(dǎo)熱性填料)
導(dǎo)熱性填料例如可使用碳纖維，特別優(yōu)選使用浙青基的碳纖維。浙青基的碳纖維是以浙青為主原料，在熔融紡絲、不熔化和碳化等各處理工序后，以2000-3000°C或超過3000°C的高溫進(jìn)行熱處理而石墨化的碳纖維。原料浙青分為光學(xué)無秩序、不顯示偏向的各向同性浙青，和構(gòu)成分子排列成液晶狀、顯示光學(xué)各向異性的各向異性浙青(中間相浙青)。由各向異性浙青制造的碳纖維比由各向同性浙青制造的碳纖維的機(jī)械特性優(yōu)異，電學(xué)和導(dǎo)熱性提高。因此優(yōu)選使用中間相浙青基的石墨化碳纖維。
[0035]導(dǎo)熱性填料的平均纖維長(zhǎng)度優(yōu)選為100 μ m以上。通過使導(dǎo)熱性填料的平均纖維長(zhǎng)度為100 μ m以上，則導(dǎo)熱性填料容易沿同一方向排列，因此可以使導(dǎo)熱性片在厚度方向的導(dǎo)熱性更為良好。
[0036]導(dǎo)熱性片中的導(dǎo)熱性填料含量?jī)?yōu)選為15-25體積％。通過使導(dǎo)熱性填料的含量為15體積％以上，可以更有效地降低熱阻值，因此可以使導(dǎo)熱性片在厚度方向的導(dǎo)熱性更為良好。通過使導(dǎo)熱性填料的含量為25體積％以下，例如在通過擠出機(jī)擠出導(dǎo)熱性組合物時(shí)，可以防止擠出困難。
[0037](填充材料)
填充材料是根據(jù)與導(dǎo)熱性組合物中的導(dǎo)熱性填料的流速差異，用于使導(dǎo)熱性填料容易沿規(guī)定方向排列，即，用于使導(dǎo)熱性填料容易沿?cái)D出方向取向。填充材料還用于作為導(dǎo)熱性材料起作用。
[0038]填充材料例如可使用氧化鋁、氮化鋁、氮化硼、氧化鋅、硅粉末、金屬粉末，至少使用氮化鋁。氮化鋁在其分子內(nèi)具有氮，該氮阻礙固化性樹脂組合物的反應(yīng)，抑制導(dǎo)熱性組合物粘度的升高。因此，通過至少使用氮化鋁作為填充材料，與只使用氧化鋁顆粒作為填充材料時(shí)相比，可以更有效地使導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向即沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向。因此，通過至少使用氮化鋁作為填充材料，可以使導(dǎo)熱性填料更有效地沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，因此，可以使導(dǎo)熱性片厚度方向的導(dǎo)熱性良好。
[0039]另外，通過使用粒徑不同的2種以上的球狀顆粒作為填充材料，可以更有效地使導(dǎo)熱性填料容易沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向。結(jié)果，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z8729”和“ JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*可以更確實(shí)地為32.5以上。這樣，通過使用粒徑不同的2種以上的球狀顆粒作為填充材料，使導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，因此可以使導(dǎo)熱性片在厚度方向的導(dǎo)熱性更為良好。
[0040]導(dǎo)熱性片中的填充材料的含量?jī)?yōu)選為40-50體積％。另外，優(yōu)選氮化鋁在導(dǎo)熱性片中含有5.1體積％以上。通過使導(dǎo)熱性片中的氮化鋁的含量為5.1體積％以上，可以有效地抑制導(dǎo)熱性組合物的粘度升高，更有效地使導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向。結(jié)果，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*可以更有效地為32.5以上。這樣，通過使導(dǎo)熱性片中氮化鋁的含量為5.1體積％以上，可以使導(dǎo)熱性片在厚度方向的導(dǎo)熱性更為良好。
[0041]填充材料的平均粒徑優(yōu)選為0.5-5 μ m。通過使填充材料的平均粒徑為0.5 μ m以上5 μ m以下，可作為導(dǎo)熱性材料充分起作用，并且，在導(dǎo)熱性組合物中，導(dǎo)熱性填料的取向難以打亂，因此可以使導(dǎo)熱性片I在厚度方向的導(dǎo)熱性更為良好。
[0042]另外，如上所述，使用粒徑不同的2種以上的球狀顆粒作為填充材料時(shí)，優(yōu)選使大的球狀顆粒為2-5 μ m,小的球狀顆粒為0.3-2 μ m,由此可以更有效地使導(dǎo)熱性填料容易沿著導(dǎo)熱性片的厚度方向取向。結(jié)果，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“ JIS Z 8729”和“ JIS Z8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*可以更確實(shí)地為32.5以上。
[0043]需要說明的是，上述說明中，以L*a*b*表色系示例，但表色系的選擇方式?jīng)]有特別限定，只要是可換算為L(zhǎng)*a*b*表色系的表色系即可。例如可以是XYZ表色系、L*C*h表色系。
[0044]<2.導(dǎo)熱性片的制造方法〉
上述導(dǎo)熱性片I例如可按照以下的制造方法制造。本實(shí)施方案的導(dǎo)熱性片的制造方法如圖1所示，具有導(dǎo)熱性組合物制作工序S1、取向工序S2和切斷工序S3。
[0045](導(dǎo)熱性組合物制作工序SI)
在導(dǎo)熱性組合物制作工序SI中，制作上述導(dǎo)熱性組合物。導(dǎo)熱性組合物中的配合量例如優(yōu)選導(dǎo)熱性填料為15-25體積％，填充材料為40-50體積％。另外，在導(dǎo)熱性組合物中，優(yōu)選含有5.1體積％以上氮化鋁作為填充材料。
[0046](取向工序S2)
在取向工序S2中，將在導(dǎo)熱性組合物制作工序SI中制作的導(dǎo)熱性組合物形成為柱狀，同時(shí)使導(dǎo)熱性填料沿柱狀的長(zhǎng)度方向取向。在取向工序S2中，例如通過擠出到涂布了脫模材料的模具中，如圖2所示，可以形成導(dǎo)熱性填料沿柱狀的長(zhǎng)度方向L取向的柱狀導(dǎo)熱性組合物2?；蛘撸谌∠蚬ば騍2中，例如也可以將在導(dǎo)熱性組合物制作工序SI中制作的導(dǎo)熱性組合物涂布于涂布了脫模材料的聚酯薄膜上，形成圖2所示的柱狀導(dǎo)熱性組合物2。[0047](切斷工序S3)
在切斷工序S3中，通過超聲波切斷機(jī)，將在取向工序S2中形成的柱狀的導(dǎo)熱性組合物2沿與長(zhǎng)度方向垂直相交的方向切斷成規(guī)定的尺寸，獲得導(dǎo)熱性片I。
[0048]在切斷工序S3中，例如如圖2和圖3所示，通過使用超聲波切斷機(jī)3，以超聲波切割器4將柱狀的導(dǎo)熱性組合物2沿著與柱狀的導(dǎo)熱性組合物2的長(zhǎng)度方向L垂直相交的方向V切片，可在保持導(dǎo)熱性填料的取向的狀態(tài)下形成導(dǎo)熱性片I。因此，導(dǎo)熱性填料的取向保持在厚度方向，可獲得導(dǎo)熱特性良好的導(dǎo)熱性片I。
[0049]超聲波切斷機(jī)3如圖3所示，具備放置柱狀的導(dǎo)熱性組合物2的工作臺(tái)5，和邊施加超聲波振動(dòng)邊將工作臺(tái)5上的柱狀的導(dǎo)熱性組合物2進(jìn)行切片的超聲波切割器4。
[0050]工作臺(tái)5中，在金屬制的移動(dòng)臺(tái)6上配設(shè)有硅橡膠7。移動(dòng)臺(tái)6可通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)8沿規(guī)定方向移動(dòng)，將柱狀的導(dǎo)熱性組合物2依次送往超聲波切割器4的下部進(jìn)行操作。硅橡膠7具有足以承受超聲波切割器4的刀尖的厚度。工作臺(tái)5中，在硅橡膠7上放置柱狀的導(dǎo)熱性組合物2，配合超聲波切割器4的切片操作，使移動(dòng)臺(tái)6向規(guī)定方向移動(dòng)，將柱狀的導(dǎo)熱性組合物2依次送至超聲波切割器4的下部。
[0051]超聲波切割器4具有:將柱狀的導(dǎo)熱性組合物2進(jìn)行切片的刀9、對(duì)刀9給予超聲波振動(dòng)的超聲波發(fā)振機(jī)構(gòu)10、使刀9進(jìn)行升降操作的升降機(jī)構(gòu)11。
[0052]刀9是刀尖朝向工作臺(tái)5，通過升降機(jī)構(gòu)11進(jìn)行升降操作，由此將放置于工作臺(tái)5上的柱狀的導(dǎo)熱性組合物2進(jìn)行切片。刀9的尺寸、材質(zhì)根據(jù)柱狀的導(dǎo)熱性組合物2的大小、組成等確定。例如刀9由寬40mm、厚度1.5mm、刀尖角度10°的鋼形成。
[0053]超聲波發(fā)振機(jī)構(gòu)10沿著柱狀的導(dǎo)熱性組合物2的切片方向?qū)Φ?給予超聲波振動(dòng)，例如發(fā)送頻率為20.5kHz，振幅可調(diào)節(jié)為50μπι、60μπι、70μπι這3個(gè)階段。
[0054]這樣的超聲波切斷機(jī)3通過邊對(duì)超聲波切割器4給予超聲波振動(dòng)邊對(duì)柱狀的導(dǎo)熱性組合物2進(jìn)行切片，可以使導(dǎo)熱片I的導(dǎo)熱性填料的取向保持在導(dǎo)熱性片I的厚度方向。
[0055]一邊通過超聲波切斷機(jī)3給予超聲波振動(dòng)一邊進(jìn)行切片的導(dǎo)熱性片1，與不給予超聲波振動(dòng)而進(jìn)行切片的導(dǎo)熱性片相比，將熱阻抑制為較低。其原因在于，超聲波切斷機(jī)3沿著切片方向?qū)Τ暡ㄇ懈钇?給予超聲波振動(dòng)，因此界面熱阻低，沿著導(dǎo)熱性片I的厚度方向取向的導(dǎo)熱性填料難以因刀9而翻倒。而在未給予超聲波振動(dòng)而進(jìn)行切片的導(dǎo)熱性片中，由于刀的摩擦阻力使導(dǎo)熱性填料的取向混亂，減少露出于切面，由此熱阻升高。因此，通過使用超聲波切斷機(jī)3，可以獲得導(dǎo)熱特性優(yōu)異的導(dǎo)熱性片I。
[0056]根據(jù)如上所述的導(dǎo)熱性片的制作方法，可以得到導(dǎo)熱性片1，其中，導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片I的厚度方向取向，在測(cè)定導(dǎo)熱性片I的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z8730”所記載的L*a*b*表色方式中，以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。
[0057]<3.其它導(dǎo)熱性片的制造方法〉
導(dǎo)熱性片I可以按照如下所述的制造方法制造。即，如圖4所示，在上述的導(dǎo)熱性片的制造方法的取向工序S2中，可以具有臨時(shí)成型工序S21、排列工序S22和正式成型工序S23。根據(jù)這樣的導(dǎo)熱性片的制造方法，可以更確實(shí)地獲得導(dǎo)熱性片1，其中，在測(cè)定導(dǎo)熱性片I的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。即，可以更確實(shí)地使導(dǎo)熱性片I中的導(dǎo)熱性填料沿同一方向排列，可以使導(dǎo)熱性片I在厚度方向的導(dǎo)熱性更為良好。需要說明的是，在以下說明中，對(duì)于上述導(dǎo)熱性組合物制作工序Si省略其詳細(xì)說明。
[0058](臨時(shí)成型工序S21)
在臨時(shí)成型工序S21中，如圖5(A)所示，將在導(dǎo)熱性組合物制作工序SI中制作的導(dǎo)熱性組合物12用擠出機(jī)13擠出，成型為其中導(dǎo)熱性填料沿著擠出方向取向的細(xì)長(zhǎng)柱狀的臨時(shí)成型體14 (以下稱為臨時(shí)成型體14)。
[0059]擠出機(jī)13例如如圖5(A)所示，構(gòu)成為細(xì)長(zhǎng)狀的筒型，優(yōu)選排出導(dǎo)熱性組合物12一側(cè)的開口部12B的口徑W2與本體部12A的內(nèi)徑Wl相比縮小直徑。擠出機(jī)13中，本體部12A的內(nèi)徑Wl是由長(zhǎng)度方向的規(guī)定位置向擠出方向縮小直徑為圓錐狀，開口部12B的口徑W2與本體部12A的內(nèi)徑Wl相比可以縮小直徑。通過將導(dǎo)熱性組合物12用這樣的擠出機(jī)13擠出，在擠出機(jī)13內(nèi)，使導(dǎo)熱性組合物12朝向與本體部12A的內(nèi)徑Wl相比縮小直徑的部分通過，由此，導(dǎo)熱性填料容易沿著擠出方向。由此可以更確實(shí)地使導(dǎo)熱性填料沿著臨時(shí)成型體14的長(zhǎng)度方向取向。
[0060]例如導(dǎo)熱性組合物12中的導(dǎo)熱性填料含量為15-25體積％時(shí)，優(yōu)選擠出機(jī)13的開口部12B的口徑W2為1.5-9.5mm左右。這種情況下，通過使開口部12B的口徑W2為1.5_以上，在將導(dǎo)熱性組合物12用擠出機(jī)13擠出時(shí)，可防止擠出困難。通過使開口部12B的口徑W2為9.5mm以下，導(dǎo)熱性填料的取向難以混亂，因此可以使導(dǎo)熱性片I在厚度方向的導(dǎo)熱性更為良好。
[0061]擠出機(jī)13中，開口部12B的截面形狀例如可以設(shè)成圓狀、三角狀、矩形狀、正方形狀，優(yōu)選設(shè)成矩形狀或正方形狀。通過使開口部12B的截面形狀為矩形狀或正方形狀，臨時(shí)成型體14可為棱柱狀。因此，在排列工序S22中，在使多個(gè)臨時(shí)成型體14在與長(zhǎng)度方向垂直的方向上以毗鄰方式排列，并將排列的多個(gè)臨時(shí)成型體14配設(shè)于與排列方向大約垂直相交的方向，獲得層合體14A(以下稱為層合體14A)時(shí)，層合體14A之間難以產(chǎn)生間隙。由此，層合體14A中難以含有氣泡，因此在正式成型工序S23中，可以獲得阻燃性更為優(yōu)異的正式成型體16。
[0062]臨時(shí)成型體14是通過擠出機(jī)13使導(dǎo)熱性填料沿?cái)D出方向取向的，是細(xì)長(zhǎng)柱狀的形狀，例如細(xì)長(zhǎng)四棱柱狀、細(xì)長(zhǎng)的三棱柱狀、細(xì)長(zhǎng)的圓柱狀。
[0063](排列工序S22)
在排列工序S22中，例如如圖5 (B)、圖5 (C)、圖6所示，將在臨時(shí)成型工序S21中成型的多個(gè)臨時(shí)成型體14在與長(zhǎng)度方向垂直相交的方向上以毗鄰方式排列，獲得層合體14A。例如在排列工序S22中，使臨時(shí)成型體14排列在規(guī)定的框15內(nèi)，將臨時(shí)成型體14配設(shè)成長(zhǎng)方體狀或立方體狀，得到層合體14A。在正式成型工序S23中，在使正式成型體16成型時(shí)，框15作為固定層合體14A的固定裝置使用，防止層合體14A發(fā)生較大變形?？?5例如由金屬形成。
[0064](正式成型工序S23)
正式成型工序S23中，例如如圖5(D)所示，通過使在排列工序S22中得到的層合體14A固化，如圖5(E)和圖7(A)、(B)所示，成型為其中構(gòu)成層合體14A的臨時(shí)成型體14彼此一體化的正式成型體16。使層合體14A固化的方法例如可舉出:通過加熱裝置對(duì)層合體14A進(jìn)行加熱的方法，或通過加熱加壓裝置對(duì)層合體14A進(jìn)行加熱加壓的方法。在使用丙烯酸酯樹脂作為構(gòu)成導(dǎo)熱性組合物12的固化性樹脂組合物時(shí)，例如通過在導(dǎo)熱性組合物12中含有異氰酸酯化合物，可以使層合體14A在常溫下固化。
[0065] 使這些層合體14A固化的方法優(yōu)選通過加熱加壓裝置對(duì)層合體14A進(jìn)行加熱加壓的方法，即，在使層合體14A固化時(shí)，在與構(gòu)成層合體14A的多個(gè)臨時(shí)成型體14的長(zhǎng)度方向垂直相交的方向(垂直方向)上加壓(press)。這樣，通過對(duì)層合體14A加壓，可以確實(shí)地將氣泡從層合體14A中排除，因此在正式成型工序S23中，可以獲得阻燃性更為優(yōu)異的正式成型體16。
[0066]在切斷工序S4中，通過超聲波切斷機(jī)3，將在正式成型工序S23中成型的正式成型體16沿著與臨時(shí)成型體14的長(zhǎng)度方向垂直相交的方向切斷成規(guī)定的尺寸。為了獲得導(dǎo)熱性片1，超聲波切斷機(jī)3將正式成型體16切片成各個(gè)導(dǎo)熱性片I。使用超聲波切斷機(jī)3，用超聲波切割器4，將正式成型體16沿著與臨時(shí)成型體14的長(zhǎng)度方向垂直相交的箭頭方向切片，由此可在保持導(dǎo)熱性填料的取向的狀態(tài)下形成導(dǎo)熱性片I。因此可以獲得導(dǎo)熱性填料的取向保持在厚度方向，導(dǎo)熱特性良好的導(dǎo)熱性片I。
[0067]<4.顏色的評(píng)價(jià)方法>
本實(shí)施方案的顏色的評(píng)價(jià)方法是:在測(cè)定上述導(dǎo)熱性片I的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，使用以“L*”值表示的亮度L*來評(píng)價(jià)導(dǎo)熱性片I的導(dǎo)熱率。例如，測(cè)定導(dǎo)熱性片I的表面時(shí)的亮度L*為32.5以上時(shí)，導(dǎo)熱性填料沿著導(dǎo)熱性片I的厚度方向取向，因此導(dǎo)熱性片I在厚度方向的導(dǎo)熱性可評(píng)價(jià)為良好。測(cè)定導(dǎo)熱性片I的表面時(shí)的亮度L*低于32.5時(shí)，導(dǎo)熱性填料未沿著導(dǎo)熱性片I的厚度方向取向，因此導(dǎo)熱性片I在厚度方向的導(dǎo)熱性可以評(píng)價(jià)為不良。
實(shí)施例
[0068]以下對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。需說明的是，本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例。本實(shí)施例中，對(duì)于實(shí)施例1-6和比較例1-3所得的導(dǎo)熱性片，對(duì)其浙青基碳纖維的取向性、導(dǎo)熱率和外觀進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0069](實(shí)施例1)
實(shí)施例1中，在雙液性的加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散24體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(填充材料)(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03)、18.3體積％平均粒徑Iym的氮化招顆粒(株式會(huì)社Tokuyama (卜々Y 7 )公司制造)、24.I體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(導(dǎo)熱性填料)(帝人株式會(huì)社制造，商品名:^ t 一 R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物(導(dǎo)熱性組合物)。雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂是將16.8體積％有機(jī)硅A液(具有乙烯基的有機(jī)聚硅氧烷)和18.8體積％有機(jī)硅B液(具有H-Si基的有機(jī)聚硅氧烷)混合而成。將所得有機(jī)硅樹脂組合物擠出在涂布了脫模材料的模具(20_X20mm)中，成型為有機(jī)硅成型體。將所得有機(jī)硅成型體在烘箱中以100°C固化I小時(shí)，制成有機(jī)硅固化物。將所得有機(jī)硅固化物用超聲波切割器切斷成厚度2.0mm,得到厚度2.0mm的導(dǎo)熱性片。超聲波切割器的切片速度為每秒50_。給予超聲波切割器的超聲波振動(dòng)是:發(fā)振頻率20.5kHz，振幅60 μ m。
[0070](實(shí)施例2)
在實(shí)施例2中，在混合16.8體積％有機(jī)硅A液和18.8體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散11.7體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03) ,31.2體積％平均粒徑I μ m的氮化鋁顆粒(株式會(huì)社Tokuyama公司制造)、23.5體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名:^ ^一7 R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物，除此之外與實(shí)施例I同樣，得到導(dǎo)熱性片。
[0071](實(shí)施例3)
在實(shí)施例3中，在混合18.8體積％有機(jī)硅A液、18.8體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散20.2體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03) ,20.1體積％平均粒徑I μ m的氮化鋁顆粒(株式會(huì)社Tokuyama公司制造)、24.1體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名:^ ^一7 R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物，除此之外與實(shí)施例I同樣，得到導(dǎo)熱性片。
[0072](實(shí)施例4)
在實(shí)施例4中，在混合18.8體積％有機(jī)硅A液、18.8體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散28體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03)、14.3體積％平均粒徑Iym的氮化鋁顆粒(株式會(huì)社Tokuyama公司制造)、20.1體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名:9 t一7 R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物。將所得有機(jī)硅樹脂組合物涂布在涂布了脫模材料的聚酯薄膜(層疊涂布)上，制造有機(jī)硅成型體。將所得有機(jī)硅成型體在烘箱中以100°C加熱I小時(shí)，制成有機(jī)硅固化物。將所得有機(jī)硅固化物用超聲波切割器切斷成厚度2.0_，得到厚度2.0mm的導(dǎo)熱性片。超聲波切割器的切片速度為每秒50mm。給予超聲波切割器的超聲波振動(dòng)是:發(fā)振頻率20.5kHz，振幅60 μ m。
[0073](實(shí)施例5)
在實(shí)施例5中，在混合18.8體積％有機(jī)硅A液、18.8體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散37.2體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03)、5.1體積％平均粒徑I μ m的氮化鋁顆粒(株式會(huì)社Tokuyama公司制造)、20.1體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名t —7 R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物，除此之外與實(shí)施例I同樣，得到導(dǎo)熱性片。
[0074](實(shí)施例6)
在實(shí)施例6中，在混合17.1體積％有機(jī)硅A液、17.1體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散42.6體積％平均粒徑I μ m的氮化鋁顆粒(株式會(huì)社Tokuyama公司制造)、23.2體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名t—7 R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物，除此之外與實(shí)施例I同樣，得到導(dǎo)熱性片。
[0075](比較例I)
比較例I中，在混合18.8體積％有機(jī)硅A液、18.8體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散42.3體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03)、24.1體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名:9 t一R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物，除此之外與實(shí)施例1同樣，得到導(dǎo)熱性片。
[0076](比較例2)
比較例2中，在混合18.8體積％有機(jī)硅A液、18.8體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散41.3體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03) ,20.1體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名:9 t一R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物，除此之外與實(shí)施例4同樣，得到導(dǎo)熱性片。
[0077](比較例3)
比較例3中，在混合18體積％有機(jī)硅A液、18體積％有機(jī)硅B液而成的雙液性加成反應(yīng)型液狀有機(jī)硅樹脂中分散44.8體積％平均粒徑3 μ m的氧化鋁顆粒(電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造，產(chǎn)品名:DAW-03)、19.2體積％平均長(zhǎng)軸長(zhǎng)度150 μ m、平均短軸長(zhǎng)度8 μ m的浙青基碳纖維(帝人株式會(huì)社制造，商品名t—7 R-A301)，制備有機(jī)硅樹脂組合物，除此之外與實(shí)施例1同樣，得到導(dǎo)熱性片。
[0078]將實(shí)施例1-實(shí)施例6、比較例1-比較例3的條件等匯總表示于表I中。
[0079][表 I]
【權(quán)利要求】
1.一種導(dǎo)熱性片，該導(dǎo)熱性片含有導(dǎo)熱性組合物，該導(dǎo)熱性組合物含有固化性樹脂組合物、導(dǎo)熱性填料和使所述導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料，其中， 所述導(dǎo)熱性填料沿著該導(dǎo)熱性片的厚度方向取向， 至少含有氮化鋁作為所述填充材料， 在測(cè)定該導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“JIS Z 8729”和“JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色系中，以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。
2.權(quán)利要求1的導(dǎo)熱性片，其中，該導(dǎo)熱性片含有5.1體積％以上的所述氮化鋁。
3.權(quán)利要求2的導(dǎo)熱性片，其中，該導(dǎo)熱性片含有與所述氮化鋁的粒徑不同的球狀顆粒作為所述填充材料。
4.權(quán)利要求3的導(dǎo)熱性片，其中，所述球狀顆粒為氧化鋁顆粒。
5.權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)的導(dǎo)熱性片，其中，所述導(dǎo)熱性填料為碳纖維，平均纖維長(zhǎng)度為100 μ m以上。
6.一種導(dǎo)熱性片的制造方法，其具有下述工序: 導(dǎo)熱性組合物制作工序，其中，制作導(dǎo)熱性組合物，該導(dǎo)熱性組合物含有固化性樹脂組合物、導(dǎo)熱性填料和使所述導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料； 取向工序，其中，將在所述導(dǎo)熱性組合物制作工序中制作的導(dǎo)熱性組合物形成為柱狀，同時(shí)使所述導(dǎo)熱性填料沿所述柱狀的長(zhǎng)度方向取向；和 切斷工序，其中，通過超聲波切斷機(jī)，將所述柱狀的導(dǎo)熱性組合物沿著與長(zhǎng)度方向垂直相交的方向切斷成規(guī)定的尺寸，獲得導(dǎo)熱性片； 所述導(dǎo)熱性片中，所述導(dǎo)熱性填料沿著所述導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，至少含有氮化鋁作為所述填充材料，在測(cè)定所述導(dǎo)熱性片的表面時(shí)的“ JIS Z 8729”和“ JIS Z 8730”所記載的L*a*b*表色方式中，以“L*”值表示的亮度L*為32.5以上。
7.權(quán)利要求6的導(dǎo)熱性片的制造方法，其中， 所述取向工序包含下述工序: 臨時(shí)成型工序，其中，將在所述導(dǎo)熱性組合物制作工序中制作的導(dǎo)熱性組合物用擠出機(jī)擠出，成型為其中所述導(dǎo)熱性填料沿著擠出方向取向的細(xì)長(zhǎng)柱狀的臨時(shí)成型體； 排列工序，其中，將多個(gè)臨時(shí)成型體在與長(zhǎng)度方向垂直相交的方向以毗鄰方式排列，并將排列的多個(gè)臨時(shí)成型體配設(shè)于與所述排列方向大致垂直相交的方向，獲得層合體；和正式成型工序，其中，通過使所述層合體固化，成型為其中構(gòu)成層合體的多個(gè)臨時(shí)成型體彼此一體化的正式成型體； 所述切斷工序中，通過超聲波切斷機(jī)，沿著與所述正式成型體的長(zhǎng)度方向垂直相交的方向切斷成規(guī)定尺寸，獲得所述導(dǎo)熱性片。
8.一種導(dǎo)熱率評(píng)價(jià)方法，其中，在測(cè)定導(dǎo)熱性片的表面顏色時(shí)的“JIS Z 8729”和“JISZ 8730”所記載的L*a*b*表色系中，使用以“L*”值表示的亮度L，評(píng)價(jià)所述導(dǎo)熱性片的導(dǎo)熱率，其中所述導(dǎo)熱性片含有導(dǎo)熱性組合物，該導(dǎo)熱性組合物含有固化性樹脂組合物、導(dǎo)熱性填料和使所述導(dǎo)熱性填料沿規(guī)定方向排列的填充材料； 所述導(dǎo)熱性片中，所述導(dǎo)熱性填料沿著該導(dǎo)熱性片的厚度方向取向，至少含有氮化鋁作為所述填充材料。
【文檔編號(hào)】H01L23/36GK103975429SQ201280061296
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2012年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月20日
【發(fā)明者】荒卷慶輔 申請(qǐng)人:迪睿合電子材料有限公司