專利名稱：半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種高溫防滑夾具，特別涉及一種半導(dǎo)體及微電子行業(yè)生產(chǎn)流程中夾持晶片使用的夾具，本發(fā)明所設(shè)計(jì)的夾具，利用夾頭的巧妙設(shè)計(jì)防止在夾取晶片過(guò)程中晶片的滑落。
背景技術(shù)：
21世紀(jì)人類全面進(jìn)入了信息化社會(huì)，微電子技術(shù)仍在高速發(fā)展，對(duì)微電子信息技術(shù)和微電子ULSI基礎(chǔ)技術(shù)將不斷提出更高的發(fā)展要求，微電子技術(shù)仍將繼續(xù)是21世紀(jì)若干年代中最為重要的和最有活力的高科技領(lǐng)域之一。夾具是微電子以及半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中使用頻繁且不可缺少的工具。長(zhǎng)時(shí)間工作在枯燥的生產(chǎn)線難免令操作人員精神渙散，或夾取晶片時(shí)用力不規(guī)范，經(jīng)常在夾片過(guò)程中導(dǎo)致晶片滑落、碎裂等，會(huì)增加生產(chǎn)成本，嚴(yán)重地影響生產(chǎn)進(jìn)度。所以尋找一種有一定保護(hù)功能且安全性較高的夾具，以減少晶片夾取過(guò)程中滑落、碎裂等所帶來(lái)的損失，是一項(xiàng)非常重要的工作。目前的夾具通常有兩種:一種為鑷子類，它包括狹長(zhǎng)的兩個(gè)夾臂，兩夾臂一端固定在一起，另一端相互間隔形成夾頭，通過(guò)擠壓兩邊夾臂使夾頭合攏來(lái)夾取晶片；另一種為:真空吸持方式，利用真空負(fù)壓，吸附晶片表面，將晶片夾取。鑷子類夾具其夾頭與夾臂在同一直線上，晶片在夾持轉(zhuǎn)移過(guò)程中易發(fā)生搖晃，不能很好的夾持晶片。如果在晶片發(fā)生晃動(dòng)的過(guò)程中，增大鑷子的夾力，有可能劃傷晶片的表面，破壞晶片表層，晶片表面涂膠層或晶片表面易產(chǎn)生凹坑，如LED外延片的表層氮化鎵易受損。第二種真空吸附方式，它對(duì)密封性要求非常高，吸盤(pán)一旦漏氣將導(dǎo)致晶片脫落。且因吸盤(pán)材質(zhì)為橡膠，在高溫下發(fā)生嚴(yán)重形變而易漏氣也會(huì)污染環(huán)境。現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題缺陷:夾頭無(wú)防滑功能，安全性較差，易滑落；難以適用高溫。因此上述兩種鑷子均不能滿足溫度高達(dá)800°C的環(huán)境下安全使用的需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有鑷子在使用過(guò)程中的不足，提供一種夾頭為特殊卡槽形狀的夾具，通過(guò)夾頭與夾臂的安裝組合方式，使用時(shí)施力于夾臂，用卡槽卡住所夾持晶片，有效防止夾持過(guò)程中晶片的掉落。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用以下方案:
一種半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，包含有第一夾臂、第二夾臂，第一夾臂、第二夾臂之間相互連接形成連接端，第一夾臂、第二夾臂之間互成夾角，第一夾臂、第二夾臂都具有一定彈性形變性能；第一夾臂另一端的自由端安裝銜接有第一夾頭，第二夾臂另一端的自由端安裝銜接有第二夾頭，第一夾頭與第二夾頭之間形成卡槽夾持部，通過(guò)作用第一夾臂、第二夾臂控制第一夾頭、第二夾頭的運(yùn)動(dòng)作用于樣品；
第一夾頭、第二夾頭的形狀可以為鏟形，第一夾頭與第一夾臂內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)的銳角，第二夾臂與第二夾頭內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)側(cè)的銳角；
或第一夾頭、第二夾頭的形狀可以為勾形，第一夾頭與第一夾臂內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)的95 150度鈍角，較佳為:100、130、135度，第二夾臂與第二夾頭內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)側(cè)的95 150度鈍角，較佳為:100、130、135度；
或第一夾臂與第二夾臂的末端呈八字張開(kāi)，第一夾臂向外的末端使八字外側(cè)形成一個(gè)100 170度鈍角，較佳為:110、130、155度，第二夾臂向外的末端使八字外側(cè)形成一個(gè)100 170度鈍角，較佳為:110、130、155度，第一夾臂與第二夾臂的末端部分別與第一夾頭和第二夾頭連接，第一夾頭、第二夾頭末端間距大于晶片直徑，第一夾臂末端部與第一夾頭形成內(nèi)向50 130度劣角的鉤狀卡槽，較佳為:70、90、100度，第二夾臂末端部與第二夾頭形成內(nèi)向50 130度劣角的鉤狀卡槽，較佳為:70、90、100度，第一夾頭、第二夾頭的卡槽向內(nèi)，利用卡槽卡住晶片，有效的防止晶片脫落。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾臂末端與第一夾頭、第二夾臂末端與第二夾頭之間的安裝方式，包括一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、鉗夾以及其他安裝方式。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾臂、第二夾臂間相互連接位置，可以選在夾臂中部或夾臂首端，第一夾臂末端安裝銜接有第一夾頭，第二夾臂末端安裝銜接有第二夾頭，第一夾頭、第二夾頭之間形成夾持部。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾臂、第二夾臂可以根據(jù)使用施力情況以及使用溫度等不同需求選擇:鐵、不銹鋼、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金、塑料以及其他復(fù)合型材料，第一夾臂、第二夾臂之間連接方式，包括一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、鉗夾以及其他連接方式。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾頭、第二夾頭耐高溫的材質(zhì)可采用:不銹鋼、石墨、石英、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及其他耐高溫的復(fù)合型材料。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾臂、第二夾臂的形狀可以為:扁平狀、圓柱形以及錐形等，在能達(dá)到上述夾取目的前提下，上述鑷子的臂形狀大小有下列兩種情況:第一夾臂、第二夾臂大小相同；第一夾臂、第二夾臂大小均不相同。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾臂、第二夾臂的頂端通過(guò)相互輾壓連接在一起，上述第一夾臂、第二夾臂具有一定彈性形變能力。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾頭、第二夾頭大小相同；或第一夾頭、第二夾頭大小不同。在其中一些實(shí)施例中，所述第一夾臂與第二夾臂的末端呈八字張開(kāi)，第一夾臂末端與第一夾頭形成內(nèi)向90°角的鉤狀卡槽，第二夾臂末端與第二夾頭形成內(nèi)向90°角的鉤狀卡槽，第一夾頭、第二夾頭的卡槽向內(nèi)。本發(fā)明根據(jù)使用溫度的不用，夾臂和夾頭可選擇適當(dāng)?shù)哪透邷夭牧现瞥桑_(dá)到高溫條件下取放晶片的目的，夾具其夾頭可根據(jù)耐高溫的特點(diǎn)可采用:不銹鋼、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及其他耐高溫的復(fù)合型材料；其夾臂可以根據(jù)使用施力情況以及使用溫度等不同需求選擇:鐵、不銹鋼、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及其他復(fù)合型材料，達(dá)到耐高溫的目的。


圖1所示本發(fā)明實(shí)施例一的示意圖。圖2所示本發(fā)明實(shí)施例二的示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:
第一夾臂1、第二夾臂2、第一夾頭3、第二夾頭4、晶片5。
具體實(shí)施例方式為能進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征、技術(shù)手段以及所達(dá)到的具體目地、功能，解析本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與精神，藉由以下通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的闡述。本發(fā)明實(shí)施例的效果圖參見(jiàn)附圖1、附圖2，本發(fā)明所提供的夾具利用第一夾頭3、第二夾頭4的結(jié)構(gòu)以及第一夾頭3、第二夾頭4與鑷臂安裝形成的特殊卡槽到達(dá)晶片5夾取過(guò)程中防滑的目的，第一夾頭3、第二夾頭4與夾臂根據(jù)使用過(guò)程中的需求不同選材選型安裝銜接，并通過(guò)作用第一夾臂1、第二夾臂2控制第一夾頭3、第二夾頭4的運(yùn)動(dòng)完成操作。本發(fā)明的夾具包含第一夾頭3、第二夾頭4和第一夾臂1、第二夾臂2兩個(gè)主要部件。夾具的第一夾頭3、第二夾頭4具有防滑的功能，其第一夾頭3、第二夾頭4的形狀可以為鏟形、勾形等；第一夾臂1、第二夾臂2控制第一夾頭3、第二夾頭4作用于樣品。第一夾臂1、第二夾臂2間相互連接位置，可以選在第一夾臂1、第二夾臂2中部或夾臂首端；第一夾臂1、第二夾臂2間夾角，在能實(shí)施夾取功能的前提下，可以任意選擇。第一夾頭3、第二夾頭4安裝在第一夾臂1、第二夾臂2末端，形成夾持部。本發(fā)明的夾具其第一夾頭3、第二夾頭4可根據(jù)耐高溫的特點(diǎn)可采用:不銹鋼、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及其他耐高溫的復(fù)合型材料；其第一夾臂1、第二夾臂2可以根據(jù)使用施力情況以及使用溫度等不同需求選擇:鐵、不銹鋼、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及其他復(fù)合型材料，達(dá)到耐高溫的目的。本發(fā)明所提供的夾具利用第一夾頭3、第二夾頭4的結(jié)構(gòu)以及夾頭與第一夾臂1、第二夾臂2安裝形成的特殊卡槽達(dá)到晶片5夾取過(guò)程中防滑的目的，第一夾頭3、第二夾頭4與第一夾臂1、第二夾臂2根據(jù)使用過(guò)程中的不同需求進(jìn)行選材、選型和安裝銜接。在使用時(shí)，通過(guò)第一夾臂1、第二夾臂2操控第一夾頭3、第二夾頭4完成夾取、放片操作。第一夾頭3、第二夾頭4具有防滑的功能，其第一夾頭3、第二夾頭4的形狀可以為鏟形、勾形等。在能實(shí)現(xiàn)夾持晶片5且防滑的前提下，第一夾頭3、第二夾頭4的形狀、大小、安裝組合可隨意選擇。第一夾頭3、第二夾頭4根據(jù)夾頭耐高溫的特點(diǎn)可采用:不銹鋼、石墨、石英、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及其他耐高溫的復(fù)合型材料。通過(guò)第一夾臂1、第二夾臂2兩條控制第一夾頭3、第二夾頭4作用于樣品(晶片5)，第一夾臂1、第二夾臂2的形狀可以為:扁平狀、圓柱形以及錐形等，在能達(dá)到上述夾取目的前提下，鑷子的第一夾臂1、第二夾臂2形狀大小有下列兩種情況:第一夾臂1、第二夾臂2兩條大小相同，或第一夾臂1、第二夾臂2兩條大小不相同。第一夾臂1、第二夾臂2可以根據(jù)使用施力情況以及使用溫度等不同需求選擇:鐵、不銹鋼、鈦、鑰、鎢、鋁合金、塑料以及其他復(fù)合型材料。第一夾臂1、第二夾臂2間相互連接位置，可以選在夾臂中部或夾臂頂端。第一夾臂1、第二夾臂2的連接方式，包括一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、鉗夾以及其他連接方式。第一夾臂1、第二夾臂2之間夾角，在能滿足夾取功能的前提下，可以任意選擇。第一夾頭3、第二夾頭4安裝在第一夾臂1、第二夾臂2末端，形成卡槽夾持部。第一夾頭3、第二夾頭4與第一夾臂1、第二夾臂2可以根據(jù)需求選擇任意安裝角度，夾頭與夾臂末端的安裝方式包括一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、鉗夾以及其他安裝方式。實(shí)施例一:
如圖1所示，本實(shí)施例所采用夾具有兩個(gè)相互對(duì)稱、形狀大小相同的第一夾臂1、第二夾臂2，上述夾臂頂端通過(guò)相互輾壓連接，上述第一夾臂1、第二夾臂2都具有一定彈性形變性能，第一夾臂1、第二夾臂2末端分別連接第一夾頭3、第二夾頭4，第一夾頭3與第二夾頭4末端距離應(yīng)大于晶片5直徑。第一夾頭3與第一夾臂I形成一個(gè)銳角，同理第二夾臂2與第二夾頭4成一個(gè)向內(nèi)側(cè)的角度，第一夾頭3與第二夾頭4形成一個(gè)向內(nèi)的銳角，這樣可以防止晶片5夾取時(shí)滑落。施力于第一夾臂1、第二夾臂2，縮小第一夾頭3、第二夾頭4之間的距離卡住晶片5，并通過(guò)夾臂與夾頭之間的角度將晶片5卡住，有效的防止晶片5掉落，本發(fā)明提供的鑷子用金屬鑰材質(zhì)，可在溫度高達(dá)800°C的環(huán)境下可以安全使用，達(dá)到耐高溫防滑的目的。實(shí)施例二:
本發(fā)明設(shè)計(jì)的第二種實(shí)施方式設(shè)計(jì)一種夾具，如圖2所示，其包含兩個(gè)相互對(duì)稱、形狀大小相同的第一夾臂1、第二夾臂2，上述第一夾臂1、第二夾臂2的頂端通過(guò)相互輾壓連接在一起，上述第一夾臂1、第二夾臂2具有一定彈性形變能力，第一夾臂I與第二夾臂2的末端呈八字張開(kāi)，第一夾臂I與第二夾臂2的末端分別與第一夾頭3和第二夾頭4連接，第一夾頭3、第二夾頭4末端間距大于晶片5直徑。本實(shí)施例2與第一種實(shí)施方式的夾具不同之處在于，本發(fā)明中所提供的夾具的第一夾頭3、第二夾頭4為90°角的鉤狀卡槽。兩夾頭的卡槽向內(nèi)，利用卡槽卡住晶片5，有效的防止晶片5脫落。目前半導(dǎo)體和微電子行業(yè)使用的普通夾具通常包括兩種，一種為:包括兩狹長(zhǎng)的夾臂，該兩端的夾臂一端固定在一起，另一端相互間隔形成夾頭且?jiàn)A頭豎直向下，通過(guò)擠壓兩邊夾臂使夾頭合攏來(lái)夾取晶片5 ;另一種為:真空吸住方式，通過(guò)排空，產(chǎn)生負(fù)壓，用吸盤(pán)將接觸晶片表面，將晶片吸起。第一種鑷子夾頭為豎直向下，安全性較差，易滑落，目前有通過(guò)在夾頭上套上橡膠來(lái)防止滑脫，但就不能在高溫下使用。第二種鑷子真空吸附對(duì)潔凈度要求非常高，吸盤(pán)一旦漏氣將導(dǎo)致晶片脫落，且吸盤(pán)為橡膠材質(zhì)。橡膠在高溫下發(fā)生嚴(yán)重形變的同時(shí)會(huì)污染環(huán)境。因此上述兩種鑷子均不能滿足溫度高達(dá)800°C的高溫環(huán)境中安全使用的需求。實(shí)施中，夾具的一夾頭3、第二夾頭4兩個(gè)夾頭能夾持晶片5且具有防滑的功能，夾具能夾持晶片5，在能達(dá)到夾取目的前提下對(duì)第一夾頭3、第二夾頭4的大小不做限制如:兩個(gè)夾頭大小相同；兩個(gè)夾頭大小不同。第一夾頭3、第二夾頭4具有耐高溫的特點(diǎn)，其材質(zhì)可采用:不銹鋼、石墨、石英、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及其他耐高溫的復(fù)合型材料。第一夾臂1、第二夾臂2控制第一夾頭3、第二夾頭4作用晶片5，其第一夾臂1、第二夾臂2的形狀可以為:扁平狀、圓柱形、以及錐形等；夾具由夾臂控制夾頭作用晶片5，在能實(shí)現(xiàn)上述目的前提下，鑷臂形狀大小有下列兩種情況:第一夾臂1、第二夾臂2大小相同，第一夾臂1、第二夾臂2大小均不相同。第一夾臂1、第二夾臂2控制第一夾頭3、第二夾頭4作用晶片5，第一夾臂1、第二夾臂2可以根據(jù)使用施力情況以及使用溫度等不同需求選擇:鐵、不銹鋼、鈦、鑰、鎢、鋁合金、塑料以及其他復(fù)合型材料。第一夾臂1、第二夾臂2間相互連接處，可以選在第一夾臂1、第二夾臂2中部或夾臂首端。第一夾臂1、第二夾臂2相互連接式包括一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、鉗夾以及其他連接方式
第一夾臂1、第二夾臂2相互連接，第一夾臂1、第二夾臂2間互成夾角，其相互之間的角度可以在能完成上述夾取目的前提下任意選擇。第一夾頭3、第二夾頭4安裝在第一夾臂
1、第二夾臂2末端，形成卡槽夾持部。第一夾頭3、第二夾頭4與第一夾臂1、第二夾臂2可以根據(jù)需求選擇任意安裝角度。第一夾頭3、第二夾頭4與第一夾臂1、第二夾臂2末端的安裝方式，包括一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、鉗夾以及其他安裝方式?？梢岳斫獾氖?，本發(fā)明還具有其他實(shí)施方式，如夾臂、夾頭結(jié)構(gòu)的不對(duì)稱、角度大小的改變，分別采用上述實(shí)施方式的組合等，任何在本發(fā)明基礎(chǔ)上變形的設(shè)計(jì)均屬于本發(fā)明保護(hù)范圍。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，包含有:第一夾臂(I)、第二夾臂(2)，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)之間相互連接形成連接端，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)之間互成夾角，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)具有一定彈性形變性能，所述第一夾臂(I)另一端的自由端安裝銜接有第一夾頭(3)，所述第二夾臂(2)另一端的自由端安裝銜接有第二夾頭(4)，所述第一夾頭(3)與所述第二夾頭(4)之間形成卡槽夾持部，通過(guò)作用所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)控制所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)的運(yùn)動(dòng)作用于樣品； 所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)的形狀為鏟形，所述第一夾頭(3)與所述第一夾臂(I)內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)的銳角，所述第二夾臂(2)與所述第二夾頭(4)內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)側(cè)的銳角； 或所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)的形狀為勾形，所述第一夾頭(3)與所述第一夾臂(O內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)的95 150度鈍角，所述第二夾臂(2)與所述第二夾頭(4)內(nèi)側(cè)形成一個(gè)向內(nèi)側(cè)的95 150度鈍角； 或所述第一夾臂(I)與所述第二夾臂(2)的末端呈八字張開(kāi)，所述第一夾臂(I)向外的末端使八字外側(cè)形成一個(gè)100 170度鈍角，所述第二夾臂(2)向外的末端使八字外側(cè)形成一個(gè)100 170度鈍角，所述第一夾臂(I)與所述第二夾臂(2)的末端部分別與所述第一夾頭(3)和所述第二夾頭(4)連接，所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)末端間距大于晶片(5)直徑，所述第一夾臂(I)末端部與所述第一夾頭(3)形成內(nèi)向50 130度劣角的鉤狀卡槽，所述第二夾臂(2)末端部與所述第二夾頭(4)形成內(nèi)向50 130度劣角的鉤狀卡槽，所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)的卡槽向內(nèi)，利用卡槽卡住晶片(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾臂(I)末端與第一夾頭(3)、所述第二夾臂(2)末端與第二夾頭(4)之間的安裝方式為一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、鉗夾。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)間相互連接位置在夾臂中部或夾臂首端，所述第一夾臂(I)末端安裝銜接有所述第一夾頭(3)，所述第二夾臂(2)末端安裝銜接有所述第二夾頭(4)，所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)之間形成夾持部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)材質(zhì)采用:鐵、不銹鋼、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鶴、招合金、塑料、復(fù)合型材料，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)之間連接方式為一體成型、碾壓、螺絲結(jié)合、黏合、焊接、甜夾。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)耐高溫的材質(zhì)采用:不銹鋼、石墨、石英、碳素、陶瓷、鈦、鑰、鎢、鋁合金以及復(fù)合型材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)的形狀為:扁平狀、圓柱形以及錐形，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)大小相同，或所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2)大小不相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾臂(I)、第二夾臂(2 )的頂端通過(guò)相互輾壓連接在一起。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)大小相同，或所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)大小不同。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，其特征在于，所述第一夾臂(I)與所述第二夾臂(2 )的末端呈八字張開(kāi)，所述第一夾臂(I)末端與所述第一夾頭(3)形成內(nèi)向90°角的鉤狀卡槽，所述第二夾臂(2)末端與所述第二夾頭(4)形成內(nèi)向90°角的鉤狀卡槽， 所述第一夾頭(3)、第二夾頭(4)的卡槽向內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了半導(dǎo)體及微電子行業(yè)耐高溫防滑夾具，通過(guò)夾頭與夾臂的安裝組合方式，使用時(shí)施力于夾臂，用卡槽卡住所夾持晶片，有效防止夾持過(guò)程中晶片的掉落。本發(fā)明包含有第一夾臂、第二夾臂，第一夾臂另一端安裝第一夾頭，第二夾臂另一端安裝第二夾頭，第一夾頭與第二夾頭之間形成卡槽夾持部，通過(guò)作用第一夾臂、第二夾臂控制第一夾頭、第二夾頭的運(yùn)動(dòng)作用于樣品。本發(fā)明根據(jù)使用溫度的不用，夾臂和夾頭可選擇適當(dāng)?shù)哪透邷夭牧现瞥?，達(dá)到高溫條件下取放晶片的目的。
文檔編號(hào)H01L21/687GK103094172SQ201210559378
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月21日
發(fā)明者劉鵬, 畢綠燕, 趙紅軍, 張國(guó)義, 童玉珍, 廉宗隅 申請(qǐng)人:東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司, 北京大學(xué)