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不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜及制備方法

文檔序號(hào):7110025閱讀:217來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜及制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜及制備方法,屬于染料敏化太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
由納米半導(dǎo)體組成的半導(dǎo)體薄膜在近年來(lái)備受關(guān)注,納米半導(dǎo)體具有許多常規(guī)半導(dǎo)體無(wú)法媲美的奇異特性和非凡的特殊功能,在諸多領(lǐng)域具有空前的應(yīng)用前景。隨著能源的需求與日俱增,人們對(duì)利用太陽(yáng)能的渴望日趨強(qiáng)烈。目前市場(chǎng)上所流行的太陽(yáng)能電池主要是以硅為原材料的單晶、多晶硅電池。
自上世紀(jì)90年代以來(lái),染料敏化太陽(yáng)能電池(Dye-sansitized solar cells 簡(jiǎn)稱DSSC)以其成本低廉,制備工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)而備受矚目。自瑞士洛桑高工(EPFL)M. Gratzel教授領(lǐng)導(dǎo)的研究小組在該技術(shù)上取得巨大突破以來(lái),DSSC的最高光電轉(zhuǎn)化效率已經(jīng)達(dá)到10%以上,并且仍有突破的空間。DSSC主要由負(fù)載染料的光陽(yáng)極、電解液和對(duì)電極三部分組成。其中半導(dǎo)體光陽(yáng)極起到負(fù)載染料和傳遞電子的作用。光陽(yáng)極的結(jié)構(gòu)形貌不僅影響了染料的吸附效果,具有散射結(jié)構(gòu)的光陽(yáng)極還可以改善光的利用效率。同時(shí),光陽(yáng)極的內(nèi)部孔道結(jié)構(gòu)也影響染料溶液和電解液的滲透效果。由于TiO2具有適合的禁帶寬度,并且無(wú)毒安全,所以廣泛的被用于制作光催化半導(dǎo)體材料,染料敏化太陽(yáng)能電池的光陽(yáng)極也不例外。以鈦醇鹽等化合物最為鈦源合成復(fù)雜形貌的TiO2的方法被廣泛的研究,不同形貌的TiO2可以使其比表面積增大且電子傳遞效果得到優(yōu)化[CN201110050413. 7],但合成TiO2的生產(chǎn)工藝較復(fù)雜,水熱和煅燒等過(guò)程耗能較大,并且還會(huì)有較多的廢料產(chǎn)生。這給工業(yè)化生產(chǎn)DSSC帶來(lái)很大的難度。德固賽公司生產(chǎn)的P25是目前最廣泛應(yīng)用的混合晶型二氧化鈦材料,其銳鈦礦和金紅石的重量比大約為80/20。P25的顆粒分散性良好,粒徑分布較均勻,且產(chǎn)品供應(yīng)充足,成本較低,是作為工業(yè)上大量制備DSSC光陽(yáng)極的最優(yōu)選。利用大顆粒TiO2摻雜入光陽(yáng)極中的方法可以提高入射光的散射效果,提高入射光利用率。并且,將光陽(yáng)極中較大散射核心顆粒以由大到小的漸進(jìn)形式分布在光陽(yáng)極中,會(huì)使光電轉(zhuǎn)化效率有較大的提升[Coordination Chemistry Reviews 248 (2004) 1381 -1389]。但大顆粒1102的引入會(huì)降低光陽(yáng)極整體的比表面積,影響染料的吸附量。有關(guān)文獻(xiàn)報(bào)道[Chem. Commun. , 2005, 2011 - 2013],利用孔洞作為光陽(yáng)極的散射核心也可以起到提高入射光利用率的效果,還避免了比表面積的損失,并且更利于染料溶液和電解液的滲透,但是其孔洞均一分布在光陽(yáng)極半導(dǎo)體膜中。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜及制備方法,該半導(dǎo)體薄膜不同層面具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu),其比表面積不易受損失,光化學(xué)電化學(xué)效果優(yōu)良。其制備方法過(guò)程簡(jiǎn)單。
本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案加以實(shí)現(xiàn)的,一種不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜,其特征在于,該半導(dǎo)體薄膜由三層二氧化鈦顆粒層構(gòu)成,其中底層之上的中間層含有孔徑范圍為180-200nm的孔洞,中間層之上的頂層含有孔徑范圍為350_400nm的孔洞。上述結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體薄膜的制備方法,其特征在于包括以下過(guò)程
1)按苯乙烯單體與過(guò)硫酸鉀及聚乙烯吡咯烷酮以質(zhì)量比為I:0.013 0. I的比例將三者的混合物加入去離子水中,經(jīng)超聲波分散均勻后80°C回流反應(yīng)6h,制備出顆粒為180-200nm的聚苯乙烯微球;
2)將二氧化鈦、松油醇、乙基纖維素、乙醇和鋯珠以質(zhì)量比為I:3-5 0. 3-0. 7 20-40 60的比例球磨混合,過(guò)濾分離出鋯珠并旋蒸分離出乙醇后得到用于制備半導(dǎo)體膜的底層漿料;將二氧化鈦、松油醇、乙基纖維素、乙醇、鋯珠及聚苯乙烯微球以質(zhì)量比為I :3-5: O.3-0. 7 20-40 60 0. 25的比例球磨混合,過(guò)濾分離出鋯珠并旋蒸分離出乙醇后得到用于制備半導(dǎo)體膜的底層之上的中間層漿料,將二氧化鈦、松油醇、乙基纖維素、乙醇、鋯珠和聚苯乙烯微球以質(zhì)量比為I :3-5 0. 3-0. 7 20-40 60 0. 5的比例球磨混合,過(guò)濾分離出鋯珠并旋蒸分離出乙醇后得到用于制備半導(dǎo)體膜中間層之上的頂層漿料;
3)以摻雜氟的氧化錫導(dǎo)電玻璃為基底,將步驟2)制得的底層漿料利用絲網(wǎng)印刷涂布在摻雜氟的氧化錫導(dǎo)電玻璃上,涂布厚度為4-8微米,在溫度為100-150°C下烘干5-10min,以烘干后的半導(dǎo)體膜底層作為基底,將步驟2)制得的中間層漿料利用絲網(wǎng)印刷涂布在基底上,涂布厚度為4-8微米,在溫度為100-150°C下烘干5-10min,最后以烘干后的半導(dǎo)體膜中間層作為基底,將步驟2)制得的頂層漿料利用絲網(wǎng)印刷涂布在基底上,涂布厚度為4-8微米,在溫度為100-150°C下烘干5-10min,得到未煅燒的半導(dǎo)體膜;
4)將步驟3)制得未煅燒的半導(dǎo)體膜加入馬弗爐中,以2-10°C/min的升溫速率,升溫至450-500°C恒溫煅燒30-60min,制得不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)有以下幾點(diǎn)。首先,利用聚合物微球在半導(dǎo)體膜中造孔,有利于電解液和染料溶液的滲透,填充入孔洞的電解液又起到光散射效果,提高入射光利用率,從而提高光轉(zhuǎn)化效率。其次,利用薄膜上不同層面的孔徑漸進(jìn)結(jié)構(gòu),使靠近摻雜氟的氧化錫(FTO)導(dǎo)電基底的半導(dǎo)體膜的光入射效果良好且電解液灌注適量,靠近光陽(yáng)極頂端的孔徑變大,電解液滲透且光散射效果良好。最后,生產(chǎn)操作過(guò)程簡(jiǎn)單,設(shè)備要求低,原料為工業(yè)品且易于獲得,適于工業(yè)化生產(chǎn)。


圖I為本發(fā)明實(shí)施例I所制得的不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜底層表面形貌電鏡圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例I所制得的不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜底層之上的中間層表面形貌電鏡圖。圖3是圖2的放大圖。圖4為本發(fā)明實(shí)施例I所制得的不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜中間層之上的頂層表面形貌電鏡圖。圖5是圖4的放大圖。
具體實(shí)施例方式 實(shí)施例I:
首先,稱取IOg苯乙烯單體,O. 13g過(guò)硫酸鉀,Ig聚乙烯吡咯烷酮-K30,將三者的混合物加入IOOml去離子水中,經(jīng)超聲波分散均勻后80°C回流反應(yīng)6h,制備出顆粒直徑為200nm的聚苯乙烯微球。稱取4g松油醇,20g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 3g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合2h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層漿料。稱取O. 25g上述制得的聚苯乙烯微球,4g松油醇,20g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 3g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合2h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層之上的中間層漿料。 稱取O. 5g上述制得的聚苯乙烯微球,4g松油醇,20g無(wú)水乙醇,lgP25,0.3g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合2h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜中間層之上的頂層漿料。以4cmX7. 5cm的FTO導(dǎo)電玻璃為基底,將250mesh的絲網(wǎng)置于基底之上,將底層漿料用刮刀印刷一層厚度為4微米涂層,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將中間層漿料用刮刀印刷一層厚度為4微米涂層,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將頂層漿料用刮刀印刷一層厚度為4微米涂層,制得總厚度為12微米的半導(dǎo)體涂層。將印刷制得的涂層加入馬弗爐中,以10°C/min的速度升溫至450°C維持30min,制備出具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體薄膜。實(shí)施例2:
稱取4g松油醇,20g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 3g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合2h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層漿料。稱取O. 25g上述制得的聚苯乙烯微球,4g松油醇,20g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 3g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合2h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層之上的中間層漿料。稱取O. 5g上述制得的聚苯乙烯微球,4g松油醇,20g無(wú)水乙醇,lgP25,0. 3g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合2h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜中間層之上的頂層漿料。以4cmX7. 5cm的FTO導(dǎo)電玻璃為基底,將250mesh的絲網(wǎng)置于基底之上,將底層漿料用刮刀印刷一層厚度為4微米涂層,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將中間層漿料用刮刀印刷一層厚度為4微米涂層,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將頂層漿料用刮刀印刷一層厚度為4微米涂層,制得總厚度為12微米的半導(dǎo)體涂層。將印刷制得的涂層加入馬弗爐中,以10°C/min的速度升溫至450°C維持30min,制備出具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體薄膜。待其溫度降低至115°C時(shí)將其趁熱浸泡入3X 10_4mol/L的二 -四丁銨-雙(異硫氰基)雙(2,2’ -聯(lián)吡啶-4,4’ - 二羧基)釕(II)染料溶液中20h。取出沖洗后風(fēng)干,制得具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的染料敏化光陽(yáng)極。實(shí)施例3
稱取5g松油醇,25g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 5g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合3h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層漿料。稱取O. 25g上述制得的聚苯乙烯微球,5g松油醇,25g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 5g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合3h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層之上的中間層漿料。稱取O. 5g上述制得的聚苯乙烯微球,5g松油醇,25g無(wú)水乙醇,lgP25,0. 5g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合3h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜中間層之上的頂層漿料。以4cmX7. 5cm的FTO導(dǎo)電玻璃為基底,將250mesh的絲網(wǎng)置于基底之上,將底層漿料用刮刀印刷每層厚度為4微米涂層,共印刷兩次,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將中間層漿料用刮刀印刷每層厚度為4微米涂層,共印刷兩次,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將頂層漿料用刮刀印刷每層厚度為4微米涂層,共印刷兩次,制得總厚度為24微米的半導(dǎo)體涂層。將印刷制得的涂層加入馬弗爐中,以5°C/min的速度升溫至450°C維持30min,制備出具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體薄膜。待其溫度降低至115°C時(shí)將其趁熱浸泡入3X 10_4mol/L的二 -四丁銨-雙 (異硫氰基)雙(2,2’-聯(lián)吡啶-4,4’-二羧基)釕(II)染料溶液中20h。取出沖洗后風(fēng)干,制得具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的染料敏化光陽(yáng)極。以鉬電極為對(duì)電極和上述具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的染料敏化光陽(yáng)極進(jìn)行組裝,中間夾層注入電解液,即制備出具有光陽(yáng)極漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的染料敏化太陽(yáng)能電池。所使用的電解液為組分為L(zhǎng)iI (O. I mol/L), I2 (O. 05mol/L), 4-TBP (O. 5mol/L),GuSCN (0. 05mol/L), DMPII (0.6mol/L)。采用Keithley2400數(shù)字源表和太陽(yáng)光模擬器(光源500W的氙燈,AMl. 5,光功率密度為100mW/cm2)測(cè)試已組裝的電池,短路電流密度為13. 88mA/cm2,開(kāi)路電壓為790mV,填充因子為67. 88%,光電轉(zhuǎn)化效率為7. 44%。實(shí)施例4及對(duì)比例
稱取3. 5g松油醇,25g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 5g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合3h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層漿料。稱取O. 25g上述制得的聚苯乙烯微球,3. 5g松油醇,25g無(wú)水乙醇,Ig P25,0. 5g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合3h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜底層之上的中間層漿料。稱取O. 5g上述制得的聚苯乙烯微球,3. 5g松油醇,25g無(wú)水乙醇,lgP25,0.5g乙基纖維素和60g鋯珠,球磨混合3h,球磨完畢后用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器除去乙醇,制備出半導(dǎo)體膜中間層之上的頂層漿料。以4cmX7. 5cm的FTO導(dǎo)電玻璃為基底,將250mesh的絲網(wǎng)置于基底之上,將底層漿料用刮刀印刷每層厚度為4微米涂層,共印刷兩次,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將中間層漿料用刮刀印刷每層厚度為4微米涂層,共印刷兩次,每次印刷后在120°C烘干5min,以上述涂層為基底,用同樣的絲網(wǎng)將頂層漿料用刮刀印刷每層厚度為4微米涂層,共印刷兩次,制得總厚度為24微米的半導(dǎo)體涂層。將印刷制得的涂層加入馬弗爐中,以5°C/min的速度升溫至450°C維持30min,制備出具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體薄膜。待其溫度降低至115°C時(shí)將其趁熱浸泡入3X 10_4mol/L的二 -四丁銨-雙(異硫氰基)雙(2,2’-聯(lián)吡啶-4,4’-二羧基)釕(II)染料溶液中20h。取出沖洗后風(fēng)干,制得具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的染料敏化光陽(yáng)極。以4cmX7. 5cm的FTO導(dǎo)電玻璃為基底,將250mesh的絲網(wǎng)置于基底之上,將底層漿料用刮刀印刷每層厚度為4微米涂層,共印刷六次,每次印刷后在120°C烘干5min,制得厚度為24微米的半導(dǎo)體涂層,將印刷制得的涂層加入馬弗爐中,以5°C/min的速度升溫至450°C維持30min,制備出具有漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體薄膜。待其溫度降低至115°C時(shí)將其趁熱浸泡入3X 10_4mol/L的二 -四丁銨-雙(異硫氰基)雙(2,2’ -聯(lián)吡啶-4,4’ - 二羧基)釕(II)染料溶液中20h。取出沖洗后風(fēng)干,制得普通的染料敏化光陽(yáng)極,作為對(duì)照參比。以鉬電極為對(duì)電極和上述兩種染料敏化光陽(yáng)極進(jìn)行組裝,中間夾層注入電解液,即制備出具有光陽(yáng)極漸進(jìn)孔徑結(jié)構(gòu)的染料敏化太陽(yáng)能電池。所使用的電解液為組分為L(zhǎng)iI (O. I mol/L), I2 (0.05mol/L), 4-TBP (O. 5mol/L),GuSCN (0.05mol/L),DMPII (0. 6mol/L)。采用Keithley2400數(shù)字源表和太陽(yáng)光模擬器(光源500W的氙燈,AMl. 5,光功率密度為100mW/cm2)測(cè)試已組裝的電池,短路電流密度為14. 96mA/cm2,開(kāi)路電 壓為790mV,填充因子為66. 82%,光電轉(zhuǎn)化效率為7. 80%。在同樣條件下利用不含聚合物微球的漿料制備具有同樣光陽(yáng)極厚度的普通結(jié)構(gòu)染料敏化太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)化效率僅為
6.63%。表I為實(shí)施例4和對(duì)比例所制得的兩種染料敏化太陽(yáng)能電池的性能參數(shù)比較表
娜電流密度開(kāi)路頓轉(zhuǎn)傾率
Ο⑷f(wàn)t)
對(duì)比擁的太陽(yáng)能
13-0279064.46 G. G3
_
14.96780G6.S3 7.80
能電池
權(quán)利要求
1.一種不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜,其特征在于,該半導(dǎo)體薄膜由三層二氧化鈦顆粒層構(gòu)成,其中底層之上的中間層含有孔徑范圍為180-200nm的孔洞,中間層之上的頂層含有孔徑范圍為350-400nm的孔洞。
2.一種按權(quán)利要求I所述的不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜的制備方法,其特征在于包括以下過(guò)程 1)按苯乙烯單體與過(guò)硫酸鉀及聚乙烯吡咯烷酮以質(zhì)量比為I:0. 013:0. I的比例將三者的混合物加入去離子水中,經(jīng)超聲波分散均勻后80°C回流反應(yīng)6h,制備出顆粒為180-200nm的聚苯乙烯微球; 2)將二氧化鈦、松油醇、乙基纖維素、乙醇和鋯珠以質(zhì)量比為I:3-5 0. 3-0. 7 20-40 60的比例球磨混合,過(guò)濾分離出鋯珠并旋蒸分離出乙醇后得到用于制備半導(dǎo)體膜的底層漿料;將二氧化鈦、松油醇、乙基纖維素、乙醇、鋯珠及聚苯乙烯微球以質(zhì)量比為I :3-5:O.3-0. 7 20-40 60 0. 25的比例球磨混合,過(guò)濾分離出鋯珠并旋蒸分離出乙醇后得到用于制備半導(dǎo)體膜的底層之上的中間層漿料,將二氧化鈦、松油醇、乙基纖維素、乙醇、鋯珠和聚苯乙烯微球以質(zhì)量比為I :3-5 0. 3-0. 7 20-40 60 0. 5的比例球磨混合,過(guò)濾分離出鋯珠并旋蒸分離出乙醇后得到用于制備半導(dǎo)體膜中間層之上的頂層漿料; 3)以摻雜氟的氧化錫導(dǎo)電玻璃為基底,將步驟2)制得的底層漿料利用絲網(wǎng)印刷涂布在摻雜氟的氧化錫導(dǎo)電玻璃上,涂布厚度為4-8微米,在溫度為100-150°C下烘干5-10min,以烘干后的半導(dǎo)體膜底層作為基底,將步驟2)制得的中間層漿料利用絲網(wǎng)印刷涂布在基底上,涂布厚度為4-8微米,在溫度為100-150°C下烘干5-10min,最后以烘干后的半導(dǎo)體膜中間層作為基底,將步驟2)制得的頂層漿料利用絲網(wǎng)印刷涂布在基底上,涂布厚度為4-8微米,在溫度為100-150°C下烘干5-10min,得到未煅燒的半導(dǎo)體膜; 4)將步驟3)制得未煅燒的半導(dǎo)體膜加入馬弗爐中,以2-10°C/min的升溫速率,升溫至450-500°C恒溫煅燒30-60min,制得不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜及制備方法,屬于染料敏化太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域。所述的半導(dǎo)體薄膜是由三層二氧化鈦顆粒層構(gòu)成,各層之間孔徑漸進(jìn)。該半導(dǎo)體薄膜的制備過(guò)程包括苯乙烯微球的制備,以二氧化鈦、松油醇、乙基纖維素、乙醇和聚苯乙烯微球制得三種不同層面所應(yīng)用的漿料,以摻雜氟的氧化錫導(dǎo)電玻璃為基底,以絲網(wǎng)印刷分別涂布并經(jīng)煅燒,得到不同層面孔徑漸進(jìn)的半導(dǎo)體薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于,不同層面的孔徑漸進(jìn)結(jié)構(gòu)有利于電解液和染料溶液的滲透,且光散射效果良好,光電轉(zhuǎn)化率高,生產(chǎn)操作過(guò)程簡(jiǎn)單,易于工業(yè)化生產(chǎn)。
文檔編號(hào)H01G9/048GK102915845SQ20121039319
公開(kāi)日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2012年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月17日
發(fā)明者馮亞青, 彭嘯 申請(qǐng)人:天津大學(xué)
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