具有緩沖作用的晶粒吸嘴的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有緩沖作用的晶粒吸嘴，包括有一固定部、一管狀彈性體與一工作部，且該固定部、管狀彈性體與工作部均設(shè)有提供氣體流動(dòng)的孔道；管狀彈性體設(shè)于固定部內(nèi)，工作部直接或間接連接于管狀彈性體，將固定部設(shè)于真空抽氣裝置并進(jìn)行操作時(shí)，可以在所述孔道產(chǎn)生負(fù)氣體壓力(負(fù)壓)，從而在工作部的端部產(chǎn)生吸力，所述管狀彈性體提供工作部與固定部之間的彈性緩沖作用，避免工作部接觸晶粒時(shí)的作用力對(duì)晶粒造成損壞。
【專利說明】具有緩沖作用的晶粒吸嘴
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種專用于對(duì)小型晶粒進(jìn)行吸附以便于輸送的吸嘴。
【背景技術(shù)】
[0002]發(fā)光二極管(LED)芯片在經(jīng)過研磨、切割及點(diǎn)亮測(cè)試后，會(huì)進(jìn)行晶粒分選(solting),而后進(jìn)行固晶(die bond)及打線(wire bond)等封裝制程。因LED上方的薄膜層十分脆弱，為避免LED晶粒在被吸嘴吸取時(shí)造成薄膜層壓傷，因此大部份的吸嘴均以軟質(zhì)橡膠或是塑料、高分子類材質(zhì)制作。當(dāng)LED晶粒尺寸太小時(shí)(小于12mil時(shí))，用來吸取晶粒所使用的吸嘴頭也須要配合變小。以軟橡膠或是塑料所制作的吸嘴，雖然可以避免LED晶粒被壓傷或是晶粒破裂的問題，但是因?yàn)槭褂脡勖鼧O短(一般不超過20萬次)，因此需要經(jīng)常更換。另外由于軟性材質(zhì)容易卡住或是鑲嵌住晶粒碎屑，造成晶粒損傷。因此只要有碎片及異物卡在吸嘴上，該吸嘴就壽命終了。
[0003]目前使用于晶粒分選及固晶制程的吸嘴，也有以碳化鎢、鎢鋼、鎳合金及精密陶瓷等材質(zhì)所制作的吸嘴以增加使用的壽命，雖然與吸嘴連結(jié)的設(shè)備擺臂上已有調(diào)節(jié)壓力的彈簧機(jī)構(gòu)，但是因?yàn)榫嚯x芯片太遠(yuǎn)，且吸嘴材質(zhì)硬、無彈性，因此當(dāng)吸取LED晶粒時(shí)，容易造成LED晶粒的薄膜層被壓傷,甚至造成襯底層(substry)破裂而造成封裝后的LED電性不穩(wěn)定或是封裝失敗。若是將吸嘴于吸取晶粒時(shí)的下壓力降低，雖可以降低晶粒壓傷的機(jī)率，但是會(huì)提高晶粒沒吸住而掉落的機(jī)率，作業(yè)穩(wěn)定性不佳。因此雖然以硬質(zhì)金屬或是陶瓷所制作的吸嘴，壽命可以長達(dá)3百萬次至5百萬次，并且不會(huì)卡住異物或碎屑，但是因?yàn)榇嬖谛酒瑝簜驂毫训臓顩r，使用上多受限制，無法發(fā)揮材質(zhì)壽命長、可幫助降低生產(chǎn)成本的優(yōu)點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的，在于解決現(xiàn)有技術(shù)采用軟性材料制造的小型晶粒吸嘴的氣流通道容易卡住或是鑲嵌住晶粒碎屑，造成晶粒損傷；而采用硬質(zhì)材料制造時(shí)，則會(huì)存在芯片被壓傷或壓裂的問題。
[0005]本發(fā)明的特征，是以金屬或是陶瓷等硬質(zhì)材質(zhì)制作芯片吸嘴，以改良橡膠或是塑料材料所制造的吸嘴壽命不佳的情況。并在吸嘴本身設(shè)置具有彈性緩沖作用的結(jié)構(gòu)，讓吸嘴在吸取LED晶粒時(shí)，其接觸晶粒時(shí)的作用力得以被彈性緩沖結(jié)構(gòu)吸收，以避免壓傷或造成晶粒破裂。另一方面，因?yàn)橐越饘倩蚴翘沾傻扔操|(zhì)材料制作吸嘴，因此具有耐磨耗及不變型的優(yōu)點(diǎn)，可以有效延長吸嘴的壽命。利用此種做法所做出的吸嘴，運(yùn)用于晶粒分選(die-solting),或是固晶制程(die bond)時(shí)，可以有效的改善目如常用的吸嘴的壽命很差的問題，以及因?yàn)橛操|(zhì)吸嘴碰撞晶粒時(shí)所造成壓傷薄膜或是壓裂襯底的問題。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)手段，包括有一固定部、一工作部與一管狀彈性體；所述固定部具有一軸向貫通的通氣孔；所述管狀彈性體具有一軸向貫通的貫穿孔，將管狀彈性體設(shè)于該固定部內(nèi)，使其貫穿孔與該通氣孔軸向直線對(duì)應(yīng)；所述工作部具有一軸向貫通的微細(xì)通孔，該工作部的一長度直接或間接連接該管狀彈性體，使微細(xì)通孔直接或間接連通該管狀彈性體的貫穿孔；本發(fā)明利用管狀體彈性體做為工作部外徑與固定部內(nèi)徑連接的中間組件，除了提供氣密效果外，還提供了工作部在接觸吸取晶粒時(shí)，吸收其接觸時(shí)的作用力的緩沖功能，避免過大的作用力對(duì)晶粒造成損傷。
[0007]本發(fā)明將管狀彈性體與固定部組裝的方式，可以在固定部的一端設(shè)置一與該通氣孔相同圓心且軸向延伸的容置空間，管狀彈性體則設(shè)在該容置空間內(nèi)。
[0008]本發(fā)明將管狀彈性體與工作部組裝的方式，可以將工作部的一長度的外徑組合于該管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑，亦即使工作部與管狀彈性體直接連接。
[0009]本發(fā)明將管狀彈性體與工作部組裝的方式，可以在工作部的外徑設(shè)置一凸緣，該凸緣將工作部區(qū)隔出一配合區(qū)段，再將工作部的配合區(qū)段的外徑組合于管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑，并使該凸緣抵住管狀彈性體的端部；固定部的容置空間則設(shè)置一固定組件，使所述凸緣受到固定組件與管狀彈性體抵掣，為另一方式將工作部與管狀彈性體直接連接。
[0010]本發(fā)明將管狀彈性體與工作部組裝的方式，可以在固定部的容置空間設(shè)置一滑動(dòng)組件與一固定組件，使滑動(dòng)組件位于固定組件與管狀彈性體之間，該滑動(dòng)組件的一端設(shè)置一軸向延伸的內(nèi)空間，滑動(dòng)組件的相對(duì)另一端設(shè)置一凸柱，該凸柱設(shè)置一軸向貫通該內(nèi)空間的穿孔，將滑動(dòng)組件的凸柱外徑組合固定于管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑，工作部的一長度則穿過固定組件，并組合于滑動(dòng)組件的內(nèi)空間，此為將工作部與管狀彈性體間接連接的組合方式。
[0011]在前述以滑動(dòng)組件做為工作部與固定部間接連接的中間組件的基礎(chǔ)上，本發(fā)明可以在固定部的另一端設(shè)置一具有進(jìn)氣孔的塞體，使管狀彈性體的兩端被滑動(dòng)組件與塞體抵掣，同樣可達(dá)到利用管狀彈性體吸收工作部受到的作用力的緩沖效果。
[0012]本發(fā)明可以進(jìn)一步包含一具有軸向貫通的連接通孔的連接部，連接部的兩端則分別組合該工作部與管狀彈性體，藉此，價(jià)格昂貴的工作部可以因?yàn)榭s小體積而節(jié)省制造成本。
[0013]綜合言之，本發(fā)明以管狀彈性體做為連接晶粒吸嘴的固定部與工作部的中間組件，當(dāng)工作部的端部接觸芯片時(shí)，所產(chǎn)生的作用力可以傳導(dǎo)至管狀彈性體，工作部則會(huì)因?yàn)楣軤顝椥泽w產(chǎn)生變形、位移而達(dá)到控制壓力及緩沖的效果，達(dá)到減少芯片表面損傷的目的；此外，本發(fā)明的晶粒吸嘴，除了可以顧及吸嘴使用時(shí)所需的真空保持及角度旋轉(zhuǎn)固定需求夕卜，又兼顧靈敏彈性反應(yīng)及極小空間的組裝生產(chǎn)可行性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為顯示本發(fā)明的組件組合關(guān)系的第一實(shí)施例平面剖視分解圖；
[0015]圖2為顯示圖1的組件組合后的結(jié)構(gòu)的平面剖視示意圖；
[0016]圖3為顯示本發(fā)明的組件組合關(guān)系的第二實(shí)施例平面剖視示意圖；
[0017]圖4為顯示圖3的組件組合后的結(jié)構(gòu)的平面剖視示意圖；
[0018]圖5為顯示本發(fā)明的組件組合關(guān)系的第三實(shí)施例平面剖視分解圖；
[0019]圖6為顯示圖5的組件組合后的結(jié)構(gòu)的平面剖視示意圖；
[0020]圖7為顯示本發(fā)明的組件組合關(guān)系的第四實(shí)施例平面剖視分解圖；
[0021]圖8為顯示圖7的組件組合后的結(jié)構(gòu)的平面剖視示意圖；以及
[0022]圖9為顯示本發(fā)明具有緩沖作用的晶粒吸嘴的第五實(shí)施例平面剖視示意圖。[0023]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0024]I固定部
[0025]11通氣孔
[0026]12容置空間
[0027]2管狀彈性體
[0028]21貫穿孔
[0029]3工作部
[0030]31微細(xì)通孔
[0031]32 通孔
[0032]33 凸緣
[0033]34配合區(qū)段
[0034]4固定組件
[0035]5滑動(dòng)組件
[0036]51內(nèi)空間
[0037]52 凸柱
[0038]53 穿孔
[0039]6 塞體
[0040]61第一塞柱
[0041]62第二塞柱
[0042]63進(jìn)氣孔
【具體實(shí)施方式】
[0043]以下配合圖式及組件符號(hào)對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式做更詳細(xì)的說明，使本領(lǐng)域技術(shù)人員在研讀本說明書后能據(jù)以實(shí)施。
[0044]第一實(shí)施例
[0045]如圖1與圖2所示，本發(fā)明提供的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，包括有各自獨(dú)立的一固定部1、一管狀彈性體2與一工作部3 ;其中，固定部I為用來安裝于機(jī)器設(shè)備的部件，其具有在前述三者中相對(duì)最大的外徑，以及具有一軸向貫通的通氣孔11，固定部I的一端設(shè)有一個(gè)與該通氣孔11相同圓心且軸向延伸的容置空間12，該容置空間12的內(nèi)徑大于通氣孔11的內(nèi)徑；固定部I可以采用適當(dāng)?shù)慕饘俸辖鸩牧现圃臁?br> [0046]所述管狀彈性體2具有在前述三者中相對(duì)次大的外徑，其可以采用任何一種具有適當(dāng)彈性的材料制造，例如橡膠、硅膠等材料，并將其成型為端部呈圓形并軸向延伸一長度的管狀體，進(jìn)而使其具有一軸向貫通的貫穿孔21 ;該管狀彈性體2被組合于固定部I的容置空間12內(nèi)，使貫穿孔21與通氣孔11軸向直線對(duì)應(yīng)；管狀彈性體2組合于容置空間12的方式，可以讓管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固；也可以將固定部I放置在模具中后，以射出成型技術(shù)將管狀彈性體2的材料射入模具中和固定部I的容置空間12內(nèi)徑結(jié)合。
[0047]該工作部3具有在前述三者中相對(duì)最小的外徑，以及具有一軸向貫通的微細(xì)通孔31，該微細(xì)通孔31在接近工作部3用于接觸晶粒的端部時(shí)甚至進(jìn)一步縮小直徑；工作部3的一長度組合于前述已設(shè)在固定部I的管狀彈性體2的貫穿孔21 ;其組合方式，可以讓工作部3的外徑與管狀彈性體2的貫穿孔21內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在工作部3的外徑與貫穿孔21的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固；也可以將固定部I與工作部3均放置在模具中后，以射出成型技術(shù)將管狀彈性體2的材料射入模具中填滿固定部I的容置空間12，使凝固后的管狀彈性體2和容置空間12的內(nèi)徑及工作部3的外徑結(jié)合。由于工作部3是用來和工件(即小型晶粒)接觸的組件，因此最好采用具有耐磨性質(zhì)的寶石、結(jié)晶材料、陶瓷或鎢鋼合金材料制造。亦即，工作部3采用不同于固定部I的材料。
[0048]當(dāng)固定部1、管狀彈性體2與工作部3組合完成后，通氣孔11、貫穿孔21與微細(xì)通孔31直線對(duì)應(yīng)地連通，而且管狀彈性體2的外徑與容置空間12內(nèi)徑，以及管狀彈性體2的內(nèi)徑與工作部3的外徑之間形成氣密作用，因此，機(jī)器設(shè)備作動(dòng)產(chǎn)生負(fù)氣體壓力(負(fù)壓)時(shí)，將使固定部I的通氣孔11、管狀彈性體2的貫穿孔21，以及工作部3的微細(xì)通孔31均產(chǎn)生負(fù)壓，從而在工作部3的微細(xì)通孔31端部產(chǎn)生吸力而得以吸取小型晶粒。當(dāng)工作部3在吸取小型晶粒而對(duì)晶粒產(chǎn)生接觸時(shí)，其接觸時(shí)產(chǎn)生的作用力將可經(jīng)由工作部3傳導(dǎo)至管狀彈性體2，使管狀彈性體2變形、位移而吸收該作用力，因此可以避免脆弱的晶粒受到該作用力撞擊而損壞。
[0049]第二實(shí)施例
[0050]如圖3與圖4所示，本發(fā)明提供的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其第二實(shí)施例包括有各自獨(dú)立的一固定部1、一管狀彈性體2、一工作部3與一固定組件4 ;其中，固定部I同樣具有一軸向貫通的通氣孔11，固定部I的一端設(shè)有一與該通氣孔11相同圓心且軸向延伸的容置空間12，該容置空間12的內(nèi)徑大于通氣孔11的內(nèi)徑。
[0051]所述管狀彈性體2可以采用任何一種具有適當(dāng)彈性的材料制造，例如橡膠、硅膠等材料，并將其成型為端部呈圓形并軸向延伸一長度的管狀體，進(jìn)而使其具有一軸向貫通的貫穿孔21，但管狀彈性體2的軸向長度小于容置空間12的軸向長度；該管狀彈性體2被組合于固定部I的容置空間12內(nèi)，使貫穿孔21與通氣孔11軸向直線對(duì)應(yīng)；管狀彈性體2組合于容置空間12的方式，可以讓管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固；也可以將固定部I放置在模具中后，以射出成型技術(shù)將管狀彈性體2的材料射入模具中和固定部I的容置空間12內(nèi)徑結(jié)合。
[0052]該工作部3具有一軸向貫通的微細(xì)通孔31，該微細(xì)通孔31在接近工作部3用于接觸晶粒的端部時(shí)甚至進(jìn)一步縮小直徑；工作部3的外徑設(shè)有一凸緣32，該凸緣32將工作部3區(qū)隔出一用來組合于管狀彈性體2的配合區(qū)段33，所述工作部3的配合區(qū)段33的外徑組合于管狀彈性體2的貫穿孔21內(nèi)徑，并使凸緣32抵住管狀彈性體2的端部；其組合方式，可以讓工作部3的配合區(qū)段33外徑與管狀彈性體2的貫穿孔21內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在配合區(qū)段33的外徑與貫穿孔21的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固；也可以將固定部I與工作部3均放置在模具中后，以射出成型技術(shù)將管狀彈性體2的材料適當(dāng)?shù)厣淙肽＞咧刑钊牍潭ú縄的容置空間12，使凝固后的管狀彈性體2和容置空間12的內(nèi)徑及工作部3的配合區(qū)段33外徑結(jié)合。
[0053]所述固定組件4的較佳實(shí)施例為一環(huán)圈，當(dāng)工作部3組合于管狀彈性體2后，再將固定組件4組合于固定部I的容置空間12而使工作部3穿出環(huán)圈狀的固定組件4，使工作部3的凸緣32受到固定組件4與管狀彈性體2抵掣。該固定組件4與固定部I的組合方式，可以讓固定組件4的外徑與與固定部I的容置空間12內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在固定組件4的外徑與容置空間12的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固。
[0054]藉由前述第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，當(dāng)工作部3在吸取小型晶粒而對(duì)晶粒產(chǎn)生接觸時(shí)，其接觸時(shí)產(chǎn)生的作用力可經(jīng)由工作部3傳導(dǎo)至管狀彈性體2，使管狀彈性體2變形、位移而吸收該作用力，因此可以避免脆弱的晶粒受到該作用力撞擊而損壞。
[0055]第三實(shí)施例
[0056]如圖5與圖6所示，本發(fā)明提供的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其第三實(shí)施例包括有各自獨(dú)立的一固定部1、一管狀彈性體2、一工作部3、一固定組件4與一滑動(dòng)組件5 ;其中，固定部I同樣具有一軸向貫通的通氣孔11，固定部I的一端設(shè)有一與該通氣孔11相同圓心且軸向延伸的容置空間12，該容置空間12的內(nèi)徑大于通氣孔11的內(nèi)徑。
[0057]所述管狀彈性體2可以采用任何一種具有適當(dāng)彈性的材料制造，例如橡膠、硅膠等材料，并將其成型為端部呈圓形并軸向延伸一長度的管狀體，進(jìn)而使其具有一軸向貫通的貫穿孔21，但管狀彈性體2的軸向長度小于容置空間12的軸向長度；該管狀彈性體2被組合于固定部I的容置空間12內(nèi)，使貫穿孔21與通氣孔11軸向直線對(duì)應(yīng)；管狀彈性體2組合于容置空間12的方式，可以讓管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固；也可以將固定部I放置在模具中后，以射出成型技術(shù)將管狀彈性體2的材料射入模具中和固定部I的容置空間12內(nèi)徑結(jié)合。
[0058]該工作部3具有一軸向貫通的微細(xì)通孔31，該微細(xì)通孔31在接近工作部3用于接觸晶粒的端部時(shí)甚至進(jìn)一步縮小直徑；亦即，本第三實(shí)施例的工作部3結(jié)構(gòu)相同于前述第一實(shí)施例的工作部3結(jié)構(gòu)。
[0059]本實(shí)施例的滑動(dòng)組件5是一種用來滑動(dòng)配合于固定部I的容置空間12的組件，其一端設(shè)有一軸向延伸的內(nèi)空間51,相對(duì)另一端則設(shè)有一凸柱52,該凸柱52設(shè)有一軸向貫通該內(nèi)空間51的穿孔53 ;凸柱52的外徑組合固定于管狀彈性體2的貫穿孔21內(nèi)徑；其組合方式，可以讓凸柱52的外徑與管狀彈性體2的貫穿孔21的內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在凸柱52的外徑與貫穿孔21的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固。
[0060]如同前述第二實(shí)施例，本第三實(shí)施例的固定組件4亦為一環(huán)圈，當(dāng)工作部3的外徑組合于滑動(dòng)組件5的內(nèi)空間51，并將滑動(dòng)組件5組合于固定部I的容置空間12，以及使凸柱52固定于管狀彈性體2的貫穿孔21后，再將固定組件4組合于固定部I的容置空間12以抵住滑動(dòng)組件5的端部。該固定組件4與固定部I的組合方式，可以讓固定組件4的外徑與與固定部I的容置空間12內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在固定組件4的外徑與容置空間12的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固。
[0061]藉由前述第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，當(dāng)工作部3在吸取小型晶粒而對(duì)晶粒產(chǎn)生接觸時(shí)，其接觸時(shí)產(chǎn)生的作用力可經(jīng)由工作部3傳導(dǎo)至管狀彈性體2，使管狀彈性體2變形、位移而吸收該作用力，因此可以避免脆弱的晶粒受到該作用力撞擊而損壞。
[0062]第四實(shí)施例
[0063]如圖7與圖8所示，本發(fā)明提供的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其第四實(shí)施例包括有各自獨(dú)立的一固定部1、一管狀彈性體2、一工作部3、一固定組件4、一滑動(dòng)組件5與一塞體6;其中，固定部I同樣具有一軸向貫通的通氣孔11，但沒有設(shè)置如圖1所示的容置空間12。
[0064]所述管狀彈性體2可以采用任何一種具有適當(dāng)彈性的材料制造，例如橡膠、硅膠等材料，并將其成型為端部呈圓形并軸向延伸一長度的管狀體，進(jìn)而使其具有一軸向貫通的貫穿孔21 ;該管狀彈性體2被組合于固定部I的通氣孔11內(nèi)；管狀彈性體2組合于通氣孔11的方式，可以讓管狀彈性體2的外徑與通氣孔11的內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在管狀彈性體2的外徑與通氣孔11的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固；也可以將固定部I放置在模具中后，以射出成型技術(shù)將管狀彈性體2的材料射入模具中和固定部I的通氣孔11內(nèi)徑結(jié)合。
[0065]該工作部3具有一軸向貫通的微細(xì)通孔31，該微細(xì)通孔31在接近工作部3用于接觸晶粒的端部時(shí)甚至進(jìn)一步縮小直徑；亦即，本第三實(shí)施例的工作部3結(jié)構(gòu)相同于前述第一實(shí)施例的工作部3結(jié)構(gòu)。
[0066]本實(shí)施例的滑動(dòng)組件5是一種用來滑動(dòng)配合于固定部I的通氣孔11的組件，其一端設(shè)有一軸向延伸的內(nèi)空間51,相對(duì)另一端則設(shè)有一凸柱52,該凸柱52設(shè)有一軸向貫通該內(nèi)空間51的穿孔53 ;凸柱52的外徑組合固定于管狀彈性體2的貫穿孔21內(nèi)徑；其組合方式，可以讓凸柱52的外徑與管狀彈性體2的貫穿孔21的內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在凸柱52的外徑與貫穿孔21的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固。
[0067]如同前述第二實(shí)施例，本第四實(shí)施例的固定組件4亦為一環(huán)圈，當(dāng)工作部3的外徑組合于滑動(dòng)組件5的內(nèi)空間51，并將滑動(dòng)組件5組合于固定部I的通氣孔11，以及使凸柱52固定于管狀彈性體2的貫穿孔21后，再將固定組件4組合于固定部I的通氣孔11以抵住滑動(dòng)組件5的端部。該固定組件4與固定部I的組合方式，可以讓固定組件4的外徑與與固定部I的通氣孔11內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在固定組件4的外徑與通氣孔11的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固。
[0068]所述塞體6用于組合于固定部I相對(duì)于安裝工作部3的另一端的組件，其具有軸向連接并且具有不同直徑的一第一塞柱61與一第二塞柱62，以及具有一軸向貫通的進(jìn)氣孔63 ;當(dāng)管狀彈性體2組合于固定部I的通氣孔11內(nèi)后，即將塞體6的第一塞柱61的迫塞于固定部I的通氣孔11，進(jìn)而將第二塞柱62迫塞于管狀彈性體2的貫穿孔21 ;第一塞柱61與通氣孔11內(nèi)徑之間，以及第二塞柱62與貫穿孔21之間可以進(jìn)一步以黏著劑黏著固定，使得管狀彈性體2的兩端被滑動(dòng)組件5與第一塞柱61的端部抵?。蝗w6的進(jìn)氣孔63則與貫穿孔21及微細(xì)通孔31直線對(duì)應(yīng)而可提供氣體流動(dòng)。
[0069]藉由前述第四實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，當(dāng)工作部3在吸取小型晶粒而對(duì)晶粒產(chǎn)生接觸時(shí)，其接觸時(shí)產(chǎn)生的作用力可經(jīng)由工作部3傳導(dǎo)至管狀彈性體2，使管狀彈性體2變形、位移而吸收該作用力，因此可以避免脆弱的晶粒受到該作用力撞擊而損壞。
[0070]第五實(shí)施例
[0071]如圖9所示，本發(fā)明提供的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其第五實(shí)施例包括有各自獨(dú)立的一固定部1、一管狀彈性體2、一工作部3與一連接部7 ;其中，固定部I同樣具有一軸向貫通的通氣孔11，固定部I的一端設(shè)有一與該通氣孔11相同圓心且軸向延伸的容置空間12，該容置空間12的內(nèi)徑大于通氣孔11的內(nèi)徑。
[0072]所述管狀彈性體2可以采用任何一種具有適當(dāng)彈性的材料制造，例如橡膠、硅膠等材料，并將其成型為端部呈圓形并軸向延伸一長度的管狀體，進(jìn)而使其具有一軸向貫通的貫穿孔21 ;該管狀彈性體2被組合于固定部I的容置空間12內(nèi)，使貫穿孔21與通氣孔11軸向直線對(duì)應(yīng)；管狀彈性體2組合于容置空間12的方式，可以讓管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在管狀彈性體2的外徑與容置空間12的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固；也可以將固定部I放置在模具中后，以射出成型技術(shù)將管狀彈性體2的材料射入模具中和固定部I的容置空間12內(nèi)徑結(jié)合。
[0073]所述連接部7是一種可以采用較低廉材料制成具有軸向通孔71的管狀體，其與工作部3組合后共同構(gòu)成一個(gè)可以吸取晶粒的完成工作組件。該工作部3具有一軸向貫通的微細(xì)通孔31，微細(xì)通孔31在接近工作部3用于接觸晶粒的端部時(shí)甚至進(jìn)一步縮小直徑。本發(fā)明將工作部3固定于連接部7的方式，可以將工作部3的一端插入連接部7的通孔71后，再以焊接或黏結(jié)技術(shù)將兩者焊固或黏固，也可以采用干涉配合方式，直接將工作部3迫緊于通孔71內(nèi)。
[0074]當(dāng)工作部3與連接部7組合后，則將連接部7組合于管狀彈性體2，其組合方式，可以將連接部7的外徑與管狀彈性體2的貫穿孔21內(nèi)徑彼此干涉配合；也可以在連接部7的外徑與貫穿孔21的內(nèi)徑之間以黏著劑黏固。
[0075]藉由前述第五實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，當(dāng)工作部3在吸取小型晶粒而對(duì)晶粒產(chǎn)生接觸時(shí)，其接觸時(shí)產(chǎn)生的作用力可經(jīng)由工作部3傳導(dǎo)至管狀彈性體2，使管狀彈性體2變形、位移而吸收該作用力，因此可以避免脆弱的晶粒受到該作用力撞擊而損壞。
[0076]以上所述者僅為用以解釋本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非企圖具以對(duì)本發(fā)明做任何形式上的限制，因此，凡有在相同的發(fā)明精神下所作有關(guān)本發(fā)明的任何修飾或變更，皆仍應(yīng)包括在本發(fā)明意圖保護(hù)的范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，包括有: 一固定部，具有一軸向貫通的通氣孔； 至少一管狀彈性體，具有一軸向貫通的貫穿孔，該管狀彈性體設(shè)于該固定部內(nèi)，使該貫穿孔與該通氣孔軸向直線對(duì)應(yīng)； 一工作部，具有一軸向貫通的微細(xì)通孔，該工作部的一長度直接或間接連接該管狀彈性體，使該微細(xì)通孔直接或間接連通該管狀彈性體的貫穿孔。
2.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部的一端設(shè)有一與該通氣孔相同圓心且軸向延伸的容置空間，所述管狀彈性體設(shè)在該容置空間內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述工作部的一長度的外徑組合于該管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑。
4.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述工作部的外徑設(shè)有一凸緣，該凸緣將所述工作部區(qū)隔出一配合區(qū)段，所述工作部的配合區(qū)段的外徑組合于該管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑，并使該凸緣抵住該管狀彈性體的端部。
5.如權(quán)利要求4所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部的容置空間設(shè)有一固定組件，使該凸緣受到該固定組件與該管狀彈性體抵掣。
6.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部的容置空間設(shè)有一滑動(dòng)組件與一固定組件，使該滑動(dòng)組件位于該固定組件與該管狀彈性體之間，且該滑動(dòng)組件的外徑與該容置空間的內(nèi)徑滑動(dòng)配合，該滑動(dòng)組件的一端設(shè)有一軸向延伸的內(nèi)空間，該滑動(dòng)組件的相對(duì)另一端設(shè)有一凸柱，該凸柱設(shè)有一軸向貫通該內(nèi)空間的穿孔，該凸柱的外徑組合固定于該管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑，該工作部的一長度穿過該固定組件，并組合于該滑動(dòng)組件的內(nèi)空間。
7.如權(quán)利要求6所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部相對(duì)于該容置空間的另一端設(shè)有一塞體，該塞體具有軸向連接并且具有不同直徑的一第一塞柱與一第二塞柱，以及具有一軸向貫通的進(jìn)氣孔，所述第一塞柱迫塞于該固定部的通氣孔，所述第二塞柱迫塞于該管狀彈性體的貫穿孔。
8.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，其進(jìn)一步包含有一連接部，該連接部具有一軸向貫通的連接通孔，該連接部的一長度組合固定于該管狀彈性體的貫穿孔，所述工作部的一長度組合固定于該連接部的連接通孔。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK103681430SQ201210322495
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2012年9月4日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月4日
【發(fā)明者】宋俍宏 申請(qǐng)人:宋俍宏