專利名稱：一種濕硅片自動(dòng)分片裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域，提供了一種濕硅片自動(dòng)分片裝置。
背景技術(shù)：
在光伏或半導(dǎo)體領(lǐng)域，將硅塊加工成硅片大多是采用多線切割工藝，由于該工藝是采用鋼線帶動(dòng)碳化硅磨料來進(jìn)行切割，所以在切割完成后硅片上會(huì)附著很多砂漿，必須通過清洗才能將這些砂漿去除。在清洗之間，需要先將這些硅片經(jīng)過簡(jiǎn)單的處理，比如脫膠、預(yù)清洗去除硅片表面的絞絲和砂漿等雜質(zhì)，最后再將硅片插入硅片籃，采用酸液、堿液對(duì)硅片進(jìn)行超聲清洗。目前，大多生產(chǎn)硅片的企業(yè)都是采用手工方式分片，然后將硅片逐個(gè)插入硅片籃，由于硅片之間會(huì)殘留一些砂漿，加上水的作用力，硅片之間會(huì)吸附的很緊，而手工方式分片由于用力不均，因此很容易將硅片弄碎，分片效率也較低
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中手工方式分片造成的碎片率高、分片效率低的問題。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，包括一裝有水的水箱，所述水箱內(nèi)設(shè)有一硅片籃以及一位于所述硅片籃一側(cè)的升降機(jī)構(gòu)，所述硅片籃用于傾斜放置若干硅片，所述升降機(jī)構(gòu)與一設(shè)于所述水箱外的第一電機(jī)連接，所述第一電機(jī)與一控制模塊連接，所述升降機(jī)構(gòu)由所述第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)使得所述硅片籃中的硅片在豎直方向上下運(yùn)動(dòng)；所述水箱上方設(shè)有一與所述硅片平行設(shè)置的吸盤，所述吸盤上設(shè)有若干氣孔和水孔，所述吸盤通過一支架滑動(dòng)設(shè)于一導(dǎo)軌上，所述支架由一氣缸驅(qū)動(dòng)在所述導(dǎo)軌上滑動(dòng)，所述氣缸與所述控制模塊連接；所述水箱內(nèi)設(shè)有一與所述硅片籃頂部平齊的第一滾輪，所述第一滾輪位于所述吸盤運(yùn)動(dòng)方向的一側(cè)，所述第一滾輪由一設(shè)于所述水箱外的第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，所述第二電機(jī)與所述控制模塊連接，所述第一滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與所述吸盤吸附到硅片后在所述導(dǎo)軌上的運(yùn)動(dòng)方向相反，所述吸盤吸附的最上面的硅片下方粘結(jié)的一個(gè)或多個(gè)硅片由所述第一滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)回所述硅片籃內(nèi)；所述水箱右側(cè)設(shè)有一傳送帶，所述傳送帶由一第三電機(jī)驅(qū)動(dòng)水平移動(dòng)，所述第三電機(jī)與所述控制模塊連接，所述傳送帶左端上方固設(shè)有一第二滾輪；所述水箱通過一第一水管與一水泵連接，所述水泵通過一減壓閥與一第二水管連接，所述第二水管上設(shè)有一開關(guān)閥，所述水泵與所述控制模塊連接，所述第二水管位于所述傳送帶上方，且所述第二水管與所述吸盤的水孔連通。具體地，所述升降機(jī)構(gòu)上的硅片的傾斜角度為f45°。具體地，所述導(dǎo)軌傾斜設(shè)置，所述導(dǎo)軌的傾斜角度與所述硅片的傾斜角度相同。進(jìn)一步地，所述水箱上部設(shè)有一浸沒于水中的超聲波發(fā)生器。[0012]具體地，所述開關(guān)閥為電磁閥。進(jìn)一步地，所述傳動(dòng)帶下方設(shè)有一收集箱。進(jìn)一步地，所述吸盤表面設(shè)有若干均勻分布的滾花。進(jìn)一步地，所述吸盤上開設(shè)有若干均勻分布的環(huán)形凹槽，所述氣孔和水孔位于所述環(huán)形凹槽內(nèi)。本實(shí)用新型提供的濕硅片自動(dòng)分片裝置，通過升降機(jī)構(gòu)、吸盤、第一滾輪、第二滾輪和水泵等部件的配合，實(shí)現(xiàn)了濕硅片的自動(dòng)分片，提高了分片效率，降低了硅片的碎片率。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的濕硅片自動(dòng)分片裝置的示意圖。圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的吸盤的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。如圖I和圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，包括一裝有水的水箱I，水箱I內(nèi)設(shè)有一娃片籃2以及一位于娃片籃2 —側(cè)的升降機(jī)構(gòu)3,娃片籃2用于傾斜放置若干硅片4，硅片的傾斜角度為廣45°，升降機(jī)構(gòu)3與一設(shè)于水箱I外的第一電機(jī)5連接，第一電機(jī)5與一控制模塊(未示出)連接，該控制模塊用于控制第一電機(jī)5啟動(dòng)和停止，升降機(jī)構(gòu)3由第一電機(jī)5驅(qū)動(dòng)使得硅片籃2中的硅片4在豎直方向上下運(yùn)動(dòng)。所述水箱I上方設(shè)有一與娃片4平行設(shè)置的吸盤6,即吸盤6也傾斜設(shè)置，吸盤6上設(shè)有氣孔61和水孔62，吸盤6通過一支架7滑動(dòng)設(shè)于一傾斜設(shè)置的導(dǎo)軌8上，導(dǎo)軌8也傾斜設(shè)置，且導(dǎo)軌8的傾斜角度與硅片4的傾斜角度相同，支架7由一氣缸9驅(qū)動(dòng)在導(dǎo)軌8上滑動(dòng)，該氣缸9與所述控制模塊連接，該控制模塊控制氣缸9啟動(dòng)和停止。所述水箱I內(nèi)設(shè)有一與硅片籃2頂部平齊的第一滾輪10，第一滾輪10位于吸盤6運(yùn)動(dòng)方向的一側(cè)(即硅片籃2右側(cè))，第一滾輪10由一設(shè)于水箱I外的第二電機(jī)(未示出)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，該第二電機(jī)也與所述控制模塊連接，該控制模塊用于控制該第二電機(jī)啟動(dòng)和停止，第一滾輪10的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與吸盤6吸附到硅片4后在導(dǎo)軌8上的運(yùn)動(dòng)方向相反。當(dāng)吸盤6將最上面的一個(gè)硅片4吸起來時(shí)，該最上面的硅片4會(huì)粘帶著下面的一個(gè)或多個(gè)硅片4，當(dāng)吸盤6運(yùn)動(dòng)到第一滾輪10處時(shí)，最上面的硅片4位于第一滾輪10上方，不會(huì)被第一滾輪10阻擋，而最上面的硅片4下方粘結(jié)的多余的硅片4會(huì)被第一滾輪10阻擋，由于吸盤6與最上面的硅片4之間的吸附力遠(yuǎn)大于各個(gè)硅片4之間的粘附力，第一滾輪10的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與吸盤6吸附到硅片4后在導(dǎo)軌8上的運(yùn)動(dòng)方向相反，因此，最上面的硅片4下方粘結(jié)的多余的硅片4會(huì)被第一滾輪10的轉(zhuǎn)動(dòng)刮下，并驅(qū)回硅片籃2內(nèi)。進(jìn)一步地，本實(shí)施例中，通過增加水溫，將水溫控制在4(T80°C，各個(gè)硅片4之間的粘附力會(huì)降低，更利于第一滾輪10將最上面的硅片4下方粘結(jié)的多余的硅片4刮下；另外，通過增加第一滾輪10的粗糙度和轉(zhuǎn)速，同樣利于第一滾輪10將最上面的娃片4下方粘結(jié)的多余的娃片4刮下。進(jìn)一步地，所述水箱I上部設(shè)有一浸沒于水中的超聲波發(fā)生器11，超聲波發(fā)生器11在水中震動(dòng)，使水產(chǎn)生震動(dòng)，從而使之間產(chǎn)生間隙，便于硅片4的分片。進(jìn)一步地，所述水箱I右側(cè)設(shè)有一傳送帶12,傳送帶12由一第三電機(jī)(未示出)驅(qū)動(dòng)水平移動(dòng)，該第三電機(jī)也與所述控制模塊連接，該控制模塊用于控制該第三電機(jī)啟動(dòng)和停止；傳送帶12左端上方固設(shè)有一第二滾輪13，第二滾輪13處于靜止不動(dòng)的狀態(tài)；傳動(dòng)帶12下方設(shè)有一收集箱19,收集箱19用于收集水或破碎的娃片4。進(jìn)一步地，所述水箱I通過一第一水管14與一水泵15連接，水泵15通過一減壓閥16與一第二水管17連接，第二水管17上設(shè)有一開關(guān)閥18，開關(guān)閥18優(yōu)選電磁閥，水泵15與所述控制模塊連接，該控制模塊控制水泵15啟動(dòng)和停止，第二水管17位于傳送帶12上方，且第二水管17與吸盤6的水孔62連通。當(dāng)吸盤6將吸到硅片4經(jīng)過第一滾輪10時(shí)，、最上面的娃片4位于第一滾輪10上方,不會(huì)被第一滾輪10阻擋,而最上面的娃片4下方粘結(jié)的多余的硅片4會(huì)被第一滾輪10的轉(zhuǎn)動(dòng)刮下，并驅(qū)回硅片籃2內(nèi)；然后吸盤6吸著硅片4沿著導(dǎo)軌8繼續(xù)向右滑動(dòng)，當(dāng)吸盤6滑動(dòng)到傳送帶12上方的第二水管17的位置時(shí)，控制模塊打開第二水管17上的開關(guān)閥18，接著控制模塊控制水泵15啟動(dòng)，水泵15將水箱I內(nèi)的水抽出來，經(jīng)過減壓閥16將水壓降到所需的水壓，水從吸盤6的水孔62噴出，同時(shí)吸盤6的氣孔61開始噴出少量氣體，硅片4與吸盤6接觸的表面立刻形成一層較厚的水膜，這樣硅片4雖然看上去是在吸盤6上，其實(shí)硅片4已經(jīng)脫離了吸盤6，因?yàn)楣杵?和吸盤6之間充滿了水，氣孔61噴出的少量氣體也可以阻止水流到氣孔61中，如果水孔61進(jìn)水，氣孔61內(nèi)的水會(huì)降低氣孔61后續(xù)吸氣的壓力，從吸盤6和硅片4上灑落的水由收集箱19收集起來，如果硅片4出現(xiàn)破碎，也由收集箱19收集；接下來控制模塊控制氣缸9啟動(dòng)，氣缸9驅(qū)動(dòng)支架7在導(dǎo)軌8上向左運(yùn)動(dòng)，與支架7連接的吸盤6也隨之向左運(yùn)動(dòng)，吸盤6向左運(yùn)動(dòng)的時(shí)候，吸盤6上的硅片4會(huì)被傳送帶12左端上方的第二滾輪13阻擋，第二滾輪13將硅片4從吸盤6上掛下來，硅片4掉落到傳送帶12上；再接著，控制模塊控制第三電機(jī)啟動(dòng)，第三電機(jī)帶動(dòng)傳送帶12向右水平移動(dòng)，從而將傳送帶12上的硅片4運(yùn)輸?shù)较乱还ば?。進(jìn)一步地，本實(shí)用新型還在吸盤6上開設(shè)有若干均勻分布的環(huán)形凹槽63，氣孔61和水孔62位于環(huán)形凹槽63內(nèi)，環(huán)形凹槽63可以讓從水孔62噴出的水更容易快速和均勻流動(dòng)，因?yàn)樗葰饬鲃?dòng)得慢，而設(shè)置環(huán)形凹槽63，可以使噴水和吹氣保持同步，從而便于硅片4從吸盤6上分離；同時(shí)環(huán)形凹槽63便于氣體和水均勻布滿整個(gè)吸盤6，避免吹氣和噴水不均勻而使硅片4產(chǎn)生碎片。另外，吸盤6表面設(shè)有若干均勻分布的L形的滾花64，滾花64可以增大吸盤6的粗糙度，進(jìn)而增加了吸盤6和硅片4之間的吸附力，避免了硅片4經(jīng)過第一滾輪10時(shí)產(chǎn)生移動(dòng)或脫落。以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種濕娃片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，包括一裝有水的水箱，所述水箱內(nèi)設(shè)有一娃片籃以及一位于所述硅片籃一側(cè)的升降機(jī)構(gòu)，所述硅片籃用于傾斜放置若干硅片，所述升降機(jī)構(gòu)與一設(shè)于所述水箱外的第一電機(jī)連接，所述第一電機(jī)與一控制模塊連接，所述升降機(jī)構(gòu)由所述第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)使得所述硅片籃中的硅片在豎直方向上下運(yùn)動(dòng)； 所述水箱上方設(shè)有一與所述硅片平行設(shè)置的吸盤，所述吸盤上設(shè)有若干氣孔和水孔，所述吸盤通過一支架滑動(dòng)設(shè)于一導(dǎo)軌上，所述支架由一氣缸驅(qū)動(dòng)在所述導(dǎo)軌上滑動(dòng)，所述氣缸與所述控制模塊連接； 所述水箱內(nèi)設(shè)有一與所述硅片籃頂部平齊的第一滾輪，所述第一滾輪位于所述吸盤運(yùn)動(dòng)方向的一側(cè)，所述第一滾輪由一設(shè)于所述水箱外的第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，所述第二電機(jī)與所述控制模塊連接，所述第一滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與所述吸盤吸附到硅片后在所述導(dǎo)軌上的運(yùn)動(dòng)方向相反，所述吸盤吸附的最上面的硅片下方粘結(jié)的一個(gè)或多個(gè)硅片由所述第一滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)回所述硅片籃內(nèi)； 所述水箱右側(cè)設(shè)有一傳送帶，所述傳送帶由一第三電機(jī)驅(qū)動(dòng)水平移動(dòng)，所述第三電機(jī)與所述控制模塊連接，所述傳送帶左端上方固設(shè)有一第二滾輪； 所述水箱通過一第一水管與一水泵連接，所述水泵通過一減壓閥與一第二水管連接，所述第二水管上設(shè)有一開關(guān)閥，所述水泵與所述控制模塊連接，所述第二水管位于所述傳送帶上方，且所述第二水管與所述吸盤的水孔連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)上的硅片的傾斜角度為廣45°。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌傾斜設(shè)置，所述導(dǎo)軌的傾斜角度與所述硅片的傾斜角度相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，所述水箱上部設(shè)有一浸沒于水中的超聲波發(fā)生器。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，所述開關(guān)閥為電磁閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)帶下方設(shè)有一收集箱。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，所述吸盤表面設(shè)有若干均勻分布的滾花。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，其特征在于，所述吸盤上開設(shè)有若干均勻分布的環(huán)形凹槽，所述氣孔和水孔位于所述環(huán)形凹槽內(nèi)。
專利摘要一種濕硅片自動(dòng)分片裝置，包括水箱，水箱內(nèi)設(shè)有一硅片籃和一升降機(jī)構(gòu)，硅片籃用于傾斜放置若干硅片，升降機(jī)構(gòu)與一設(shè)于水箱外的第一電機(jī)連接；水箱上方設(shè)有一與硅片平行設(shè)置的吸盤，吸盤通過一支架滑動(dòng)設(shè)于一導(dǎo)軌上；水箱內(nèi)設(shè)有一與硅片籃頂部平齊的第一滾輪，第一滾輪由一設(shè)于水箱外的第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，第二電機(jī)與控制模塊連接；水箱右側(cè)設(shè)有一傳送帶，傳送帶由一第三電機(jī)驅(qū)動(dòng)水平移動(dòng)，第三電機(jī)與控制模塊連接，傳送帶左端上方固設(shè)有一第二滾輪；水箱通過第一水管與水泵連接，水泵通過減壓閥與第二水管連接，第二水管上設(shè)有一開關(guān)閥，水泵與控制模塊連接。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了濕硅片的自動(dòng)分片，提高了分片效率，降低了硅片的碎片率。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202474010SQ20122010479
公開日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月20日
發(fā)明者劉俊, 劉華, 張存新, 李松林, 郝剛 申請(qǐng)人:江西賽維Ldk太陽(yáng)能高科技有限公司