技術(shù)編號(hào):7153600
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種硅片片盒。背景技術(shù)半導(dǎo)體及太陽(yáng)能光伏工業(yè)常常會(huì)用到許多硅片片盒,由于各個(gè)設(shè)備對(duì)硅片放置方式及數(shù)量的要求不盡相同,硅片片盒也沒(méi)有統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn),在不同設(shè)備之間轉(zhuǎn)移硅片往往需要耗費(fèi)很大的人力、物力;例如對(duì)于普通硅片片盒,硅片是水平放置的;而對(duì)于擴(kuò)散爐的石英舟,Si是斜45度角放置的;在目前這種標(biāo)準(zhǔn)下,不同設(shè)備間轉(zhuǎn)移硅片并上片、下片顯得十分不方便。 實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種硅片片盒,方便硅片在不同設(shè)備、不同片盒之間轉(zhuǎn)移硅片。...
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