旋轉(zhuǎn)擴散石英舟的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟，由四塊呈矩形結(jié)構(gòu)的石英擋板以長邊為銜接端兩兩相接圍合而成，其一端設(shè)置有用于連接旋轉(zhuǎn)電機的接頭，并且每塊石英擋板的其中一條長邊上設(shè)置有硅片卡扣；所述石英擋板之間通過石英板卡扣可拆式連接；所述硅片卡扣呈L形。這種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟會保證每片硅片四周所接受到的P元素量相當(dāng)，最終控制了方阻極差，可達到5歐以下，這樣下來電池的電性能也將得到可觀的改善。
【專利說明】旋轉(zhuǎn)擴散石英舟

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及太陽能電池片擴散領(lǐng)域，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池片擴散工序需在高溫爐管中進行PN結(jié)制作，其中硅片以石英舟作為載體，使硅片置于高溫爐管中進行工藝。一般的太陽能電池擴散用石英舟都是安裝在擴散爐管上進行的。原有擴散設(shè)備采用爐尾進源，上方噴淋磷源的方法進行擴散，這樣會導(dǎo)致P元素的分布在同一片上不夠均勻，因為表面濃度的差異導(dǎo)致的方阻極差可達到10歐以上，最終造成了開壓和FF的一定程度的損失。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠保證每片硅片四周接受到的P元素相當(dāng)?shù)男D(zhuǎn)擴散石英舟。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:一種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟，由四塊呈矩形結(jié)構(gòu)的石英擋板以長邊為銜接端兩兩相接圍合而成，其一端設(shè)置有用于連接旋轉(zhuǎn)電機的接頭，并且每塊石英擋板的其中一條長邊上設(shè)置有硅片卡扣。
[0005]作為優(yōu)選，所述石英擋板之間通過石英板卡扣可拆式連接。
[0006]作為優(yōu)選，所述硅片卡扣呈L形。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益之處是:這種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟會保證每片硅片四周所接受到的P元素量相當(dāng)，最終控制了方阻極差，可達到5歐以下，這樣下來電池的電性能也將得到可觀的改善。
[0008]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0009]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。
[0010]圖1是本實用新型旋轉(zhuǎn)擴散石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中:1、石英擋板；2、硅片卡扣；3、石英板卡扣；4、接頭。
[0012]【具體實施方式】:
[0013]下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型進行詳細描述:
[0014]圖1所示一種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟，由四塊呈矩形結(jié)構(gòu)的石英擋板I以長邊為銜接端兩兩相接圍合而成，所述石英擋板I之間通過石英板卡扣3可拆式連接，其一端設(shè)置有用于連接旋轉(zhuǎn)電機的接頭4，并且每塊石英擋板I的其中一條長邊上設(shè)置有硅片卡扣2，所述硅片卡扣2呈L形,方便放置娃片。
[0015]其具體使用方式如下，將硅片插接在石英擋板I上的硅片卡扣2內(nèi)，然后將組裝好的石英舟安裝固定在改進后能夠360度自旋式的爐管槳上，保證在旋轉(zhuǎn)時候片和舟不會脫離槳，槳采用電機旋轉(zhuǎn)帶動，轉(zhuǎn)速控制在I轉(zhuǎn)/分，整個擴散工藝保持不變。
[0016]這種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟會保證每片硅片四周所接受到的P元素量相當(dāng)，最終控制了方阻極差，可達到5歐以下，這樣下來電池的電性能也將得到可觀的改善。
[0017]需要強調(diào)的是:以上僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種旋轉(zhuǎn)擴散石英舟，其特征在于:由四塊呈矩形結(jié)構(gòu)的石英擋板(I)以長邊為銜接端兩兩相接圍合而成，其一端設(shè)置有用于連接旋轉(zhuǎn)電機的接頭(4)，并且每塊石英擋板Cl)的其中一條長邊上設(shè)置有硅片卡扣(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴散石英舟，其特征在于:所述石英擋板(I)之間通過石英板卡扣(3)可拆式連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)擴散石英舟，其特征在于:所述硅片卡扣(2)呈L形。
【文檔編號】H01L31/18GK203983313SQ201420363463
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年7月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月3日
【發(fā)明者】費存勇, 魯偉明, 初仁龍, 王志剛 申請人:泰州德通電氣有限公司