專利名稱：工件傳輸系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種工件傳輸系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，由于芯片制造的特殊性，為了縮短生產(chǎn)周期，提高周轉(zhuǎn)率也越來越成為芯片制造的重要課題。自動(dòng)化工件傳輸系統(tǒng)作為連接各個(gè)制造模塊的紐帶的重要性也日益凸現(xiàn)出來。目前的自動(dòng)化工件傳輸系統(tǒng)通常采用單臺(tái)升降機(jī)。這種設(shè)計(jì)主要是由于空間利用的限制以及成本方面的因素，其在傳送量比較大的情況下，由于無法同時(shí)完成取、放而會(huì)造成在小車上的工件無法及時(shí)放下，或等待被送走的工件由于沒有空置的小車無法及時(shí)被取走，一方面，可能因?yàn)榕抨?duì)時(shí)間耗盡而使工件錯(cuò)過最佳后續(xù)工藝時(shí)間或產(chǎn)生一些工藝缺陷， 由此產(chǎn)生的返工更可能占去有效生產(chǎn)時(shí)間，使生產(chǎn)效率下降；另一方面，單臺(tái)升降機(jī)的設(shè)置也成為生廣效率進(jìn)一步提聞的瓶頸。因此，業(yè)界期望獲得一種工件傳輸系統(tǒng)，其可同時(shí)對(duì)多個(gè)工件進(jìn)行拾取或放置的動(dòng)作，從而提升工件的傳輸效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種工件傳輸系統(tǒng)，其可提高工件的傳輸效率。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明技術(shù)方案如下—種工件傳輸系統(tǒng)，包括橫向驅(qū)動(dòng)裝置、橫向?qū)к墶⒒瑝K和至少一個(gè)升降機(jī)，每個(gè)升降機(jī)固定于滑塊的不同位置，橫向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)滑塊沿橫向?qū)к壱苿?dòng)，每個(gè)升降機(jī)包括一載置臺(tái)、至少一縱向?qū)к墶⒑鸵豢v向驅(qū)動(dòng)裝置，載置臺(tái)用于運(yùn)載工件，縱向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)沿縱向?qū)к壸鞔怪狈较蜻\(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地，升降機(jī)為兩臺(tái)，分別為第一升降機(jī)、第二升降機(jī)，第一升降機(jī)的縱向?qū)к壓偷诙禉C(jī)的縱向?qū)к壏謩e垂直固定于滑塊的不同位置。優(yōu)選地，第一升降機(jī)、第二升降機(jī)設(shè)有的載置臺(tái)分別為第一載置臺(tái)、第二載置臺(tái)，第一載置臺(tái)和第二載置臺(tái)在垂直于滑塊的方向上呈上下設(shè)置。優(yōu)選地，第一升降機(jī)、第二升降機(jī)設(shè)有的縱向驅(qū)動(dòng)裝置為同一縱向驅(qū)動(dòng)裝置，該縱向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)第一、第二載置臺(tái)在垂直于滑塊的方向上分別沿第一升降機(jī)的縱向?qū)к?、第二升降機(jī)的縱向?qū)к壸魍竭\(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地，每個(gè)升降機(jī)還設(shè)有一微調(diào)電機(jī)和一傳動(dòng)裝置，傳動(dòng)裝置包括如下傳動(dòng)部件中的任一種或任多種第一傳動(dòng)部件，微調(diào)電機(jī)通過第一傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的左右位置；第二傳動(dòng)部件，微調(diào)電機(jī)通過第二傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的前后位置；第三傳動(dòng)部件，微調(diào)電機(jī)通過第三傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的上下位置；第四傳動(dòng)部件，微調(diào)電機(jī)通過第四傳動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)繞載置臺(tái)中心作360度方向旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明提供的工件傳輸系統(tǒng)，在有限的空間內(nèi)安裝兩臺(tái)以上的升降機(jī)，協(xié)同作業(yè)但又互不影響，可并行對(duì)多個(gè)工件進(jìn)行拾取或放置動(dòng)作，有效減少工件在取與放之間的滯時(shí)，減少待運(yùn)送工件的等待時(shí)間，從而提高工件的傳輸效率、以及半導(dǎo)體制造工藝的生產(chǎn)效率。


圖I不出本發(fā)明第一實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖；圖2不出本發(fā)明第一實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)未運(yùn)載工件時(shí)的俯視圖；圖3示出本發(fā)明第二實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4不出本發(fā)明第二實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)未運(yùn)載工件時(shí)的俯視圖；圖5示出圖3沿A-A線剖視圖；圖6不出本發(fā)明第三實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不意圖；圖7不出本發(fā)明第三實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)未運(yùn)載工件時(shí)的俯視圖；圖8示出圖3沿C-C線剖視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。如圖I、圖2所示，本發(fā)明第一實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)包括橫向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未不出)、兩條橫向?qū)к?0、滑塊20和第一、第二升降機(jī)(圖2為第一實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)未運(yùn)載工件時(shí)的俯視圖)。該兩個(gè)升降機(jī)分別固定于滑塊20的不同位置，橫向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)滑塊20沿橫向?qū)к?0移動(dòng)，從而帶動(dòng)第一、第二升降機(jī)橫向運(yùn)動(dòng)。第一升降機(jī)包括一載置臺(tái)32、一縱向?qū)к?1、和第一縱向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未不出)，載置臺(tái)32用于運(yùn)載工件50，第一縱向驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)32沿縱向?qū)к?1作垂直方向運(yùn)動(dòng)；第二升降機(jī)包括一載置臺(tái)42、一縱向?qū)к?1、和第二縱向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未示出)，載置臺(tái)42用于運(yùn)載工件50，第二縱向驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)42沿縱向?qū)к?1作垂直方向運(yùn)動(dòng)。載置臺(tái)32和載置臺(tái)42的運(yùn)動(dòng)方向可以相同，也可以相反；運(yùn)動(dòng)速度可以相同，也可以不同。第一升降機(jī)的縱向?qū)к?1通過一固定裝置固接于滑塊20之上，第二升降機(jī)的縱向?qū)к?1也通過一固定裝置固接于滑塊20之上，第一載置臺(tái)32和第二載置臺(tái)42在垂直于滑塊20的方向上呈上下設(shè)置，第一載置臺(tái)32位于第二載置臺(tái)42正上方。第一升降機(jī)和第二升降機(jī)分別運(yùn)載了兩個(gè)工件50，可以同時(shí)向生產(chǎn)工位運(yùn)送，也可以同時(shí)運(yùn)離生產(chǎn)工位以進(jìn)行下一步工藝，還可以將一個(gè)工件運(yùn)向生產(chǎn)工位、另一個(gè)運(yùn)離生產(chǎn)工位，即該兩個(gè)升降機(jī)協(xié)同作業(yè)但又互不影響，從而提高了工件的傳輸效率、以及半導(dǎo)體制造工藝的生產(chǎn)效率。具體地，第一升降機(jī)的縱向?qū)к?1垂直固定于滑塊20的左端側(cè)，第二升降機(jī)的縱向?qū)к?1垂直固定于滑塊20的右端側(cè)。進(jìn)一步地，第一、第二縱向驅(qū)動(dòng)裝置為同一縱向驅(qū)動(dòng)裝置，該縱向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)第一、第二載置臺(tái)32、42在垂直于滑塊20的方向上分別沿第一升降機(jī)的縱向?qū)к?1、第二升降機(jī)的縱向?qū)к?2作同步運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步地，第一、第二升降機(jī)分別還設(shè)有一微調(diào)電機(jī)和一傳動(dòng)裝置，傳動(dòng)裝置包括如下4個(gè)傳動(dòng)部件中的任意一種或它們的任意組合第一傳動(dòng)部件、第二傳動(dòng)部件、第三傳動(dòng)部件和第四傳動(dòng)部件。其中，微調(diào)電機(jī)可通過第一傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的左右位置，可通過第二傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的前后位置，可通過第三傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的上下位置，還可通過第四傳動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)繞載置臺(tái)中心作最多為360度方向的旋轉(zhuǎn)。通過微調(diào)，可使載置臺(tái)與生產(chǎn)線上的放置工件的位置或拾取工件的機(jī)械手對(duì)齊，便于工件的傳輸。進(jìn)一步地，傳輸?shù)墓ぜ榫A盒，其中放置有待加工或加工完成的晶圓。進(jìn)一步地，載置臺(tái)32、42可將工件50吊裝于其下方進(jìn)行運(yùn)載；也可將工件50托置于其上方進(jìn)行運(yùn)載。如圖3、圖4和圖5所示，本發(fā)明第二實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)包括橫向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未示出)、兩條橫向?qū)к?0、滑塊20和第一、第二升降機(jī)(圖4為第二實(shí)施例的工件 傳輸系統(tǒng)未運(yùn)載工件時(shí)的俯視圖)。橫向驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)滑塊20沿橫向?qū)к?0移動(dòng)。具體地，第一升降機(jī)的縱向?qū)к?1固定于滑塊20的位置位于滑塊20的左端側(cè)，遠(yuǎn)離滑塊20的中心，第二升降機(jī)的縱向?qū)к?1與其靠近，并位于其內(nèi)側(cè)，即第二升降機(jī)的縱向?qū)к?1固定于滑塊20的位置相對(duì)接近于滑塊20的中心。第一升降機(jī)還包括一載置臺(tái)32、和第一縱向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未示出)，其各部件的作用與連接關(guān)系與本發(fā)明第一實(shí)施例中相同；第二升降機(jī)還包括一載置臺(tái)42、和第二縱向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未示出)，其各部件的作用與連接關(guān)系與本發(fā)明第一實(shí)施例中相同。與第一實(shí)施例中不同的是，第二升降機(jī)的縱向?qū)к?1的長(zhǎng)度較第一升降機(jī)的縱向?qū)к?1的長(zhǎng)度更短。載置臺(tái)32和載置臺(tái)42運(yùn)載有工件50，其運(yùn)動(dòng)方向可以相同或相反，運(yùn)動(dòng)速度可以相同或不同。進(jìn)一步地，第一、第二縱向驅(qū)動(dòng)裝置為同一縱向驅(qū)動(dòng)裝置，該縱向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)第一、第二載置臺(tái)32、42在垂直于滑塊20的方向上分別沿第一升降機(jī)的縱向?qū)к?1、第二升降機(jī)的縱向?qū)к?2作同步運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步地，第一、第二升降機(jī)分別還設(shè)有一微調(diào)電機(jī)和一傳動(dòng)裝置，傳動(dòng)裝置包括如下4個(gè)傳動(dòng)部件中的任意一種或它們的任意組合第一傳動(dòng)部件、第二傳動(dòng)部件、第三傳動(dòng)部件和第四傳動(dòng)部件。其中，微調(diào)電機(jī)可通過第一傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的左右位置，可通過第二傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的前后位置，可通過第三傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的上下位置，還可通過第四傳動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)繞載置臺(tái)中心作最多為360度方向的旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步地，該工件傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)墓ぜ?0為晶圓盒，其中放置有待加工或加工完成的晶圓。進(jìn)一步地，載置臺(tái)32、42可將工件50吊裝于其下方進(jìn)行運(yùn)載；也可將工件50托置于其上方進(jìn)行運(yùn)載。如圖6、圖7和圖8所不,本發(fā)明第三實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)包括橫向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未示出)、兩條橫向?qū)к?0、滑塊20和第一、第二升降機(jī)(圖7為第三實(shí)施例的工件傳輸系統(tǒng)未運(yùn)載工件時(shí)的俯視圖)。橫向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)滑塊20沿橫向?qū)к?0移動(dòng)。具體地，第一升降機(jī)的縱向?qū)к墳閮蓷l，分別為第一、第二縱向?qū)к?11、312，其固定于滑塊20的位置分別位于滑塊20的兩個(gè)端側(cè)，對(duì)稱于滑塊20的中心；第二升降機(jī)的縱向?qū)к壱矠閮蓷l，分別為第三、第四縱向?qū)к?11、412，分別位于第一、第二縱向?qū)к?11、312的內(nèi)側(cè)，第三、第四縱向?qū)к?11、412固定于滑塊20的位置也對(duì)稱于滑塊20的中心，第一、第二、第三、第四縱向?qū)к?11、312、411、412固定于滑塊20的位置位于同一直線上。其中，該工件傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)墓ぜ?0為晶圓盒，其中放置有待加工或加工完成的晶圓?？梢岳斫?第一、第二縱向?qū)к?11、312固定于滑塊20的位置可以為一個(gè)第一圓任一徑向方向的兩個(gè)端點(diǎn)，第三、第四縱向?qū)к?11、412固定于滑塊20的位置可以為一個(gè)第二圓任一徑向方向的兩個(gè)端點(diǎn)，其中，第一圓與第二圓為同心圓，圓心為滑塊20的中心，
第一圓直徑大于第二圓。第一升降機(jī)還包括第一縱向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未示出)和一載置臺(tái)，該載置臺(tái)包括兩個(gè)托片321、322，托片321通過一轉(zhuǎn)軸連接于第一縱向?qū)к?11，托片322通過一轉(zhuǎn)軸連接于第二縱向?qū)к?12 ;托片321、322繞各自的轉(zhuǎn)軸同步向上閉合以承載起工件50，同步向下閉合以放下工件50。 類似地，第二升降機(jī)包括第二縱向驅(qū)動(dòng)裝置(附圖未示出)和一載置臺(tái)，該載置臺(tái)包括兩個(gè)托片421、422，托片421通過一轉(zhuǎn)軸連接于第三縱向?qū)к?11，托片422通過一轉(zhuǎn)軸連接于第四縱向?qū)к?12 ;托片421、422繞各自的轉(zhuǎn)軸同步向上閉合以承載起工件50，同步向下閉合以放下工件50。進(jìn)一步地，第一縱向驅(qū)動(dòng)裝置和第二縱向驅(qū)動(dòng)裝置為同一縱向驅(qū)動(dòng)裝置。進(jìn)一步地，第一、第二升降機(jī)分別還設(shè)有一微調(diào)電機(jī)和一傳動(dòng)裝置，傳動(dòng)裝置包括如下4個(gè)傳動(dòng)部件中的任意一種或它們的任意組合第一傳動(dòng)部件、第二傳動(dòng)部件、第三傳動(dòng)部件和第四傳動(dòng)部件。其中，微調(diào)電機(jī)可通過第一傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的左右位置，可通過第二傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的前后位置，可通過第三傳動(dòng)部件微調(diào)載置臺(tái)的上下位置，還可通過第四傳動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)繞載置臺(tái)中心作最多為360度方向的旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步地，橫向驅(qū)動(dòng)裝置、第一(第二)縱向驅(qū)動(dòng)裝置均為步進(jìn)式電機(jī)；微調(diào)電機(jī)為伺服式電機(jī)。以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種工件傳輸系統(tǒng)，包括橫向驅(qū)動(dòng)裝置、橫向?qū)к?、滑塊和至少一個(gè)升降機(jī)，每個(gè)所述升降機(jī)固定于所述滑塊的不同位置，所述橫向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述滑塊沿所述橫向?qū)к壱苿?dòng)，每個(gè)所述升降機(jī)包括一載置臺(tái)、至少一縱向?qū)к?、和一縱向驅(qū)動(dòng)裝置，所述載置臺(tái)用于運(yùn)載所述工件，所述縱向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述工件沿所述縱向?qū)к壸鞔怪狈较蜻\(yùn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求I所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述升降機(jī)為兩臺(tái)，分別為第一升降機(jī)、第二升降機(jī)，所述第一升降機(jī)的縱向?qū)к壓退龅诙禉C(jī)的縱向?qū)к壏謩e垂直固定于所述滑塊的不同位置。
3.如權(quán)利要求2所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述第一升降機(jī)、所述第二升降機(jī)設(shè)有的載置臺(tái)分別為第一載置臺(tái)、第二載置臺(tái)，所述第一載置臺(tái)和第二載置臺(tái)在垂直于所述滑塊的方向上呈上下設(shè)置。
4.如權(quán)利要求3所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述第一升降機(jī)、所述第二升降機(jī)設(shè)有的縱向驅(qū)動(dòng)裝置為同一縱向驅(qū)動(dòng)裝置，該縱向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一、第二載置臺(tái)在垂直于所述滑塊的方向上分別沿所述第一升降機(jī)的縱向?qū)к?、所述第二升降機(jī)的縱向?qū)к壸魍竭\(yùn)動(dòng)。
5.如權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述第一升降機(jī)的縱向?qū)к?、所述第二升降機(jī)的縱向?qū)к壏謩e固定于所述滑塊的左、右端側(cè)。
6.如權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述第二升降機(jī)的縱向?qū)к壩挥谒龅谝簧禉C(jī)的縱向?qū)к壍膬?nèi)側(cè)，接近于所述滑塊的中心。
7.如權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述第一升降機(jī)的縱向?qū)к墳閮蓷l，分別為第一、第二縱向?qū)к?，所述第一、第二縱向?qū)к壒潭ㄓ谒龌瑝K的位置位于第一圓的任一徑向方向的兩個(gè)端點(diǎn)；所述第二升降機(jī)的縱向?qū)к墳閮蓷l，分別為第三、第四縱向?qū)к?，所述第三、第四縱向?qū)к壒潭ㄓ谒龌瑝K的位置位于第二圓的任一徑向方向的兩個(gè)端點(diǎn)，所述第一圓與所述第二圓具有共同的圓心，所述圓心為所述滑塊的中心，所述第一圓直徑大于所述第二圓直徑。
8.如權(quán)利要求I所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)所述升降機(jī)還設(shè)有一微調(diào)電機(jī)和一傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置包括如下傳動(dòng)部件中的任一種或任多種 第一傳動(dòng)部件，所述微調(diào)電機(jī)通過所述第一傳動(dòng)部件微調(diào)所述載置臺(tái)的左右位置； 第二傳動(dòng)部件，所述微調(diào)電機(jī)通過所述第二傳動(dòng)部件微調(diào)所述載置臺(tái)的前后位置； 第三傳動(dòng)部件，所述微調(diào)電機(jī)通過所述第三傳動(dòng)部件微調(diào)所述載置臺(tái)的上下位置； 第四傳動(dòng)部件，所述微調(diào)電機(jī)通過所述第四傳動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)所述載置臺(tái)繞所述載置臺(tái)中心作360度方向旋轉(zhuǎn)。
9.如權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)、或權(quán)利要求8所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述工件為晶圓盒。
10.如權(quán)利要求9所述的傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述升降機(jī)的載置臺(tái)包括兩個(gè)托片，所述兩個(gè)托片分別通過一轉(zhuǎn)軸連接所述升降機(jī)的不同條縱向?qū)к?，所述兩個(gè)托片同步向上閉合以承載所述工件，以及同步向下打開以放下所述工件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種工件傳輸系統(tǒng)，包括橫向驅(qū)動(dòng)裝置、橫向?qū)к?、滑塊和至少一個(gè)升降機(jī)，每個(gè)升降機(jī)固定于滑塊的不同位置，橫向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)滑塊沿橫向?qū)к壱苿?dòng)，每個(gè)升降機(jī)包括一載置臺(tái)、至少一縱向?qū)к?、和一縱向驅(qū)動(dòng)裝置，載置臺(tái)用于運(yùn)載工件，縱向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)沿縱向?qū)к壸鞔怪狈较蜻\(yùn)動(dòng)。其在有限的空間內(nèi)安裝兩臺(tái)以上的升降機(jī)，可以協(xié)同作業(yè)但又互不影響，從而提高工件的傳輸效率、以及半導(dǎo)體制造工藝的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102931120SQ20121041347
公開日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月25日
發(fā)明者戴文俊 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司