專利名稱：一種圓形石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種圓形石英舟技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種圓形石英舟，屬于石英加工領(lǐng)域。
技術(shù)背景[0002]晶體硅太陽能電池作為新興的清潔可再生能源，已經(jīng)取得越來越廣泛的應(yīng)用，擴(kuò)散工藝是晶體硅太陽能電池的生產(chǎn)過程的關(guān)鍵工序之一，石英因其材料純度高、耐高溫、耐酸、耐堿而成為制作這種承載裝置材料的首選，用石英材料做成的硅片承載裝置稱為石英舟。[0003]傳統(tǒng)石英舟的結(jié)構(gòu)大多采用方形或近似方形的擋板，通過多條連接桿固定連接而成，該形狀的石英舟連接桿排布局限性大，對石英舟內(nèi)的硅片支撐性差，極易造成硅片與石英舟碰撞，造成硅片因崩邊而報(bào)廢。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)問題，提供一種使用效果好的圓形石英舟。[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種圓形石英舟，包括位于兩端的擋板，所述擋板之間固定設(shè)置有至少三根連接桿，且所有連接桿的橫截面均處于同一個(gè)圓周上；所述擋板為圓形，所述連接桿的外側(cè)設(shè)置有支撐桿。[0006]作為優(yōu)選，所述連接桿的內(nèi)側(cè)設(shè)置有槽。[0007]作為優(yōu)選，所述連接桿設(shè)置有四根，呈梯形排列上。[0008]作為優(yōu)選，所述擋板中間設(shè)置有抓取孔。[0009]綜上所述，本實(shí)用新型中所有連接桿的橫截面處于同一圓周上，當(dāng)硅片放入時(shí)，硅片與所有連接桿同時(shí)接觸，分散了硅片與連接桿接觸時(shí)的碰撞力，減小了硅片崩邊的機(jī)率; 同時(shí)，圓形的石英舟可側(cè)置，便于取放硅片。


[0010]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一結(jié)構(gòu)示意圖；[0011]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例二結(jié)構(gòu)示意圖。[0012]圖中，1、擋板，2、連接桿，3、支撐桿，4、槽，5、抓取孔。
具體實(shí)施方式
[0013]下面以實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。[0014]實(shí)施例一[0015]一種圓形石英舟，如圖1所示，包括兩塊分別位于兩端圓形的擋板1，擋板1中間設(shè)置有抓取孔5，兩塊擋板1之間固定設(shè)置有四根連接桿2，呈梯形排列，且所有連接桿2的橫截面均處于同一個(gè)圓周上，連接桿2的內(nèi)側(cè)設(shè)置有槽4，連接桿的外側(cè)設(shè)置有支撐桿3。[0016]其中，兩塊擋板1和四根連接桿2圍成載物腔，連接桿2面向載物腔的一側(cè)視為內(nèi)側(cè),反之則視為外側(cè)。[0017]工藝開始前，將硅片插入槽4內(nèi)，使用石英舟周圍工具，插入抓取孔5內(nèi)，提起石英舟,送入擴(kuò)散爐；當(dāng)工藝完成后，使用石英舟周圍工具，插入抓取孔5內(nèi)，提起石英舟，取出擴(kuò)散爐，將硅片從槽4中取出。[0018]實(shí)施例二[0019]與實(shí)施例一的不同之處在于，如圖2所示，兩塊擋板1之間固定設(shè)置有五根連接桿 2。
權(quán)利要求1.一種圓形石英舟，包括位于兩端的擋板(1)，其特征在于所述擋板(1)之間固定設(shè)置有至少三根連接桿(2)，且所有連接桿(2)的橫截面均處于同一個(gè)圓周上；所述擋板(1) 為圓形，所述連接桿(2)的外側(cè)設(shè)置有支撐桿(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述圓形石英舟，其特征在于所述連接桿(2)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有槽(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述圓形石英舟，其特征在于所述連接桿(2)設(shè)置有四根，呈梯形排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述圓形石英舟，其特征在于所述擋板(1)中間設(shè)置有抓取孔(5)。
專利摘要一種圓形石英舟，包括位于兩端的擋板，所述擋板之間固定設(shè)置有至少三根連接桿，且所有連接桿的橫截面均處于同一個(gè)圓周上；所述擋板為圓形，所述連接桿的外側(cè)設(shè)置有支撐桿。本實(shí)用新型中所有連接桿的橫截面處于同一圓周上，當(dāng)硅片放入時(shí)，硅片與所有連接桿同時(shí)接觸，分散了硅片與連接桿接觸時(shí)的碰撞力，減小了硅片崩邊的機(jī)率；同時(shí)，圓形的石英舟可側(cè)置，便于取放硅片。
文檔編號H01L21/673GK202259221SQ20112033259
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月6日
發(fā)明者宋偉宏, 沈根法, 計(jì)斌, 陸建國 申請人:湖州奧博石英科技有限公司