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面板、面板的制造方法、太陽電池模塊、印刷裝置及印刷方法與流程

文檔序號:11732759閱讀:234來源:國知局
面板、面板的制造方法、太陽電池模塊、印刷裝置及印刷方法與流程
本發(fā)明涉及一種面板、面板的制造方法、太陽電池模塊,印刷裝置及印刷方法。

背景技術(shù):
太陽能電池板是一種清潔能源,它能夠?qū)⑷≈槐M、用之不竭的太陽能直接轉(zhuǎn)換成電能,所以被期待為新的能源?,F(xiàn)在主流的太陽能電池板使用硅基板,并在其表面上設(shè)有集電極。以往早已知道一種通過在該集電極上設(shè)置透明導(dǎo)電層,用于覆蓋集電極,從而提高光取出效率的技術(shù)(例如,參照專利文獻(xiàn)1及2)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-288102號公報專利文獻(xiàn)2:日本特開2009-266559號公報

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
發(fā)明所要解決的問題然而,當(dāng)純是形成了覆蓋電極的透明導(dǎo)電層,則使成本增加。鑒于上述技術(shù)問題,本發(fā)明的目的在于提供一種成本低的面板、面板的制造方法、太陽電池模塊、印刷裝置及印刷方法。解決問題的手段本發(fā)明的面板具備基板、電極和透明導(dǎo)電層,電極設(shè)置于上述基板上,透明導(dǎo)電層設(shè)置于上述基板上,并設(shè)置于上述電極的側(cè)部,上述電極具有與上述透明導(dǎo)電層接觸的接觸區(qū)域和不與上述透明導(dǎo)電層接觸的非接觸區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的面板,通過使電極不僅具有與透明導(dǎo)電層接觸的接觸區(qū)域,還具有不與透明導(dǎo)電層接觸的非接觸區(qū)域,能夠降低透明導(dǎo)電性材料的使用量,從而抑制成本。一實(shí)施方式中,上述電極的一部分露出于上述透明導(dǎo)電層。一實(shí)施方式中,上述電極延伸在規(guī)定方向上,上述透明導(dǎo)電層相對于延伸在上述規(guī)定方向上的電極分開在一側(cè)及另一側(cè)。一實(shí)施方式中,上述電極具有延伸在上述規(guī)定方向上的第一電極部、和配置于與上述第一電極部不同的位置并與上述第一電極部平行延伸的第二電極部,上述透明導(dǎo)電層具有第一部分和第二部分,上述第一部分位于上述第一電極部上的靠上述第二電極部側(cè),上述第二部分位于上述第二電極部上的靠上述第一電極部側(cè),上述第一部分及上述第二部分互相分開。一實(shí)施方式中,相對于上述基板的表面,上述電極的高度比上述透明導(dǎo)電層的高度大。一實(shí)施方式中,相對于上述基板的表面,上述電極的高度比上述透明導(dǎo)電層的高度小。一實(shí)施方式中,上述電極具有層疊結(jié)構(gòu)。一實(shí)施方式中,上述層疊結(jié)構(gòu)具有第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層,該第一導(dǎo)電層包含第一導(dǎo)電性材料,該第二導(dǎo)電層包含與上述第一導(dǎo)電性材料不同的第二導(dǎo)電性材料。本發(fā)明的太陽電池模塊具備多個上述面板。本發(fā)明的面板的制造方法包括準(zhǔn)備基板的步驟和形成步驟,該形成步驟是在上述基板的上面形成電極及透明導(dǎo)電層的步驟,上述形成步驟中,上述電極具有與上述透明導(dǎo)電層接觸的接觸區(qū)域和不與上述透明導(dǎo)電層接觸的非接觸區(qū)域。一實(shí)施方式中,上述形成步驟包括:印刷包含導(dǎo)電性材料的油墨的步驟;印刷包含透明導(dǎo)電性材料的油墨的步驟;和將包含上述導(dǎo)電性材料的油墨及包含上述透明導(dǎo)電性材料的油墨燒結(jié)的步驟。一實(shí)施方式中,上述印刷包含導(dǎo)電性材料的油墨的步驟包括:印刷包含第一導(dǎo)電性材料的油墨的步驟;和印刷包含與上述第一導(dǎo)電性材料不同的第二導(dǎo)電性材料的油墨的步驟。本發(fā)明的印刷方法包括:在基板上印刷包含導(dǎo)電性材料的導(dǎo)電性油墨的步驟;和在上述基板上印刷包含透明導(dǎo)電性材料的透明導(dǎo)電性油墨的步驟,上述導(dǎo)電性油墨具有與上述透明導(dǎo)電性油墨接觸的接觸區(qū)域、和不與上述透明導(dǎo)電性油墨接觸的非接觸區(qū)域。一實(shí)施方式中,上述印刷包含導(dǎo)電性材料的導(dǎo)電性油墨的步驟包括:印刷包含第一導(dǎo)電性材料的油墨的步驟;和印刷包含與上述第一導(dǎo)電性材料不同的第二導(dǎo)電性材料的油墨的步驟。本發(fā)明的印刷裝置具備輸送帶和印刷部,該輸送帶對具有表面的基板進(jìn)行搬運(yùn),該印刷部在上述輸送帶所搬運(yùn)的上述基板上印刷油墨,上述印刷部包括導(dǎo)電性油墨印刷機(jī)和透明導(dǎo)電性油墨印刷機(jī),該導(dǎo)電性油墨印刷機(jī)在基板上印刷包含導(dǎo)電性材料的導(dǎo)電性油墨,該透明導(dǎo)電性油墨印刷機(jī)在上述基板上印刷包含透明導(dǎo)電性材料的透明導(dǎo)電性油墨,上述導(dǎo)電性油墨具有與上述透明導(dǎo)電性油墨接觸的接觸區(qū)域、和不與上述透明導(dǎo)電性油墨接觸的非接觸區(qū)域。一實(shí)施方式中,上述導(dǎo)電性油墨印刷機(jī)具備:印刷包含第一導(dǎo)電性材料的油墨的印刷機(jī);和印刷包含與上述第一導(dǎo)電性材料不同的第二導(dǎo)電性材料的油墨的印刷機(jī)。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種成本低的面板、面板的制造方法、太陽電池模塊、印刷裝置及印刷方法。附圖說明圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的剖視示意圖;圖2是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的剖視示意圖;圖3是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的俯視圖;圖4是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的剖視示意圖;圖5是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的整體的剖視示意圖;圖6的(a)~(d)是用于說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的制造方法的示意圖;圖7是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的印刷裝置的示意圖;圖8是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的印刷裝置中的印刷機(jī)的示意圖;圖9是圖7所示的印刷裝置的一個例子的示意圖;圖10是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的俯視圖;圖11的(a)及(b)是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的剖視示意圖;圖12的(a)~(d)是用于說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的制造方法的示意圖;圖13的(a)及(b)是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的剖視示意圖;圖14的(a)~(d)是用于說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的制造方法的示意圖;圖15是本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的面板的剖視示意圖;圖16是本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的面板的剖視示意圖;圖17的(a)~(d)是用于說明本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的面板的制造方法的示意圖;圖18是本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的印刷裝置的示意圖;和圖19是具備多個本發(fā)明的面板的太陽電池模塊的實(shí)施方式的示意圖。具體實(shí)施方式以下,參照附圖,對本發(fā)明的面板、面板的制造方法、太陽電池模塊、印刷裝置及印刷方法的實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外,本發(fā)明的實(shí)施方式中,以太陽能電池的面板為面板的一個例子進(jìn)行說明,但本發(fā)明并不局限于此。除了太陽能電池板,本發(fā)明也可以適用于觸摸面板、有機(jī)EL面板及電磁屏蔽面板等。(第一實(shí)施方式)以下,參照附圖,對本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的面板進(jìn)行說明。圖1示出本實(shí)施方式的面板100的剖視示意圖。這里,面板100是太陽能電池板。圖1是將面板100的一個主表面的附近放大而示出的。面板100具備基板10、和設(shè)置在基板10的表面12上的電極20。此外,雖然在此沒有圖示,基板10具有光電轉(zhuǎn)換層。例如,基板10是硅基板,基板10具有p型硅層以及n型硅層。具體而言,光電轉(zhuǎn)換層也可以包含非晶硅,或者光電轉(zhuǎn)換層也可以包含結(jié)晶硅。例如,光電轉(zhuǎn)換層也可以包含單晶硅、多晶硅或微晶硅(microcrystallinesilicon)。例如,電極20由銀、銅、金、碳、鈷、鈦、鎳、鋁等單體或其混合物形成。優(yōu)選的是電極20由銀形成。有代表性的是,電極20由金屬形成,是不透明的。本實(shí)施方式的面板100還具備設(shè)置于基板10的表面12上的透明導(dǎo)電層30。透明導(dǎo)電層30設(shè)置于電極20的側(cè)部。透明導(dǎo)電層30由與電極20不同的材料形成。具體而言,透明導(dǎo)電層30由透明導(dǎo)電性材料形成。例如,透明導(dǎo)電層30由氧化銦錫(indiumtinoxide:ITO)、氟摻雜氧化錫(Fluorinedopedtinoxide:FTO)、鋁摻雜氧化鋅(AluminiumZincOxide:AZO)或銻摻雜氧化錫(AntimonyTinOxide:ATO)的單體,或這些的混合物形成。電極20在不與基板10接觸的面上具有與透明導(dǎo)電層30接觸的接觸區(qū)域20a和不與透明導(dǎo)電層30接觸的非接觸區(qū)域20b。這里,電極20的一部分露出于透明導(dǎo)電層30。面板100中,生成在基板10內(nèi)的載子到達(dá)電極20或透明導(dǎo)電層30,從而能夠有效地取出生成在基板10內(nèi)的載子作為電流。此外,透明導(dǎo)電層30直接接觸于電極20,電極20的一部分被透明導(dǎo)電層30覆蓋,但有一部分電極20未被透明導(dǎo)電層30覆蓋,由此能夠抑制比較高額的透明導(dǎo)電性材料的使用。圖2示出面板100的剖視示意圖。電極20具有互相平行延伸的電極部。圖2中,用電極部20s、20t來表示2個互相分離且平行延伸的電極部。此外,也可以在別的部位將電極部20s、20t電連接,并使電極部20s、20t的各個電位互相大致相等。例如,若電極部20s、20t延伸在與y方向及z方向正交的x方向上,透明導(dǎo)電層30相對于延伸在規(guī)定方向(x方向)上的電極部20s、20t分開在一側(cè)(+y方向側(cè))及另一側(cè)(-y方向側(cè))。由于透明導(dǎo)電層30中的靠電極部20t側(cè)位于電極部20s上的部分30s和靠電極部20s側(cè)位于電極部20t上的部分30t互相分開,所以能夠抑制比較高額的透明導(dǎo)電性材料的使用。這里,參照圖3及圖4,對本實(shí)施方式的面板100的一個例子進(jìn)行說明。圖3示出面板100的俯視示意圖。電極20具有母線電極(busbarelectrode)22和指狀電極(fingerelectrode)24,電極20也被稱為集電極。指狀電極24從1個母線電極22延伸,有代表性的是,指狀電極24以一定間距(pitch)排列。這里,母線電極22延伸在y方向上,指狀電極24延伸在x方向上。一般來說,母線電極22的寬度大于指狀電極24的寬度。圖4示出沿圖3的4-4’線的剖面。這里,指狀電極24的側(cè)部設(shè)置有透明導(dǎo)電層30,指狀電極24具有與透明導(dǎo)電層30接觸的接觸區(qū)域24a和不與透明導(dǎo)電層30接觸的非接觸區(qū)域24b。指狀電極24的一部分露出于透明導(dǎo)電層30。此外,如圖3所示,與指狀電極24同樣,位于指狀電極24側(cè)部的透明導(dǎo)電層30延伸在x方向上。此外,這里,母線電極22被透明導(dǎo)電層30覆蓋。透明導(dǎo)電層30在母線電極22及指狀電極24的交叉部附近連續(xù)。例如,面板100是主表面的長度及寬度分別為170mm的矩形。此外,例如,母線電極22的寬度為2mm以上、3mm以下,指狀電極24的寬度為15μm以上、70μm以下。指狀電極24的間距(即,一個指狀電極24的中心、和與其相鄰的指狀電極24的中心之間的距離)為2mm。例如,通過設(shè)置透明導(dǎo)電層30,就能夠?qū)⒚姘?00中的指狀電極24的間距(pitch)從2mm增加到3mm,以將指狀電極24的條數(shù)從85條減少到56條,即大約減少30條。結(jié)果,既能夠?qū)崿F(xiàn)低成本又能夠增大開口面積。圖5示出整個面板100的示意圖。面板100不僅具備設(shè)置在基板10的表面12上的電極20,還具備設(shè)置在基板10的背面14上的電極110。有代表性的是,電極110設(shè)置成覆蓋基板10的整個背面14。例如,電極110由鋁形成。以下,參照圖6,對適合制造面板100的制造方法進(jìn)行說明。如圖6(a)所示,首先準(zhǔn)備具有表面12的基板10。如上所述,例如,基板10是硅基板。接著,如圖6(b)所示,在基板10的表面12上印刷油墨K1。具體而言,在基板10的上面印刷包含導(dǎo)電性材料D1的油墨K1。例如,油墨K1具有顆粒狀的導(dǎo)電性材料D1及載色劑(vehicle),載色劑包含樹脂及溶劑。油墨K1具有適當(dāng)?shù)挠|變性。導(dǎo)電性材料D1是銀、銅、金、碳、鈷,鈦,鎳、鋁等的單體或混合物。此外,樹脂也被稱為粘合劑樹脂(binderresin)。例如,使用丙烯酸類溶漿(acrylicpaste)、氨基甲酸酯類等所謂無機(jī)類樹脂來作為粘合劑樹脂。此外,使用松油醇、甲苯、二甲苯或混合溶劑(例如,含有丙二醇甲醚醋酸酯的溶劑)作為溶劑。此外,一般來說,溶劑的燒盡溫度(沸點(diǎn))比粘合劑樹脂低。例如,松油醇的沸點(diǎn)大約是230℃以下,PGMA的沸點(diǎn)大約是140℃,而粘合劑樹脂的燒盡溫度大約是250℃。接著,如圖6(c)所示,印刷包含透明導(dǎo)電性材料D2的油墨K2,以使其接觸于油墨K1。如上所述,透明導(dǎo)電性材料D2是與導(dǎo)電性材料D1不同的材料。例如,透明導(dǎo)電性材料D2是氧化銦錫(indiumtinoxide:ITO)、氟摻雜氧化錫(Fluorinedopedtinoxide:FTO)、鋁摻雜氧化鋅(AluminiumZincOxide:AZO)或銻摻雜氧化錫(AntimonyTinOxide:ATO)的單體,或這些的混合物。例如,油墨K2具有顆粒狀的透明導(dǎo)電性材料D2及載色劑,載色劑包含樹脂及溶劑。油墨K2的載色劑也可以與油墨K1相同,或者油墨K2的載色劑也可以與油墨K1大致相同。此外,油墨K1在不與基板10接觸的面上具有與油墨K2接觸的接觸區(qū)域K1a和不與油墨K2接觸的非接觸區(qū)域K1b。這里,油墨K1的一部分露出于油墨K2。油墨K2直接接觸于油墨K1,但油墨K2使油墨K1的一部分露出。此外,本說明書中有時將油墨K1、K2分別稱為第一油墨(或?qū)щ娦杂湍?、第二油墨(或透明?dǎo)電性油墨)。如上所述,在基板10上不僅印刷油墨K1也印刷油墨K2。之后,如圖6(d)所示,對第一油墨K1及第二油墨K2進(jìn)行加熱,由此,將導(dǎo)電性材料D1燒成而形成電極20,并將透明導(dǎo)電性材料D2燒成而形成透明導(dǎo)電層30。例如,加熱溫度是500℃以上、850℃以下。在透明導(dǎo)電層30由厚度大約為150nm的ITO形成的情況下,光的透過率大約是85%。如上所述,電極20的一部分不被透明導(dǎo)電層30覆蓋而露出。因此,加熱時,即使溶劑及粘合劑汽化,透明導(dǎo)電層30上也不產(chǎn)生裂縫就能夠形成透明導(dǎo)電層30。此外,參照圖6所說明的制造方法是通過下述印刷裝置適當(dāng)進(jìn)行的。圖7示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的印刷裝置的示意圖。本實(shí)施方式的印刷裝置200具備搬運(yùn)基板10的輸送帶210、印刷部220和加熱裝置230。印刷部220具有多個印刷機(jī)。這里,印刷部220具有印刷機(jī)220a和印刷機(jī)220b,該印刷機(jī)220a印刷包含導(dǎo)電性材料D1的油墨K1,該印刷機(jī)220b印刷包含透明導(dǎo)電性材料D2的油墨K2。此外,本說明書中,有時將印刷機(jī)220a、220b分別稱為第一印刷機(jī)(或?qū)щ娦杂湍∷C(jī))、第二印刷機(jī)(或透明導(dǎo)電性油墨印刷機(jī))。首先,在旋轉(zhuǎn)的輸送帶210的上面放置基板10,由輸送帶210搬運(yùn)基板10。當(dāng)輸送帶210所搬運(yùn)的基板10到達(dá)第一印刷機(jī)220a的下方時,印刷機(jī)220a在基板10上印刷油墨K1。接著,當(dāng)輸送帶210所搬運(yùn)的基板10到達(dá)印刷機(jī)220b的下方時,印刷機(jī)220b在基板10上印刷油墨K2。此外,將輸送帶210的搬運(yùn)速度及印刷機(jī)220a、220b的印刷設(shè)定為能使油墨K2相對于油墨K1配置于規(guī)定位置。之后,輸送帶210將層疊有油墨K1、K2的基板10搬運(yùn)到加熱裝置230。在加熱裝置230內(nèi)加熱基板10,將油墨K1、K2燒成。由此,由油墨K1形成包含導(dǎo)電性材料D1的電極20,而由油墨K2形成包含導(dǎo)電性材料D2的透明導(dǎo)電層30。由此依上述制作面板100。圖8示出印刷機(jī)220a的示意圖。印刷機(jī)220a具備油墨盤221、供墨滾筒222、凹版滾筒223、轉(zhuǎn)印滾筒224、刮板(scraper)225和清洗滾筒226。凹版滾筒223也被稱為印版(printingplate),轉(zhuǎn)印滾筒224也被稱為橡皮布(blanket)。供墨滾筒222、凹版滾筒223及轉(zhuǎn)印滾筒224分別安裝為能夠旋轉(zhuǎn)。例如,轉(zhuǎn)印滾筒224伴隨凹版滾筒223的旋轉(zhuǎn)而作旋轉(zhuǎn)。凹版滾筒223的表面通過鍍上金屬而被處理。轉(zhuǎn)印滾筒224由橡膠類材料形成。因此,兩者的摩擦系數(shù)較低。這里,凹版滾筒223及轉(zhuǎn)印滾筒224的各直徑不相同,但凹版滾筒223及轉(zhuǎn)印滾筒224的各直徑也可以大致相等。該印刷機(jī)220a中,油墨盤221內(nèi)的油墨K1從供墨滾筒222移動到凹版滾筒223的周面后,再移動到轉(zhuǎn)印滾筒224的周面,從而轉(zhuǎn)印至依次通過轉(zhuǎn)印滾筒224的下方的基板10的表面。這樣的印刷也被稱為膠版印刷。以下,進(jìn)行具體說明。油墨盤221中裝有印刷在基板10上的油墨K1。當(dāng)油墨盤221內(nèi)的油墨K1減少時,由下方的泵(未圖示)向油墨盤221內(nèi)補(bǔ)充油墨K1。油墨盤221位于印刷機(jī)220a中靠下部的位置。供墨滾筒222的下部分浸漬在油墨盤221內(nèi)的油墨K1中,供墨滾筒222一邊浸漬在油墨盤221內(nèi)的油墨K1中,一邊旋轉(zhuǎn)。粘附在供墨滾筒222上的油墨K1轉(zhuǎn)移到凹版滾筒223。此外,凹版滾筒223的附近設(shè)有刮板225。在凹版滾筒223自油墨盤221內(nèi)的油墨K1中出來并與轉(zhuǎn)印滾筒224接觸之前,刮板225除去粘附在凹版滾筒223上的多余的油墨K1。凹版滾筒223的表面上設(shè)有凹部,凹部與印刷在基板10上的線、圖形、花紋等對應(yīng)。例如,凹版滾筒223的外徑為100mm,寬度為145mm。粘附在凹版滾筒223的凹部上的油墨K1粘附在轉(zhuǎn)印滾筒224上。轉(zhuǎn)印滾筒224一邊與凹版滾筒223的周面接觸一邊進(jìn)行旋轉(zhuǎn),并壓迫通過下方的基板10的表面,從而將油墨K1轉(zhuǎn)印至基板10。轉(zhuǎn)印滾筒224由剝離性良好的材質(zhì)形成,以使油墨K1能夠順利且確實(shí)地從轉(zhuǎn)印滾筒224轉(zhuǎn)印至基板10的表面。例如,轉(zhuǎn)印滾筒224由硅橡膠的一種形成。轉(zhuǎn)印滾筒224的外徑為200mm,寬度為135mm。對應(yīng)于凹版滾筒223的凹部,形成油墨K1。例如,在形成寬度為30μm的印刷層Eb的情況下,所對應(yīng)的凹版滾筒223的凹部的寬度為30μm。轉(zhuǎn)印滾筒224的附近設(shè)有清洗滾筒226。粘附在轉(zhuǎn)印滾筒224上的多余的油墨K1是由清洗滾筒226除去。此外,印刷機(jī)220b具有與參照圖8所說明的印刷機(jī)220a相同的結(jié)構(gòu)。具體而言,印刷機(jī)220b除了油墨盤221內(nèi)的油墨及凹版滾筒223的凹部不相同這一點(diǎn)之外,具有與上述印刷機(jī)220a相同的結(jié)構(gòu)。印刷機(jī)220b中,在油墨盤221裝有油墨K2。這里,油墨K2具有顆粒狀的ITO及載色劑(vehicle),載色劑包含樹脂及溶劑。油墨K2的載色劑也可以與油墨K1相同,或者,油墨K2的載色劑也可以與油墨K1大致相同。如上所述,印刷裝置200通過膠版印刷對油墨K1、K2進(jìn)行印刷。能夠通過膠版印刷來使油墨K1、K2的寬度變小,從而能夠形成寬度小的電極20及透明導(dǎo)電層30。以下,參照圖9對印刷裝置200的一個例子進(jìn)行說明。輸送帶210具有齒型帶(toothedbelt)210a及鏈輪(sprocket)210b。齒型帶210a也被稱為帶齒帶(coggedbelt)。此外,在制作太陽能電池板的情況下,例如,使輸送帶210在x方向上的長度為5m,y方向上的長度為1m。這里,印刷及搬運(yùn)被1個馬達(dá)M驅(qū)動。旋轉(zhuǎn)軸Ha與馬達(dá)M連結(jié),以使馬達(dá)M的旋轉(zhuǎn)傳遞到旋轉(zhuǎn)軸Ha。旋轉(zhuǎn)軸Ha通過旋轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)換部Bg與旋轉(zhuǎn)軸Hb連結(jié),旋轉(zhuǎn)軸Hb通過旋轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)換部Bg與旋轉(zhuǎn)軸Hx連結(jié)。因此,旋轉(zhuǎn)軸Ha、Hb及Hx分別伴隨馬達(dá)M的旋轉(zhuǎn)而作旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸Hb也被稱為空轉(zhuǎn)軸(idlershaft),旋轉(zhuǎn)軸Hx也被稱為傳輸軸。例如,旋轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)換部Bg為傘齒輪。雖然在此沒有圖示,印刷機(jī)220a、220b懸在直線導(dǎo)軌上。此外,如參照圖8所述的,印刷機(jī)220a、220b的凹版滾筒223及轉(zhuǎn)印滾筒224與通過傘齒輪Bg連結(jié)在旋轉(zhuǎn)軸Hx上的軸一起作旋轉(zhuǎn)。因此,印刷裝置200的印刷及搬運(yùn)是同步的。此外,輸送帶210的鏈輪與旋轉(zhuǎn)軸Hb一起旋轉(zhuǎn)。例如,通過使鏈輪的直徑與凹版滾筒223的直徑之比例為整數(shù),就能夠簡單地進(jìn)行基板的搬運(yùn)與印刷的同步。例如,鏈輪的直徑與凹版滾筒223的直徑之比為2:1。或者,該比例也可以是1:1。此外,參照圖9所說明的印刷裝置200中,對印刷及搬運(yùn)進(jìn)行機(jī)械式同步,但本發(fā)明并不局限于此。印刷及搬運(yùn)也可以通過伺服系統(tǒng)來進(jìn)行同步。此外,上述說明中,印刷機(jī)220a中的凹版滾筒223與母線電極22及指狀電極24的雙方對應(yīng),印刷部220a一并印刷與包含母線電極22及指狀電極24的電極20對應(yīng)的油墨K1,但本發(fā)明并不局限于此。也可以由2個印刷機(jī)印刷電極20。例如,也可以是,一個印刷機(jī)先形成母線電極22及指狀電極24中的一個,然后再由另一個印刷機(jī)形成另一個電極。例如,也可以是,一個印刷機(jī)中的凹版滾筒223與指狀電極24對應(yīng),該印刷機(jī)印刷與指狀電極24對應(yīng)的油墨后,另一個印刷機(jī)印刷與母線電極22對應(yīng)的油墨。此外,參照圖3及圖4所作的上述說明中,指狀電極24具有與透明導(dǎo)電層30接觸的接觸區(qū)域24a、和不與透明導(dǎo)電層30接觸的非接觸區(qū)域24b,但本發(fā)明并不局限于此。也可以使母線電極22具有與透明導(dǎo)電層30接觸的接觸區(qū)域、和不與透明導(dǎo)電層30接觸的非接觸區(qū)域。圖10示出面板100的一個例子的俯視示意圖。這里,母線電極22的側(cè)部設(shè)置有透明導(dǎo)電層30,母線電極22具有與透明導(dǎo)電層30接觸的接觸區(qū)域22a、和不與透明導(dǎo)電層30接觸的非接觸區(qū)域22b。母線電極22的一部分露出于透明導(dǎo)電層30。此外,當(dāng)然,也可以是,母線電極22及指狀電極24的雙方具有接觸區(qū)域22a、24a及非接觸區(qū)域22b、24b。此外,上述說明中,電極20為單層結(jié)構(gòu),但本發(fā)明并不局限于此。也可以是,電極20是2層以上的層疊結(jié)構(gòu),印刷部220設(shè)有3個以上的印刷機(jī)。此外,上述說明中,透明導(dǎo)電層30比電極20高,透明導(dǎo)電層30部分重疊于電極20,但本發(fā)明并不局限于此。也可以如圖11(a)所示那樣使透明導(dǎo)電層30比電極20高,并使透明導(dǎo)電層30不重疊于電極20。此外,上述說明中,透明導(dǎo)電層30比電極20高,但本發(fā)明并不局限于此。也可以如圖11(b)所示那樣使透明導(dǎo)電層30比電極20低。此外,參照圖6所作的上述說明中,在印刷包含導(dǎo)電性材料D1的油墨K1后再印刷包含透明導(dǎo)電性材料D2的油墨K2,但本發(fā)明并不局限于此。也可以印刷包含透明導(dǎo)電性材料D2的油墨K2后再印刷包含導(dǎo)電性材料D1的油墨K1。以下,參照圖12對本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的印刷方法、和包括該印刷方法的面板的制造方法進(jìn)行說明。此外,這里,以圖11(a)所示的面板100為例進(jìn)行制造。首先,如圖12(a)所示,準(zhǔn)備具有表面12的基板10。如上所述,例如,基板10是硅基板。接著,如圖12(b)所示,印刷包含透明導(dǎo)電性材料D2的油墨K2。例如,導(dǎo)電性材料D2是氧化銦錫(indiumtinoxide:ITO)、氟摻雜氧化錫(Fluorinedopedtinoxide:FTO)、鋁摻雜氧化鋅(AluminiumZincOxide:AZO)或銻摻雜氧化錫(AntimonyTinOxide:ATO)的單體,或這些的混合物。接著,如圖12(c)所示,印刷包含導(dǎo)電性材料D1的油墨K1。導(dǎo)電性材料D1是銀、銅、金、碳、鈷、鈦、鎳、鋁等的單體或混合物。之后,如圖12(d)所示,對油墨K1、K2進(jìn)行加熱,由此將導(dǎo)電性材料D1燒成而形成電極20,并將透明導(dǎo)電性材料D2燒成而形成透明導(dǎo)電層30。例如,加熱溫度是500℃以上、850℃以下。如上所述,由于電極20的一部分不被透明導(dǎo)電層30覆蓋而露出,所以加熱時,即使溶劑及粘合劑汽化,透明導(dǎo)電層30上也不產(chǎn)生裂縫就能夠形成透明導(dǎo)電層30。此外,圖1、圖2、圖4、圖5及圖6中,電極20的剖面呈矩形狀,在圖11中,電極20及透明導(dǎo)電層30的剖面呈矩形狀,但這只不過是示例而已。例如,如圖13(a)所示,也可以是,電極20及透明導(dǎo)電層30的剖面因表面張力等的影響而具有曲面形狀。此外,也是在此情況下,可以如圖13(b)所示那樣使透明導(dǎo)電層30比電極20低。此外,上述說明中,通過印刷部220a印刷電極20,但本發(fā)明并不局限于此。也可以通過其它方法形成電極20。在通過膠版印刷形成電極20的情況下,例如,可以形成寬度大約為2μm~10μm的電極20。此外,上述說明中,通過印刷部220b印刷透明導(dǎo)電層30,但本發(fā)明并不局限于此。也可以通過其它方法形成透明導(dǎo)電層30。例如,也可以通過蝕刻制作面板100。以下,參照圖14,對用于適當(dāng)?shù)刂谱髅姘?00的制造方法進(jìn)行說明。首先,如圖14(a)所示,準(zhǔn)備具有表面12的基板10。例如,如上所述,基板10是硅基板。接著,如圖14(b)所示,在表面12上形成透明導(dǎo)電層D2。如上所述,導(dǎo)電性材料D2包含透明導(dǎo)電性材料。例如,透明導(dǎo)電層D2通過堆積而形成。例如,導(dǎo)電性材料D2是氧化銦錫(indiumtinoxide:ITO)、氟摻雜氧化錫(Fluorinedopedtinoxide:FTO)、鋁摻雜氧化鋅(AluminiumZincOxide:AZO)或銻摻雜氧化錫(AntimonyTinOxide:ATO)的單體,或這些的混合物。接著,如圖14(c)所示,對透明導(dǎo)電層D2進(jìn)行光刻(photolithography)以除去透明導(dǎo)電層D2的一部分,并通過對透明導(dǎo)電層D2進(jìn)行加熱來形成透明導(dǎo)電層30。例如,加熱溫度是500℃以上、850℃以下。接著,如圖14(d)所示,將包含導(dǎo)電性材料D1的油墨K1灌入除去了透明導(dǎo)電層D2的區(qū)域,從而形成電極20。油墨K1也可以與印刷方法中所說明的油墨K1相同。導(dǎo)電性材料D1是銀、銅、金、碳、鈷、鈦、鎳及鋁等的單體或混合物。通過對灌入的油墨K1進(jìn)行加熱來形成電極20。面板100也可以如上所述那樣通過蝕刻來制作。在此情況下,能夠形成寬度大約為0.2μm~1μm的電極20?;蛘?,也可以通過噴墨來制造面板100。在此情況下,能夠形成寬度大約為5μm的電極20。此外,上述說明中,電極20具有與透明導(dǎo)電層30接觸的接觸區(qū)域20a、和不與透明導(dǎo)電層30接觸的非接觸區(qū)域20b,但本發(fā)明并不局限于此。電極20也可以不具有非接觸區(qū)域20b。例如,電極20也可以如圖15所示的面板100’那樣被透明導(dǎo)電層30覆蓋。電極20具有互相平行延伸的電極部,圖15中,用電極部20s,20t來表示2個互相分離且平行延伸的電極部。此外,也可以在別的部位將電極部20s、20t電連接,并使電極部20s、20t的各個電位互相大致相等。例如,若電極部20s、20t延伸在與y方向及z方向正交的x方向上,透明導(dǎo)電層30相對于延伸在規(guī)定方向(x方向)上的電極部20s、20t分開在一側(cè)(+y方向側(cè))及另一側(cè)(-y方向側(cè))。由于透明導(dǎo)電層30中的靠電極部20t側(cè)位于電極部20s上的部分30s和靠電極部20s側(cè)位于電極部20t上的部分30t互相分開,所以能夠抑制比較高額的透明導(dǎo)電性材料的使用。(第二實(shí)施方式)上述說明中,電極20為單層結(jié)構(gòu),但本發(fā)明并不局限于此。以下,對本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的面板進(jìn)行說明。由于本實(shí)施方式的面板100A除了電極20具有由不同的導(dǎo)電性材料形成的層疊結(jié)構(gòu)這一點(diǎn)之外,具有與上述的面板100相同的結(jié)構(gòu),所以為了避免復(fù)雜化,省略重復(fù)說明。圖16有示出剖面,這里也是電極20延伸在一個方向上。面板100A中,電極20具有層疊結(jié)構(gòu)。這里,電極20是2層結(jié)構(gòu),電極20具有與基板10的表面12接觸的導(dǎo)電層20α和設(shè)置在導(dǎo)電層20α的上面的導(dǎo)電層20β。導(dǎo)電層20α的寬度與導(dǎo)電層20β的寬度大致相等。導(dǎo)電層20α包含導(dǎo)電性材料D1α,導(dǎo)電層20β包含與導(dǎo)電性材料D1α不同的導(dǎo)電性材料D1β。這樣,導(dǎo)電層20β在至少部分區(qū)域延伸在與導(dǎo)電層20α相同的方向上。例如,導(dǎo)電性材料D1α是銀、銅、金、碳、鈷,鈦,鎳、鋁等的單體或混合物。此外,例如,導(dǎo)電性材料D1β是銀、銅、金、碳、鈷,鈦,鎳、鋁等的單體或混合物,并與導(dǎo)電性材料D1α不同。此外,導(dǎo)電性材料D1α、D1β只要不是完全相同即可,導(dǎo)電性材料D1α、D1β中的任意一個是混合物的情況下,混合物中的1個導(dǎo)電性材料既可以包含在另一個導(dǎo)電性材料中,也可以不包含在其中。此外,導(dǎo)電性材料D1α、D1β的雙方是混合物的情況下,一個導(dǎo)電性材料中的任意導(dǎo)電性材料既可以包含在另一個導(dǎo)電性材料中,也可以不包含在其中。優(yōu)選的是,導(dǎo)電性材料D1α是銀,導(dǎo)電性材料D1β是銅、金、碳、鈷,鈦,鎳、鋁中的任意一個,或者是包含選自由銀、銅、金、碳、鈷,鈦、鎳及鋁組成的組中的至少2種的混合物。例如,導(dǎo)電性材料D1α是銀,導(dǎo)電性材料D1β是銅。此外,導(dǎo)電性材料D1α適合依形成基板10的表面12的材料來選擇。例如,在表面12由硅形成的情況下,通過使用銀來作為導(dǎo)電性材料D1α,能夠抑制接觸電阻。有代表性的是,使用電阻率低的金屬材料作為導(dǎo)電性材料D1α、D1β。導(dǎo)電層20α的寬度與導(dǎo)電層20β的寬度大致相等。這樣,通過使電極20具有層疊結(jié)構(gòu),即使電極20的寬度較小也能增大剖面面積以實(shí)現(xiàn)低電阻。此外,通過使導(dǎo)電層20β包含與導(dǎo)電層20α的導(dǎo)電性材料D1α不同的導(dǎo)電性材料D1β,實(shí)際上不受基板10的表面12的影響就能夠選擇導(dǎo)電層20β的導(dǎo)電性材料D1β,能夠提高電極20的設(shè)計(jì)自由度。此外,面板100層疊有包含銀的導(dǎo)電層20α、和包含銅的導(dǎo)電層20β,從而能夠抑制電極20本身的高電阻化,并能夠減少高額的銀的使用量。以下,參照圖17,對適合制造面板100A的制造方法進(jìn)行說明。首先,如圖17(a)所示,準(zhǔn)備具有表面12的基板10。例如,如上所述,基板10是硅基板。之后,在基板10的上面,印刷包含導(dǎo)電性材料D1α的油墨K1α。例如,油墨K1α具有顆粒狀的導(dǎo)電性材料D1α及載色劑,載色劑包含樹脂及溶劑。導(dǎo)電性材料D1α是銀、銅、金、碳、鈷,鈦,鎳、鋁等的單體或混合物。接著,如圖17(b)所示,在油墨K1α的上面印刷包含與導(dǎo)電性材料D1α不同的導(dǎo)電性材料D1β的油墨K1β。如上所述,導(dǎo)電性材料D1β是銀、銅、金、碳、鈷,鈦,鎳、鋁等的單體或混合物,并與導(dǎo)電性材料D1α不同。例如,油墨K1β具有顆粒狀的導(dǎo)電性材料D1β及載色劑。接著,如圖17(c)所示,印刷包含透明導(dǎo)電性材料D2的油墨K2,以使其接觸于油墨K1α、K1β。透明導(dǎo)電性材料D2是與導(dǎo)電性材料D1α、D1β不同的材料。例如,透明導(dǎo)電性材料D2是氧化銦錫(indiumtinoxide:ITO)、氟摻雜氧化錫(Fluorinedopedtinoxide:FTO)、鋁摻雜氧化鋅(AluminiumZincOxide:AZO)或銻摻雜氧化錫(AntimonyTinOxide:ATO)的單體,或這些的混合物。之后,如圖17(d)所示,對油墨K1α、K1β、K2進(jìn)行加熱,由此將導(dǎo)電性材料D1α燒成而形成導(dǎo)電層20α,將導(dǎo)電性材料D1β燒成而形成導(dǎo)電層20β,并將透明導(dǎo)電性材料D2燒成而形成透明導(dǎo)電層30。例如,加熱溫度是500℃以上、850℃以下。此外,參照圖17所說明的制造方法及印刷方法是通過下述印刷裝置適當(dāng)進(jìn)行的。參照圖18對本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的印刷裝置進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的印刷裝置200A具備搬運(yùn)基板10的輸送帶210、印刷部220和加熱裝置230。印刷部220具有多個印刷機(jī)。這里,印刷部220具有印刷機(jī)220a1、印刷機(jī)220a2和印刷機(jī)220b,該印刷機(jī)220a1印刷包含導(dǎo)電性材料D1α的油墨K1α,該印刷機(jī)220a2印刷包含與導(dǎo)電性材料D1α不同的導(dǎo)電性材料D1β的油墨K1β,該印刷機(jī)220b印刷包含透明導(dǎo)電性材料D2的油墨K2。首先,在旋轉(zhuǎn)的輸送帶210的上面放置基板10,由輸送帶210搬運(yùn)基板10。當(dāng)輸送帶210所搬運(yùn)的基板10到達(dá)印刷機(jī)220a1的下方時,印刷機(jī)220a1在基板10上印刷油墨K1α。接著,當(dāng)輸送帶210所搬運(yùn)的基板10到達(dá)印刷機(jī)220a2的下方時,印刷機(jī)220a2在基板10上印刷油墨K1β。此外,將輸送帶210的搬運(yùn)速度及印刷機(jī)220a1、220a2的印刷設(shè)定為能使油墨K1β重疊于油墨K1α。接著,當(dāng)輸送帶210所搬運(yùn)的基板10到達(dá)印刷機(jī)220b的下方時,印刷機(jī)220b在基板10上印刷油墨K2。此外,將輸送帶210的搬運(yùn)速度及印刷機(jī)220a1、220a2、220b的印刷設(shè)定為油墨K2至少與油墨K1α接觸。之后,輸送帶210將層疊有油墨K1α、K1β和K2的基板10搬運(yùn)到加熱裝置230。在加熱裝置230內(nèi)加熱基板10,將油墨K1α、K1β和K2燒成。由此,形成包含導(dǎo)電性材料D1α的導(dǎo)電層20α、包含導(dǎo)電性材料D1β的導(dǎo)電層20β和包含透明導(dǎo)電性材料D2的透明導(dǎo)電層30。由此依上述形成具有導(dǎo)電層20α、20β的電極20,其中,導(dǎo)電層20α、20β包含不同的導(dǎo)電性材料。此外,上述說明中,電極20是2層結(jié)構(gòu),印刷裝置200設(shè)有2個印刷機(jī)220a1、220a2,其中該2個印刷機(jī)220a1、220a2用于形成電極20,但本發(fā)明并不局限于此。也可以是,電極20是3層以上的層疊結(jié)構(gòu),印刷部220設(shè)有3個以上的印刷機(jī),其中該3個以上的印刷機(jī)用于形成電極20。此外,上述說明中,面板100、100’及100A中的各個面板中,基板10的光電轉(zhuǎn)換層包含硅,但本發(fā)明并不局限于此。光電轉(zhuǎn)換層也可以包含無機(jī)化合物材料。光電轉(zhuǎn)換層也可以包含InGaAs、GaAs、黃銅礦類、Cu2ZnSnS4、CdTe-CdS?;蛘?,光電轉(zhuǎn)換層也可以包含有機(jī)化合物。此外,在使用面板100、100’及100A來作為太陽能電池板的情況下,將多個面板100、100’及100A一起排列。圖19示出面板100、100’或100A排列而成的太陽電池模塊300。太陽電池模塊300中,多個列及多個行的面板100、100’或100A排列成矩陣狀,面板100、100’或100A互相串聯(lián)或并聯(lián)連接。此外,上述說明中,面板100、100’或100A是太陽能電池板,但本發(fā)明并不局限于此。面板100、100’或100A也可以是觸摸面板或電磁屏蔽面板。或者,面板100、100’和100A也可以用于有機(jī)EL。此外,上述說明中,電極20及透明導(dǎo)電層30直接設(shè)置于基板10的上面,但本發(fā)明并不局限于此。電極20及透明導(dǎo)電層30也可以隔著其它層而設(shè)置于基板10的上面。根據(jù)本發(fā)明,能夠抑制面板的成本。本發(fā)明適合用于太陽電池面板、觸摸面板、電磁屏蔽面板、有機(jī)EL和太陽電池模塊等。附圖標(biāo)記說明10基板12表面14背面20電極22母線電極24指狀電極30透明導(dǎo)電層100面板200印刷裝置210輸送帶220印刷部230加熱裝置300太陽電池模塊
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