技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板處理方法和基板處理裝置，基板處理方法包括：沖洗工序，對硅基板的表面供給第一溫度的水，利用該水對所述硅基板的表面實(shí)施沖洗處理；第二溫度水供給（涂敷）工序，在所述沖洗工序之后，對所述硅基板的表面供給比所述第一溫度低的第二溫度的水；干燥工序，在所述第二溫度水供給工序之后，使所述硅基板旋轉(zhuǎn)，從而將該硅基板的表面的水甩向硅基板的周圍，使所述硅基板干燥。

技術(shù)研發(fā)人員：高橋弘明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：斯克林集團(tuán)公司
文檔號碼：201210359233
技術(shù)研發(fā)日：2012.09.24
技術(shù)公布日：2017.03.01