專利名稱：一種豎式石英舟的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種豎式石英舟，屬于石英加工領域。
背景技術：
太陽能電池以其環(huán)保、可再生，正被應用越來越廣泛。太陽能電池是采用硅片通過離子擴散制成的，擴散工藝一般采用擴散爐。傳統(tǒng)的擴散爐采用石英舟水平裝載多片硅片后橫向送入擴散腔，離子從擴散腔的側(cè)面送入，沉積于硅片表面。傳統(tǒng)工藝中，離子從石英舟的一端送入，因石英舟為橫向的，硅片水平排列，因此靠近離子送入端的硅片接觸的離子密度高于遠離離子送入端的硅片，造成擴散后不同硅片之間沉積離子的量不同，擴散不均勻，產(chǎn)品一致性差。

實用新型內(nèi)容本實用新型為解決現(xiàn)有技術問題，提供一種擴散均勻、效果好的石英舟。本實用新型的技術方案是一種豎式石英舟，包括水平設置于下端的下底盤，以及設置于上端的上底盤，以及至少三根固定連接于所述下底盤和上底盤之間的豎桿；所述豎桿、上底盤和下底盤圍成載物腔，所述載物腔的一個側(cè)面設置有開口部。石英舟采用豎式，硅片豎直排列，所有硅片與離子送入端之間的水平距離相同，所有硅片所處位置的離子密度相同，沉積后所有硅片均勻，一致性好。作為優(yōu)選，所述豎桿的內(nèi)側(cè)面開有載物槽。作為優(yōu)選，所述載物槽位于所述開口部的一端向相對側(cè)傾斜向下。傾斜設置有載物槽裝載硅片不易滑落，減小意外產(chǎn)生，提高成品率。作為優(yōu)選，所述豎桿為四根，呈梯形分布，且位于同一圓周上。作為優(yōu)選，所述上底盤上設置有把環(huán)。把環(huán)的設置便于操作人員抓取石英舟，同時也可避免操作人員抓取石英舟時因不小心接觸硅片而帶來的污染。作為優(yōu)選，所述上底盤與下底盤相互平行。作為優(yōu)選，相鄰所述豎桿之間設置有加強片。作為優(yōu)選，所述加強片的橫截面呈弧形，且弧形的凸起面向外側(cè)；加強片的內(nèi)側(cè)設
置有載物槽。綜上所述，本實用新型具有以下優(yōu)點1、石英舟中硅片豎直排列，接觸的離子密度相同，擴散一致性好；2、豎式的石英舟充分利用擴散爐的擴散腔內(nèi)有效空間，提高了同一擴散腔的擴散量，大大降低的擴散成本，提高效益。

圖1為本實用新型實施例一結構示意圖；圖2為圖1的A-A剖面圖。[0019]圖中，1、上底盤，2、下底盤，3、支撐腳，4、豎桿，5、載物槽，6、加強片，7、把環(huán)，8、開口部。
具體實施方式
下面以實施例對本實用新型作進一步說明。實施例一一種豎式石英舟，如圖1、2所示，上端設置有上底盤1，上底盤1與下底盤2相互平行，上底盤1上設置有把環(huán)7，下底盤2和上底盤1之間固定連接有四根豎桿4，豎桿4呈梯形分布，且位于同一圓周上；豎桿4、上底盤1和下底盤2圍成載物腔，載物腔的一個側(cè)面設置有開口部8，除開口部8外，相鄰的豎桿4之間設置有加強片6，加強片6的橫截面呈弧形，且弧形的凸起面向外側(cè)，豎桿4和加強片6的內(nèi)側(cè)面開有載物槽5，載物槽位5于開口部的一端向相對側(cè)傾斜向下。其中，加強片6面向載物腔的側(cè)面視為內(nèi)側(cè)，反之，則視為外側(cè)。實施例二 與實施例一的不同之處在于，上底盤1與下底盤2之間設置有三根豎桿4。
權利要求1.一種豎式石英舟，其特征在于包括水平設置于下端的下底盤(2)，以及設置于上端的上底盤(1)，以及至少三根固定連接于所述下底盤(2)和上底盤(1)之間的豎桿(4);所述豎桿(4)、上底盤(1)和下底盤(2)圍成載物腔，所述載物腔的一個側(cè)面設置有開口部(8)。
2.根據(jù)權利要求1所述豎式石英舟，其特征在于所述豎桿(4)的內(nèi)側(cè)面開有載物槽(5)。
3.根據(jù)權利要求2所述豎式石英舟，其特征在于所述載物槽(5)位于所述開口部(8) 的一端向相對側(cè)傾斜向下。
4.根據(jù)權利要求1或2或3所述豎式石英舟，其特征在于所述豎桿(4)為四根，呈梯形分布，且位于同一圓周上。
5.根據(jù)權利要求1所述豎式石英舟，其特征在于所述上底盤(1)上設置有把環(huán)(J)。
6.根據(jù)權利要求1所述豎式石英舟，其特征在于所述上底盤(1)與下底盤(2)相互平行。
7.根據(jù)權利要求1所述豎式石英舟，其特征在于相鄰所述豎桿(4)之間設置有加強片(6)。
8.根據(jù)權利要求7所述豎式石英舟，其特征在于所述加強片(6)的橫截面呈弧形，且弧形的凸起面向外側(cè)；加強片(6)的內(nèi)側(cè)設置有載物槽(5)。
專利摘要一種豎式石英舟，包括水平設置于下端的下底盤，以及設置于上端的上底盤，以及至少三根固定連接于所述下底盤和上底盤之間的豎桿；所述豎桿、上底盤和下底盤圍成載物腔，所述載物腔的一個側(cè)面設置有開口部。本實用新型石英舟中硅片豎直排列，接觸的離子密度相同，擴散一致性好；豎式的石英舟充分利用擴散爐的擴散腔內(nèi)有效空間，提高了同一擴散腔的擴散量，大大降低的擴散成本，提高效益。
文檔編號H01L21/673GK202230995SQ201120332590
公開日2012年5月23日 申請日期2011年9月6日 優(yōu)先權日2011年9月6日
發(fā)明者宋偉宏, 沈根法, 計斌, 陸建國 申請人:湖州奧博石英科技有限公司