專(zhuān)利名稱(chēng):硅片片盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種硅片片盒。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體及太陽(yáng)能光伏工業(yè)常常會(huì)用到許多硅片片盒,由于各個(gè)設(shè)備對(duì)硅片放置方式及數(shù)量的要求不盡相同,硅片片盒也沒(méi)有統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn),在不同設(shè)備之間轉(zhuǎn)移硅片往往需要耗費(fèi)很大的人力、物力;例如對(duì)于普通硅片片盒,硅片是水平放置的;而對(duì)于擴(kuò)散爐的石英舟,Si是斜45度角放置的;在目前這種標(biāo)準(zhǔn)下,不同設(shè)備間轉(zhuǎn)移硅片并上片、下片顯得十分不方便。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種硅片片盒,方便硅片在不同設(shè)備、不同片盒之間轉(zhuǎn)移硅片。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種硅片片盒,包括盒體,在盒體內(nèi)具有放置硅片的V形硅片槽,支撐硅片邊緣的V形硅片槽的側(cè)壁的夾角為直角。在盒體上V形硅片槽的左側(cè)上具有與常規(guī)的硅片水平放置的片盒配合卡接的卡扣結(jié)構(gòu),在盒體上V形硅片槽的右側(cè)上具有限制硅片在片盒順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)滑出片盒的擋邊。在盒體上具有配重腔。本實(shí)用新型的有益效果是1.可以迅速將普通片盒中水平放置的硅片轉(zhuǎn)為斜45度放置,節(jié)約了不同工藝設(shè)備之間轉(zhuǎn)移硅片的時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率;2.減少了工藝加工時(shí)硅片接觸手的時(shí)間,避免了工藝污染。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明;圖I是本實(shí)用新型的正視結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是本實(shí)用新型的上片、下片過(guò)程示意圖;圖中,I.盒體,2. V形硅片槽,3.卡扣結(jié)構(gòu),4.擋邊,5.配重腔,6.硅片,7.普通片
盒,8.石英管。
具體實(shí)施方式
如
圖1、2和3所示一種硅片片盒,包括盒體1,在所述的盒體I內(nèi)具有放置硅片6的V形硅片槽2,支撐硅片6邊緣的V形硅片槽2的側(cè)壁的夾角為直角。片盒內(nèi)的硅片6成斜45度角放置。在所述的盒體I上V形硅片槽2的左側(cè)上具有與常規(guī)的硅片6水平放置的片盒配合卡接的卡扣結(jié)構(gòu)3,可以將普通片盒7里的硅片6沿著斜面導(dǎo)入至本片盒內(nèi)。在所述的盒體I上V形硅片槽2的右側(cè)上具有限制硅片6在片盒順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)滑出片盒的擋邊4。根據(jù)需要在所述的盒體I上具有配重腔5。配重腔5內(nèi)可裝入重物如圖4所示,片盒使用方法上片1.將普通片盒7套在本片盒上,卡扣結(jié)構(gòu)3扣齊,可以將普通片盒7中的硅片6轉(zhuǎn)移到本片盒中;2.將本片盒順時(shí)針 旋轉(zhuǎn)45度,使硅片6呈水平放置;3.用手扶住硅片6,使片盒再順時(shí)針旋轉(zhuǎn)45度,此時(shí)片盒右邊的擋邊4將防止硅片6從片盒內(nèi)滑出;4.用手扶住硅片6,將右邊的擋邊4搭在石英管8邊緣,順勢(shì)可以將硅片6插入石英管8的硅片槽內(nèi)。下片1.將本片盒套在石英管8上,將擋邊4插在硅片6下部;2.用手托起石英管8,娃片6在重力作用下插入本片盒內(nèi);3.翻轉(zhuǎn)片盒,將娃片6完全放在本片盒內(nèi);4.將普通片盒7套在本片盒上,翻轉(zhuǎn)可以將硅片6轉(zhuǎn)移入普通片盒7內(nèi)。本片盒參數(shù)采用耐酸耐堿的聚乙烯塑料制造,長(zhǎng)230mm,寬120mm,高110mm,齒間距5mm,一次可以放25片硅片6,使用約125*125普通單晶硅片,與目前產(chǎn)線常用普通硅片盒兼容。長(zhǎng)290_,寬120_,高140_,適用于156*156普通多晶硅片。
權(quán)利要求1.一種硅片片盒,包括盒體(1),其特征是在所述的盒體(I)內(nèi)具有放置硅片(6)的V形硅片槽(2),支撐硅片(6)邊緣的V形硅片槽(2)的側(cè)壁的夾角為直角。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅片片盒,其特征是在所述的盒體(I)上V形硅片槽(2)的左側(cè)上具有與常規(guī)的硅片(6)水平放置的片盒配合卡接的卡扣結(jié)構(gòu)(3),在所述的盒體(I)上V形硅片槽(2)的右側(cè)上具有限制硅片(6)在片盒順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)滑出片盒的擋邊(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的硅片片盒,其特征是在所述的盒體(I)上具有配重腔(5)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅片片盒,包括盒體,在盒體內(nèi)具有放置硅片的V形硅片槽,支撐硅片邊緣的V形硅片槽的側(cè)壁的夾角為直角。在盒體上V形硅片槽的左側(cè)上具有與常規(guī)的硅片水平放置的片盒配合卡接的卡扣結(jié)構(gòu),在盒體上V形硅片槽的右側(cè)上具有限制硅片在片盒順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)滑出片盒的擋邊。在盒體上具有配重腔。本實(shí)用新型的有益效果是1.可以迅速將普通片盒中水平放置的硅片轉(zhuǎn)為斜45度放置,節(jié)約了不同工藝設(shè)備之間轉(zhuǎn)移硅片的時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率;2.減少了工藝加工時(shí)硅片接觸手的時(shí)間,避免了工藝污染。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202585365SQ20122006745
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月28日
發(fā)明者葉楓, 許庭靜 申請(qǐng)人:常州天合光能有限公司