技術(shù)編號(hào):7110620
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,更具體地說(shuō),涉及一種工件傳輸系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中,由于芯片制造的特殊性,為了縮短生產(chǎn)周期,提高周轉(zhuǎn)率也越來(lái)越成為芯片制造的重要課題。自動(dòng)化工件傳輸系統(tǒng)作為連接各個(gè)制造模塊的紐帶的重要性也日益凸現(xiàn)出來(lái)。目前的自動(dòng)化工件傳輸系統(tǒng)通常采用單臺(tái)升降機(jī)。這種設(shè)計(jì)主要是由于空間利用的限制以及成本方面的因素,其在傳送量比較大的情況下,由于無(wú)法同時(shí)完成取、放而會(huì)造成在小車上的工件無(wú)法及時(shí)放下,或等待被送走的工件由于沒(méi)有空置的小車無(wú)法及...
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